IGZO的可靠性提高

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)專心-專注-專業(yè)精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)【SID】氧化物TFT的可靠性提高，用于有機(jī)EL基板的案例紛紛亮相2014/06/24 顯示器領(lǐng)域規(guī)模最大的學(xué)會(huì)“SID”本來(lái)就比較偏重于展會(huì)，很多VIP的參會(huì)目的都是進(jìn)行商務(wù)洽談。但是，“Oxide vs.LTPS TFTs I, II, III”這樣的議題恐怕也是其他學(xué)會(huì)不可能設(shè)置的。除了技術(shù)方面的討論之外，還要進(jìn)行應(yīng)用方面的討論，這一點(diǎn)倒是很像SID的風(fēng)格。“Wearable Displays I, II, III”分會(huì)也不錯(cuò)，最終產(chǎn)品的概念非常明確，容易定下目標(biāo)

2、。氧化物TFT方面，與有機(jī)EL（OLED）組合使用試制面板方面的演講比較多，內(nèi)容上偏重于提高氧化物TFT的可靠性及性能。反言之，這也證明氧化物TFT的可靠性已提高至足以供有機(jī)EL面板使用的水平。松下在4K有機(jī)EL上采用氧化物TFT技術(shù)松下在“OLED TV”會(huì)議上介紹了4K有機(jī)EL電視已采用的可提高氧化物TFT可靠性的技術(shù)（論文編號(hào)：58.3）。雖然是最后一天的最后一場(chǎng)演講，但仍有很多聽眾一直熱心聆聽到最后的提問環(huán)節(jié)。不滿足于演講和提問的技術(shù)人員還在開發(fā)者見面會(huì)上排隊(duì)向演講者提問，筆者也是其中之一。松下首先指出，IGZO靶材間距造成的不均是顯示不均的原因之一。與靶材的距離會(huì)導(dǎo)致有些區(qū)域的Ga不

3、足，因而會(huì)造成特性與其他區(qū)域不同。針對(duì)這一點(diǎn)，該公司通過控制濺射工藝中的離子沖擊方向，解決了該問題。而且，松下還通過以下兩項(xiàng)措施大幅提高了氧化物TFT的可靠性：（1）通過對(duì)前通道進(jìn)行NH3等離子體處理，形成富氮SiO界面，從而改善了PBTS；（2）通過對(duì)背通道進(jìn)行N2O等離子體處理，減少了Vo（缺氧），從而改善了NBTS。松下的報(bào)告非常令人感興趣。而且，當(dāng)筆者詢問“是否通過優(yōu)化退火溫度提高了可靠性”時(shí)，松下回答稱，“退火溫度當(dāng)然也是非常重要的參數(shù)，但采用上述等離子體處理技術(shù)的效果更好?！庇糜谟袡C(jī)EL電視的氧化物TFT的構(gòu)造和特點(diǎn)友達(dá)光電截至目前已經(jīng)開發(fā)出了多款由氧化物TFT驅(qū)動(dòng)的有機(jī)EL電視。

4、該公司在“OLED TV”會(huì)議上介紹了此前的開發(fā)流程（論文編號(hào)：53.1）。友達(dá)光電對(duì)氧化物TFT的構(gòu)造特點(diǎn)進(jìn)行了對(duì)比，對(duì)比表格一目了然，表1是從中摘選出的主要項(xiàng)目的比較。據(jù)友達(dá)光電介紹，ITZO與IGZO相比，耐蝕刻性高，不會(huì)被鋁或銅的蝕刻液侵蝕，因此非常適合BCE（背通道蝕刻）型構(gòu)造。而且，ITZO的載流子遷移率為30cm3/Vs以上，高達(dá)IGZO的3倍左右，因此適合4K以上的高精細(xì)化及高幀頻驅(qū)動(dòng)，還有利于降低耗電量。該公司將來(lái)的目標(biāo)是開發(fā)出通過降低寄生電容來(lái)減少掩模數(shù)量的自對(duì)準(zhǔn)頂柵型構(gòu)造。表1 氧化物TFT的構(gòu)造和特點(diǎn)筆者根據(jù)友達(dá)光電的發(fā)布資料制作。（點(diǎn)擊放大）氧化物TFT的主要目標(biāo)是什

5、么 筆者認(rèn)為，要擴(kuò)大有機(jī)EL電視市場(chǎng)，必須滿足以下兩個(gè)條件：（1）確保背板的氧化物TFT的可靠性并降低成本（提高成品率和生產(chǎn)效率）；（2）開發(fā)低成本的大型有機(jī)EL工藝并確?？煽啃?。筆者對(duì)“Oxide vs.LTPS TFTs”這一議題的理解是，“要擴(kuò)大有機(jī)EL電視的市場(chǎng)，只能將氧化物TFT作為新一代高精細(xì)背板的事實(shí)標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)，包括液晶面板在內(nèi)，進(jìn)行大量生產(chǎn)，以實(shí)現(xiàn)背板的大眾化”。從這一意義上來(lái)說(shuō)，京東方等進(jìn)取型市場(chǎng)參與者的出現(xiàn)應(yīng)該受到業(yè)界的熱烈歡迎，LG集團(tuán)通過組合使用目前可以量產(chǎn)的技術(shù)來(lái)降低成本的戰(zhàn)略也是非常正確的。另一方面，即便在必須追求性能極限的移動(dòng)設(shè)備領(lǐng)域與LTPS進(jìn)行競(jìng)爭(zhēng)，恐怕也無(wú)法完

6、全發(fā)揮出氧化物TFT的優(yōu)勢(shì)。開發(fā)者見面會(huì)上備受關(guān)注的演講下面介紹一下筆者在開發(fā)者見面會(huì)上比較感興趣的演講，其中也有氧化物TFT之外的技術(shù)。夏普的TN模式液晶面板用大視角光學(xué)薄膜（論文編號(hào)：4.1）右為貼了薄膜的屏幕。從視頻后半部分可以看出，傾斜方向的顯示特性得到改善。（參閱）夏普的可實(shí)現(xiàn)獨(dú)特邊框造型的液晶顯示器（論文編號(hào)：49.1）正如下圖中電腦屏幕上顯示的圖形那樣，像素內(nèi)部配置了多個(gè)掃描驅(qū)動(dòng)器。掃描驅(qū)動(dòng)器由多個(gè)TFT組合構(gòu)成，但通過在每個(gè)像素中分散配置一個(gè)TFT，使掃描驅(qū)動(dòng)器可以配置在陣列內(nèi)。優(yōu)點(diǎn)是不會(huì)對(duì)顯示帶來(lái)影響?？梢詫?shí)現(xiàn)無(wú)邊框的獨(dú)特造型。真是一項(xiàng)有趣的創(chuàng)意。（參閱）(點(diǎn)擊放大)日本半導(dǎo)體能源研究所的Side Roll觸摸顯示器（論文編號(hào)：11.1） 采用把有機(jī)EL柔性顯示器和柔性觸摸面板重疊在一起的構(gòu)造，可彎曲半徑為4mm。能夠一直顯示到側(cè)面，可能會(huì)實(shí)現(xiàn)前所未有的全新便攜產(chǎn)品造型。日本顯示器的7英寸WUGA（12001920像素）反射型液晶面板（論文編號(hào)：9.2）采用了RGBW像素。只要很好地利用外部光線，就能顯示出非常清晰的彩色圖像。(點(diǎn)擊放大)半導(dǎo)體能源研究所的氧化物TFT驅(qū)動(dòng)型13.3英寸8K有機(jī)EL面板第三天的演示（論文編號(hào)：44.1）通過“白色有機(jī)EL+彩色濾光片”方式實(shí)現(xiàn)了664ppi高精細(xì)度。雖然該公司為試制出超高精細(xì)8K面板而做