平行曝光機(jī)市公開課一等獎(jiǎng)省賽課獲獎(jiǎng)?wù)n件

內(nèi)層3/3線路改進(jìn)報(bào)告

平行曝光機(jī)第1頁(yè)報(bào)告內(nèi)容定義問(wèn)題現(xiàn)況描述FailureMode原因分析改進(jìn)對(duì)策效果確認(rèn)后續(xù)計(jì)劃平行曝光機(jī)第2頁(yè)一:定義問(wèn)題1.當(dāng)前內(nèi)層解析度最好干膜HT310干膜量產(chǎn)解析能力為2.75mil,而當(dāng)前廠內(nèi)高精密度線路等級(jí)達(dá)到2.9/2.9,加入補(bǔ)償后間距1oz為2.15mil,0.5oz為2.525mil,均超出干膜量產(chǎn)解析能力2.實(shí)際sample品質(zhì)數(shù)據(jù)來(lái)看3/3量率也大大低於4/4以及以上線路等級(jí)產(chǎn)品.所以將問(wèn)題定義為線路等級(jí)提昇與製程能力矛盾問(wèn)題.我們改進(jìn)方向就是提昇製程能力平行曝光機(jī)第3頁(yè)二.現(xiàn)況描述當(dāng)前內(nèi)層已經(jīng)生產(chǎn)過(guò)幾個(gè)3/3線路sample以及線路等級(jí)靠近3/3XN7料號(hào).從當(dāng)前得到品質(zhì)數(shù)據(jù)來(lái)看,其Total缺點(diǎn)率比4/4等級(jí)高,從數(shù)據(jù)看主要差異為斷路/缺口平行曝光機(jī)第4頁(yè)三.FailureMode

平行曝光機(jī)第5頁(yè)四.原因分析從缺點(diǎn)FM來(lái)分析,有可能造成斷路/缺口/線路不規(guī)則原因有以下幾個(gè):平行曝光機(jī)第6頁(yè)五.改進(jìn)對(duì)策針對(duì)以上原因分析提出以下對(duì)策并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證降低電解脫脂線速并試用三種前處理壓膜溫度/速度DOE實(shí)驗(yàn)HT310/H2140干膜對(duì)比實(shí)驗(yàn)曝光能量/真空延遲時(shí)間DOE以及平行曝光機(jī)曝濕膜可行性實(shí)驗(yàn)(因?yàn)槔碚撋蠞衲ず穸仍?2um左右,只有干膜25um二分之一,所以解析能力應(yīng)該更加好,不過(guò)由於搭配7000非平行曝光機(jī)經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)露光,所以進(jìn)行此實(shí)驗(yàn))平行曝光機(jī)第7頁(yè)顯影線速DOE實(shí)驗(yàn)調(diào)整時(shí)刻均勻性下面是整個(gè)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)以及Comments平行曝光機(jī)第8頁(yè)電解脫脂/SPS/Etchingbond比對(duì)平行曝光機(jī)第9頁(yè)前處理線速/干膜類型/曝光能量/真空時(shí)間/顯影速度DOE實(shí)驗(yàn)平行曝光機(jī)第10頁(yè)壓膜溫度/速度DOE實(shí)驗(yàn)平行曝光機(jī)第11頁(yè)7000平行曝濕膜板實(shí)驗(yàn)平行曝光機(jī)第12頁(yè)Comments:從以上實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)我們能夠知道:前處理Etchingbond效果最好;同為電解脫脂情況下2.7m/min效果最好壓膜demo參數(shù)為120℃----1.8m/minH2140干膜效果比HT310好曝光能量HT310:18+/-1格;H2140:19+/-1格顯影速度HT310:3.7m/min;H2140:維持內(nèi)層噴壓前提下4.0m/min線速較好平行曝光機(jī)第13頁(yè)六.效果確認(rèn)在初版POR分發(fā)現(xiàn)場(chǎng)后,業(yè)務(wù)有發(fā)一批sample(XZ40477)test初版POR,結(jié)果以下:此板共20片,全部使用H2140干膜生產(chǎn),在L/A抽檢處報(bào)廢4片,為曝光型缺點(diǎn),后將此板退洗,抽檢OK,到A90檢驗(yàn)時(shí)PCS缺點(diǎn)率為3.13%,斷路pcs缺點(diǎn)率為1.39%,缺口PCS缺點(diǎn)率為2.43%,報(bào)廢率為0此板在內(nèi)層課共退洗2次﹐第一次抽檢有線路不規(guī)則﹐且前處理線速用錯(cuò)﹐第二次因抽檢有共同斷路異常且干膜用錯(cuò)﹐用HT310干膜﹐兩次退洗﹐可能對(duì)斷路缺口有影響。平行曝光機(jī)第14頁(yè)七.后續(xù)計(jì)劃由於現(xiàn)在內(nèi)層前處理沒(méi)有產(chǎn)能壓力且Etchingbond成本也比較高,所以假如新增前處理線必定會(huì)造成浪費(fèi)H2140干膜單價(jià)比HT31