《集成電路工藝實驗》實驗教學（及含實驗學分課程）大綱（模板）

《集成電路工藝實驗》實驗教學（及含實驗學

分課程）大綱一、課程基本情況課程編號：082W45D學分：1周學時：2總學時：34開課學期：3.2開課學院：理學院課程英文名稱：適用專業(yè)：微電子學專業(yè)課程類別：專業(yè)教育平臺課課程修讀條件：半導體物理與器件、電路原理、數字電路、模擬電路、CMOS數字集成電路、模擬CMOS集成電路實踐方式：課堂教學+實驗網絡課程地址：課程負責人：所屬基層學術組織：微電子科學與工程系二、課程簡介本課程具有較強的實踐指導意義。通過理論學習與一系列實驗教學環(huán)節(jié)，培養(yǎng)學生獨立完成數字集成電路數據采樣、信號時序分析和信號狀態(tài)分析；獨立完成模擬集成電路信號的頻譜分析；獨立完成集成電路裸片上器件的I-V特性測試;獨立完成芯片開路、短路測試，電流電壓曲線測試，以及漏電流等的測試。通過這些實驗，可以更好地鞏固學生所學的專業(yè)理論知識，擴大集成電路測試的知識面，為學生從事集成電路工作打下扎實的理論基礎，提高學生芯片測試能力。本課程是對數字集成電路、模擬集成電路等知識的應用和相關理論的驗證。三、教學目標、任務通過本課程的學習，要求學生掌握數字集成電路和模擬集成電路信號的測量和分析方法，并會熟練使用相關測試儀器。通過使用安捷倫的邏輯分析儀，掌握數字集成電路數據采樣、信號時序分析和信號狀態(tài)分析方法；通過使用安捷倫的頻譜分析儀，掌握模擬集成電路信號的頻譜分析方法；通過使用半導體特性測試系統(tǒng)，掌握集成電路裸片上器件的「V特性曲線測試方法；通過使用自動曲線追蹤儀，掌握封裝集成電路芯片開路、短路測試方法，電流電壓曲線測試方法，以及漏電流等的測試方法。四、教學方法與基本要求學生6人一組，每組一套實驗儀器；課程以教師講解，學生實際動手操作以及師生討論的形式實施。在理論課程的學習基礎上，通過大量實驗，要求學生掌握數字集成電路信號采集、時序分析的方法，掌握模擬集成電路頻譜分析的方法，掌握集成電路裸片上器件參數的測量與分析方法，掌握封裝完成的芯片開路、短路、漏電流、i-v特性曲線等的測量方法。要求學生熟練使用相關儀器的操作方法，熟悉實驗操作步驟。五、主要內容及學時分配注：序號實驗項目名稱實驗類型（或上機類型）實驗類別時數每組人數1數字集成電路信號的邏輯分析綜合專業(yè)1262模擬集成電路信號的頻譜分析綜合專業(yè)1263封裝芯片的檢測與分析綜合專業(yè)1264集成電路器件的測試與分析綜合專業(yè)1561.實驗類型：演示、驗證、操作、綜合、設計、研究;上機類型：單項訓練、綜合訓練。2.實驗類別：指基礎、專業(yè)基礎、專業(yè)。六、考核及成績評定方式實驗成績評定標準：實驗考核以學生的實驗態(tài)度、掌握的實驗理論、實際操作技能和實驗報告等為主。每個實驗根據預習情況、實驗過程和實驗報告評分。課程最終成績?yōu)樗袑嶒烅椖砍煽兊钠骄?。實驗態(tài)度占15圾實驗理論占15。卜,操作技能占20%,實驗報告占50%。七、教材及參考書目

撰寫人：類別教材名稱編者出版社出版時間經考書CMOS模擬集成電路設計（第2版）菲利普E.艾倫(PhillipE.Allen),道格拉斯R.霍爾伯格(DouglasR.Holberg)電子工業(yè)出版社2011年1月著；馮軍譯經考書《數字集成電路-電路、系統(tǒng)與設計（第2版）》作者：（美）拉貝艾譯者：周潤德電子工業(yè)出版社2010年11月經考書Smart-1CurveTracerUserManual宜準科技股份有限公司2007年11月參考書SpectrumAnalyzerModeMeasurementGuide安捷倫科技有限公司經考書SignalAnalyzerGettingStartedandTroubleshootingGuide安捷倫科技有限公司經考書Model