臺階儀測試薄膜厚度實(shí)驗(yàn)_第1頁
臺階儀測試薄膜厚度實(shí)驗(yàn)_第2頁
臺階儀測試薄膜厚度實(shí)驗(yàn)_第3頁
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文檔簡介

1、東南大學(xué)材料科學(xué)與工程實(shí)驗(yàn)報(bào)告學(xué)生姓名 班級學(xué)號 實(shí)驗(yàn)日期201495 批改教師課程名稱批改日期實(shí)驗(yàn)名稱報(bào)告成績一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康模赫莆諟y試薄膜厚度原理和方法，了解臺階儀操作技術(shù)。二、實(shí)驗(yàn)原理：LVDT是線性差動(dòng)變壓器的縮寫，為機(jī)電轉(zhuǎn)換器的一種。利用細(xì)探針掃描樣品表面，當(dāng)檢測到 一個(gè)高度差別則探針做上下起伏之變化，此變化在儀器內(nèi)部的螺旋管先圈內(nèi)造成磁通量的變化，再 有內(nèi)部電子電路轉(zhuǎn)換成電壓訊號，進(jìn)而求出膜厚。LVDT線性位置感應(yīng)器，可測量的位移量小到幾 萬分之一英寸至幾英寸。LVDT的工作原理是由振蕩器產(chǎn)生一高頻的參考電磁場，并內(nèi)建一支可動(dòng)的鐵磁主軸以及兩組 感應(yīng)線圈，當(dāng)主軸移動(dòng)造成強(qiáng)度改變由感應(yīng)線

2、圈感應(yīng)出兩電壓值，相比較后即可推算出移動(dòng)量。三、實(shí)驗(yàn)步驟：（1）開機(jī)準(zhǔn)備（2）放置樣品（3）參數(shù)設(shè)置（4）掃描結(jié)果分析（5）數(shù)據(jù)保存四、實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：Si基底上沉積金屬Cr薄膜的厚度的測量五、實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析：樣品：硅片上鍍鉻薄膜；實(shí)驗(yàn)參數(shù)：長度1000 m m；持續(xù)時(shí)間40s；針壓力3mg；表面輪廓是Hills and Valleys.由實(shí)驗(yàn)曲線及數(shù)據(jù)，可得薄膜厚度約為(868.8-617.0) =251.8 “m。六、思考題：1、對于用臺階儀對非完美薄膜的厚度測量，Step Hight的M和R Cursor點(diǎn)的選擇？兩個(gè)點(diǎn)分別選在圖線中的拐點(diǎn)處，這樣傾斜的曲線會(huì)水平，比較容易得到薄膜的厚度2、怎么樣才能得到一個(gè)比較shape的臺階？在制備時(shí)在襯底上覆蓋一個(gè)形狀規(guī)則比如長方形的陪

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