壓力傳感器的應(yīng)用

1、MEMS壓力傳感器的應(yīng)用（姓名：XXX,學(xué)號(hào)：22013XXX）摘要：MEM壓力傳感器在工業(yè)，醫(yī)療，汽車方面的應(yīng)用。 關(guān)鍵詞：集成電路、微機(jī)電加工、侵入式應(yīng)用，汽車電子。引言：MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ) 上蓬勃發(fā)展起來的高新科技，其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí) 行器和微系統(tǒng)三個(gè)方面，目前主導(dǎo)MEMS的市場(chǎng)的傳感器已形成產(chǎn) 業(yè)。用此技術(shù)研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、響應(yīng) 快、靈敏度高、易生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢(shì)，可以測(cè)量各種物理量、化學(xué) 量及生物量。接下來，我主要介紹一下其中的壓力傳感器。壓力傳感器：MEM壓力傳感器的應(yīng)用非常廣泛。工業(yè)電子：工業(yè)配料稱重

2、、 數(shù)字流量表以及數(shù)字壓力表等等。消費(fèi)電子：太陽能熱水器用液位控 制壓力傳感器、洗碗機(jī)、飲水機(jī)、洗衣機(jī)空調(diào)壓力傳感器，微波爐、 健康秤以及血壓計(jì)等等。汽車電子：柴油機(jī)的共軌壓力傳感器、汽車 發(fā)動(dòng)機(jī)的進(jìn)氣歧管壓力傳感器、汽車剎車系統(tǒng)的空氣壓力傳感器以及 發(fā)動(dòng)機(jī)的機(jī)油壓力傳感器等等。我主要談?wù)凪EMS壓力傳感器在汽 車行業(yè)，醫(yī)療市場(chǎng)，工業(yè)領(lǐng)域這三個(gè)方面的應(yīng)用。應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域：MEMS壓力傳感器的主要應(yīng)用包括采暖通風(fēng)及空調(diào)（HVAC）、水平面測(cè)量、各種工業(yè)過程與控制應(yīng)用。例如，除了精確的高度氣壓測(cè)量，飛機(jī)使用傳感器監(jiān)測(cè)引擎、襟翼等其它部件。應(yīng)用于汽車行業(yè)：在市場(chǎng)引導(dǎo)、科技推動(dòng)、風(fēng)險(xiǎn)投資、政府介入等多

3、重作用下，汽 車MEMS傳感器發(fā)展迅速，現(xiàn)已成為相關(guān)部門爭先投資開發(fā)的熱點(diǎn)。 MEMS壓力傳感器在汽車中的一個(gè)新應(yīng)用是傳動(dòng)系統(tǒng)壓力感測(cè)，通 常用于自動(dòng)裝置之中，但也用于新型雙離合器傳動(dòng)系統(tǒng)。在高檔汽車 中，大約采用25至40只MEMS傳感器，技術(shù)上日趨成熟完善，可 滿足汽車環(huán)境苛刻、可靠性高、精度準(zhǔn)確、成本低的要求，極大地推 動(dòng)了電子技術(shù)在汽車上的應(yīng)用。例如德國廠商推出了一款MEMS解 決方案，使用油來保護(hù)硅薄膜，使其可以最高耐受70巴的壓力。博 世幾年前也曾為MEMS壓力傳感器帶來巨大變化，當(dāng)時(shí)使用的是多 孔硅，帶來了高度可靠的MEMS器件，這些器件已用于目前的側(cè)面 氣囊等應(yīng)用之中。應(yīng)用于醫(yī)

4、療市場(chǎng)：對(duì)于醫(yī)療應(yīng)用來說，MEMS壓力傳感器技術(shù)需要生產(chǎn)精密低壓 力測(cè)量裝置的專門技術(shù)，以便用于侵入式或非侵入式應(yīng)用。用于侵入 式應(yīng)用的壓力傳感器，比如監(jiān)測(cè)血壓，是低成本的消耗品。壓力傳感器用于測(cè)量生命征象。在這個(gè)領(lǐng)域，使用傳感器的設(shè)備 包括臺(tái)式或中央監(jiān)護(hù)儀，以及多參數(shù)監(jiān)護(hù)設(shè)備。低端設(shè)備至少包括一 種非侵入式壓力傳感器；中端設(shè)備包含一或兩種設(shè)備；高端設(shè)備既有 非侵入式壓力傳感器，也有侵入式壓力傳感器，以及額外的呼吸壓力感測(cè)。在植入設(shè)備領(lǐng)域，壓力傳感器用于心臟監(jiān)視器、青光眼監(jiān)視器和 顱內(nèi)壓力監(jiān)視器。雖然這些監(jiān)視器的市場(chǎng)目前處于發(fā)育階段，但其未 來潛力巨大。例如，利用心臟傳感器可以在家里監(jiān)護(hù)病人，

5、不必經(jīng)常 去醫(yī)院檢查，這樣可以為國家節(jié)省大筆費(fèi)用。當(dāng)然同時(shí)也為病人帶來 方便。一次性醫(yī)療用品市場(chǎng)來說，像一次性的心導(dǎo)管，用于一年的數(shù)百 萬例的手術(shù)中監(jiān)測(cè)血壓，MEMS壓力傳感器另一個(gè)就是輸液泵，這 種器械用于向病人的循環(huán)系統(tǒng)輸入液體、藥物或營養(yǎng)。輸液泵結(jié)構(gòu)簡 單且成本低廉，可以用后即扔。2011年這類壓力傳感器的使用量遠(yuǎn) 高于6000萬個(gè)。呼吸監(jiān)測(cè)是醫(yī)用壓力傳感器的另一個(gè)主要應(yīng)用。每年與呼吸治療 相關(guān)的器械銷量高達(dá)數(shù)以百萬計(jì)?？偨Y(jié)：汽車應(yīng)用仍是MEMS壓力傳感器的最大應(yīng)用市場(chǎng)。尤其是汽車 電子，它對(duì)于MEMS壓力傳感器來說，是越加的重要，在最近幾年 的時(shí)間里，它的需求量增加得很快。例如：捷伸電子每一年對(duì)它的需 求量已經(jīng)達(dá)到二百到三百萬個(gè)了。此外MEMS壓力傳感器也在不同 領(lǐng)域找到一些新的應(yīng)用，例如：車用汽缸內(nèi)壓力感測(cè)、醫(yī)療用持續(xù)正 壓呼吸器、以及