石英玻璃行業(yè)現(xiàn)狀：石英砂提供較好供應(yīng)基礎(chǔ) 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來廣闊需求

石英玻璃行業(yè)現(xiàn)狀：石英砂提供較好供應(yīng)基礎(chǔ)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來廣闊需求石英玻璃可由天然石英（水晶等）經(jīng)高溫熔融煉制，也可由硅的化合物經(jīng)化學(xué)氣相沉積合成。石英玻璃可分為天然石英玻璃以及合成石英玻璃，目前市場上較主流的制備石英玻璃的工藝包括電熔法和氣煉法制備天然石英玻璃，化學(xué)氣相沉積法制備合成石英玻璃。石英玻璃的制備工藝

制備工藝

電熔工藝

氣熔工藝

合成工藝(CVD)

合成工藝(PCVD)

石英玻璃類型

天然石英玻璃

合成石英玻璃

原料

石英砂

SiCl4

金屬雜質(zhì)含量

~20

<1

羥基含量

<10

~200

~1000

~5

光譜透過波段

400~4000

400~2000

190~2000

190~4000

光學(xué)均勻性

差

差

良好

良好

石英砂和硅化物是生產(chǎn)石英玻璃的主要原材料。2016-2020年，我國石英砂產(chǎn)量及需求量呈持續(xù)增長趨勢，為國內(nèi)石英玻璃市場發(fā)展提供了較好的發(fā)展基礎(chǔ)。根據(jù)觀研報(bào)告網(wǎng)發(fā)布的《中國石英玻璃行業(yè)市場現(xiàn)狀深度研究與發(fā)展前景分析報(bào)告（2022-2029年）》顯示，2020年，我國石英砂行業(yè)產(chǎn)量達(dá)到8765萬噸，需求量為9093萬噸；預(yù)計(jì)2021年石英砂產(chǎn)量可達(dá)9200萬噸，需求量可達(dá)9572萬噸。

目前，我國石英玻璃憑借著高純度、無污染、耐高溫等的優(yōu)良特性，應(yīng)用范圍廣泛，尤其是半導(dǎo)體領(lǐng)域，應(yīng)用占比最大，達(dá)65%；其次是光纖和光學(xué)，占比分別是14%和10%。以半導(dǎo)體領(lǐng)域?yàn)槔⒉Ａг诎雽?dǎo)體領(lǐng)域主要產(chǎn)品為半導(dǎo)體石英器件、半導(dǎo)體石英基板、半導(dǎo)體石英玻璃（含坩堝），其市場規(guī)模分別占比41%、31%與28%。主要石英制品在半導(dǎo)體制造過程中的應(yīng)用

石英制品

作用

應(yīng)用工序

趨勢/要求

生產(chǎn)廠家舉例

石英坩堝

提煉、清洗容器以及制作晶圓IC載體

清洗、晶圓制造

增大尺寸、提高純度、改善抗高溫形變性能

東科石英、石英股份

高精度石英玻璃基片

光掩膜基板主要基礎(chǔ)材料

光刻

精細(xì)化

石英玻璃擴(kuò)散管

將半導(dǎo)體中雜質(zhì)原子擴(kuò)散(用量最大的石英玻璃制品)

擴(kuò)散、氧化

純度、抗高溫的變形性、幾何尺寸都會(huì)直接影響集成電路和器件的質(zhì)量、成本和生產(chǎn)效率，要求大規(guī)格、高純度、長壽命

東科石英

石英環(huán)

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片刻蝕等工藝，對(duì)尺寸精度、潔凈度、外觀狀態(tài)等方面的要非常高，部分產(chǎn)品不允許返修，必須一次成型，所以對(duì)加工能力要求高。

刻蝕

精度、潔凈度、外觀狀態(tài)；部分要求一次成型

杭州大和、沈陽漢科

石英法蘭

單晶硅片擴(kuò)散、氧化、CVD沉積爐中與石英玻璃擴(kuò)散管配套使用，主要起連接作用

單晶硅片擴(kuò)散、氧化、CVD

/

菲利華

石英舟、支架等

單晶硅片擴(kuò)散、氧化、CVD沉積、退火處理、硅片酸洗和超聲波清洗的承載器具，與單晶硅片直接接觸

硅片清洗

和單晶硅在高溫下直接接觸，對(duì)石英玻璃的純度、耐溫性要求較高

東科石英、凱德石英、杭州大和

石英鐘罩

主要用作多晶硅的還原爐罩

多晶硅還原

/

凱德石英

球形硅微粉

封裝

晶圓封裝

超細(xì)、高純度，對(duì)顆粒形狀的球形化