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使用TFCalc編輯膜系的方法(簡(jiǎn)易操作步驟)>99.9高反膜系(波長(zhǎng)條件:具體步驟:點(diǎn)擊TFCalc圖標(biāo)進(jìn)入其操作界面:示如下界面:圖中自左到右的菜單名稱(chēng)中文意思分別是Fil
左圖中的中文意思自上到下分別是:新建膜系文件重新打開(kāi)膜系文件關(guān)閉膜系文件保存膜系文件以其他的文件名保存膜系文件恢復(fù)原始文件打印膜系打印設(shè)置退出TFCalc關(guān)于TFCalcNewCoatin”彈出如下“編輯環(huán)境對(duì)話(huà)框上圖左邊圖中英文對(duì)應(yīng)的中文意思分別是:Angle 角度 IncidentSubstrate 基底 FrontLayerBackLayer 基底后面 ExitMedium在上圖的右邊框內(nèi)分別輸入:
入射介質(zhì)基底前面出射介質(zhì)ReferenceIlluminat(光源:Incidentangl(入射角:Incidentmediu(入射介質(zhì)Substrate(基底)Thickness(厚度)mmExit出射介質(zhì)Detecto(探測(cè)器:FirstSurface(第一面)
1580WHITE(白光)0.0AIR(空氣)GaAs(砷化鎵)1(一般不考慮基底材料的厚度)GaAs(如果是透視膜系,則出射介質(zhì)一般是空氣)IDEA(理想探測(cè)器)Front注:光源、基底材料、探測(cè)器應(yīng)該分別在Illuminate、substrate、detector庫(kù)中存在。這些庫(kù)可以增減。AnalysisParameter(分析參數(shù))按鈕,彈出下面的對(duì)話(huà)框:因?yàn)楸纠覀兛紤]是入射角為0的條件,因此選中第一項(xiàng)的圓形無(wú)線(xiàn)電按鈕------Rangeofwavelength(波長(zhǎng)范圍(n,其他的均不選。點(diǎn)擊OK按鈕,返回上一層對(duì)話(huà)框,再點(diǎn)擊OK按鈕,顯示如下的反射率與波長(zhǎng)的關(guān)系曲線(xiàn)圖(該圖顯示的沒(méi)有鍍膜情況下,基底材料的反射率:圖上方的英文字符列出了該圖成立的環(huán)境條件。s0正整數(shù)。左邊菜單項(xiàng)從上到下對(duì)應(yīng)的中文意思是:環(huán)境膜堆公式前面層后面層組單一目標(biāo)連續(xù)目標(biāo)注釋可變材料環(huán)境材料基底光源探測(cè)器分布2種方法可以編輯膜系,下面我們分別介紹:使用膜堆公式()StackFomul圖中的英文意思如下:Entertheformula.Thesubstrateistheleftofthefirst(材料:后面框內(nèi)輸入材料名稱(chēng)Thicknes:厚度:后面框內(nèi)輸入厚度值(四分之一波長(zhǎng)數(shù),該值最好為大于0的正整數(shù)Optimiz(優(yōu)化yeN”Grou(組:后面的框內(nèi)輸入1下面的3個(gè)按鈕的意思是:GenerateLayers:生成膜系,完成后點(diǎn)擊該按鈕將生成膜系中間是取消Clearformula:清除公式。點(diǎn)擊該按鈕將不保存已經(jīng)輸入的膜堆公式,否則將下次進(jìn)入該對(duì)話(huà)框?qū)⒊霈F(xiàn)上次輸入的膜堆公式輸入膜堆公式,選擇H(高折射率材料)和)等參數(shù)后的對(duì)話(huà)框如下:如上圖所示,膜堆公式為(HL)^8H,省略了G,完整的應(yīng)該是G(HL)^8H,意思是:GHLHLHLHLHLHLHLHLH已經(jīng)調(diào)好波長(zhǎng)值106007,7×1580nm10600nm點(diǎn)擊“generate(bmodifLayer-Fron圖中顯示的是我們剛剛生成的膜系,用鼠標(biāo)點(diǎn)擊圖下方滑動(dòng)框的空白處,可以看到該膜系一共17層。圖中的英文意思是:Layer:層;Material:膜料;QWOT:四分之一波長(zhǎng)數(shù);Thickness(nm):厚度(該厚度為物理厚度,與QWOT1*N是4膜層的折射率,d是膜層的物理厚度,λ是參考波長(zhǎng),N是QWOT。例如我們來(lái)計(jì)算第一層:*N 1580*7d=4*n=4*2.4028=1150.74nm,與實(shí)際結(jié)果有偏差,可能是折射率數(shù)據(jù)或波長(zhǎng)不是四分之一相關(guān)的原因)Constran:強(qiáng)制;Needles:針優(yōu)化圖形最上方是二個(gè)選擇菜單Options和MoreOption至此我們已經(jīng)完成了利用第一種方法膜系設(shè)計(jì)。直接在Layer-Front窗口輸入數(shù)據(jù)modifLayer-Fron點(diǎn)擊該窗口上方的Option(選擇,則彈出如下菜單選項(xiàng):圖中菜單選項(xiàng)自上到下的意思是:增加前面膜層刪除前面膜層打印前面膜層…拷貝前面膜層…附加前面膜層前面膜層順序倒轉(zhuǎn)合并前面膜層計(jì)算等價(jià)折射率計(jì)算等價(jià)膜堆顯示膜層總厚度從讀取膜層數(shù)據(jù)將膜層數(shù)據(jù)保存在文件中將膜層數(shù)據(jù)保存在剪切板替代膜層數(shù)據(jù)FrontOLayer-Front現(xiàn)膜層數(shù)據(jù),該數(shù)據(jù)是缺省數(shù)據(jù),分別將光標(biāo)移動(dòng)要修改的位置,輸入正確的數(shù)據(jù)。重復(fù)17層;點(diǎn)擊“showThickness從左圖中我們可以知道膜層的厚度情況:ZnSeYF3膜料層厚度:15913.67nm總厚度:26263.97nm最薄層厚度:1150.03點(diǎn)擊“OK”返回。最終的結(jié)果與采用膜堆公式得出的結(jié)果相同。注意:入方法就可以;AILayer-FronOptionSaveDatainFile…”選擇項(xiàng),彈出下面的對(duì)話(huà)框:輸入文件名并選擇目錄后點(diǎn)擊保存按鈕即可。第三步選擇“modif”菜單中的第三項(xiàng)“Layer-Bac…DataFrom的文件,點(diǎn)擊“打開(kāi)”即完成操作。下面我們將要看看我們?cè)O(shè)計(jì)的高反膜系是否滿(mǎn)足要求。分的英文單詞出現(xiàn)在環(huán)境對(duì)話(huà)框中,并已解釋?zhuān)诖瞬辉俳忉專(zhuān)渲蠵olarizatio意思是偏振,后面出現(xiàn)的表示平均偏振??颍薷脑搶?duì)話(huà)框的相關(guān)選擇,可以滿(mǎn)足你的要求。圖中英文的意思分別是:Display(顯示PSI等與波長(zhǎng)的關(guān)系Polarization偏振:后面有3可以都選上)。分別是平局偏振光、P偏振光和S偏振光X-AxisUnits(XX軸單位為波數(shù)等X-AxisRange(X2個(gè)圓按鈕,1個(gè)是FullRang
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