潔凈室檢測潔凈室檢測報(bào)告

潔凈室檢測潔凈室檢測報(bào)告潔凈室檢測篇一:潔凈室各項(xiàng)目檢測方法總結(jié)高效過濾器檢漏一、說明過濾網(wǎng)的泄漏測試應(yīng)當(dāng)是無塵室測試中，最復(fù)雜、最耗時(shí)間的測量項(xiàng)目。泄漏測試的目的，是要確認(rèn)：濾網(wǎng)的材料無破損，安裝恰當(dāng)。濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過泄漏測試，但是在搬運(yùn)與安裝過程難保完全無損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認(rèn)濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當(dāng)，微粒會從邊框漏進(jìn)無塵室風(fēng)口。就算是FFU系統(tǒng)，天花板上是負(fù)壓，若是邊框機(jī)有微粒日后仍舊會產(chǎn)生問題。因此，邊框掃描一樣重要。濾網(wǎng)泄漏測試基本上是上游的顆粒，然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。測試方式有：1.氣膠光度計(jì)測試法，2.微粒計(jì)數(shù)器測試法，3.全效率測試法，4.外氣測試法。后兩種現(xiàn)在使用非常少。二、方法氣溶膠光度計(jì)測試法氣膠光度計(jì)測試法是最早期的測試方式，但是因?yàn)樾Ч浅：?，到今天仍舊沿用。氣膠光度計(jì)(AerosolPhotometer)是微粒計(jì)數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強(qiáng)度，不是微粒數(shù)目。DOP是一種油性化學(xué)物質(zhì)，現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，可用來模擬無塵室的微粒，因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。微粒計(jì)數(shù)器測試法半導(dǎo)體業(yè)方面，早期也是使用DOP/PAO與氣膠光度計(jì)，但是隨著制造精密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無塵室使用，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計(jì)數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經(jīng)過科學(xué)家一步步研究結(jié)果，發(fā)現(xiàn)PSL因?yàn)槲⒘５牧脚c濃度可以控制，因此是目前最廣為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒。使用時(shí)只要把PSL溶液霧化，導(dǎo)入濾網(wǎng)上游即可PAO/DOP過濾器檢漏說明氣膠光度計(jì)測試法是最早期的測試方式，但是因?yàn)樾Ч浅：?，到今天仍舊沿用。氣膠光度計(jì)(AerosolPhotometer)是微粒計(jì)數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強(qiáng)度，不是微粒數(shù)目。DOP是一種油性化學(xué)物質(zhì)，加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，可用來仿真無塵室的微粒，因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。1泄漏的定義是泄漏出上游濃度萬分之一，由于氣膠光度計(jì)可以直接顯示上下游微粒濃度的比值，因此掃描濾網(wǎng)非常方便。也正因其準(zhǔn)確、可靠，美國食品與藥品管制局(FDA)規(guī)定，在其管轄范圍內(nèi)(食品加工場所與醫(yī)療制藥場所)，所有的濾網(wǎng)泄漏測試必須使用DOP與氣膠光度計(jì)。近年來由于人們懷疑DOP會導(dǎo)致癌癥，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性類似，使用上無多大差異。測試儀器1本測試法使用儀器為氣膠光度計(jì)(AerosolPhotometer)與微粒產(chǎn)生器(AerosolGenerator)。氣膠光度計(jì)的顯示版有模擬與數(shù)字兩種，每年必須校正一次。微粒產(chǎn)生器有兩種，一種是普通的微粒產(chǎn)生器，只要求高壓空氣，另一種是加熱型微粒產(chǎn)生器，要高壓空氣和電源，微粒產(chǎn)生器不需要校正。測試方式濾網(wǎng)泄漏測試的步驟，大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網(wǎng)與邊框掃描以發(fā)現(xiàn)泄漏、更換或修補(bǔ)、重測，其步驟說明如下在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號。確定空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)并可供測試，風(fēng)速與風(fēng)量必需調(diào)整平衡完畢。使用氣膠產(chǎn)生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，將PAO打入濾網(wǎng)上游，微粒濃度是大約每公升空氣含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏，但是超過50微克以后差別不大，少于10則很難使用。微粒濃度可用風(fēng)量粗略計(jì)算，再用氣膠光度計(jì)確認(rèn)。上游微粒濃度確認(rèn)后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，尋找泄漏，必要時(shí)濾網(wǎng)四周可用塑料簾覆蓋以確保測試之準(zhǔn)確在濾網(wǎng)表面掃描，掃描之路徑可由外而內(nèi)或沿長/短邊迂回檢測.潔凈度測試一、說明潔凈度測試是無塵室性能測試的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都只在確認(rèn)無塵室的潔凈度不受外來影響，因此潔凈度測試都放在前述幾項(xiàng)測試都通過之后。潔凈度測試完畢，與落塵有關(guān)的性能因素就都測試完畢，其它測試對潔凈度影響不大，或是屬于其它環(huán)境測試。二、測試儀器潔凈度測試使用微粒計(jì)數(shù)器，儀器須經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)，交附報(bào)告時(shí)須附合格之校正文件。微粒計(jì)數(shù)器有不同規(guī)格，最常見的是流量1cfm，最小粒徑可測到0.3mm或是0.1mm，單位多是立方英叭。至于應(yīng)使用何種設(shè)備，要依業(yè)主的規(guī)范而定。一般在產(chǎn)業(yè)界，多依以下方式選擇微粒計(jì)數(shù)器。Class1000或更高：0.5|amClass100:0.3|am，0.5umClass1至UClass10:0.1|am若是業(yè)主要求的粒徑范圍超過單一微粒計(jì)數(shù)器的范圍，則應(yīng)該使用兩部微粒計(jì)數(shù)器。目前市面上少見立方公尺的微粒計(jì)數(shù)器，因此若是無塵室的潔凈度是以ISO為基準(zhǔn)，則要把結(jié)果作換算。單位換算，不影響上限的計(jì)算程序。三、測試步驟：確定空調(diào)系統(tǒng)之測試調(diào)整與平衡已完成，濾網(wǎng)之風(fēng)速及泄漏測試均已完成，并已修換破損部分。⑵確認(rèn)測試位置與測試點(diǎn)數(shù)。(3)取樣時(shí)間：每點(diǎn)的取樣時(shí)間依照等級與粒徑不同而異，若取樣時(shí)間小于一分鐘，則以一分鐘為準(zhǔn)。測試位置應(yīng)均勻分布在無塵室內(nèi)，避免在產(chǎn)生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當(dāng)之架臺支撐，不可以手持支撐。測量點(diǎn)數(shù)以公式計(jì)算(與209E相同)。四、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：潔凈度的驗(yàn)收基準(zhǔn)有二，首先是每點(diǎn)的微粒測量平均值必須低于規(guī)定值。潔凈度的第二個(gè)驗(yàn)收基準(zhǔn)就是，任一隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也必須小于規(guī)定值。風(fēng)速及平衡性測試一、測試目的氣流是控制潔凈度與溫濕度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測量，都是放在無塵室測試的第一步。風(fēng)速測量的目的，是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計(jì)規(guī)范，其次是確認(rèn)氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來換算。單一流向型無塵室，很多都是設(shè)計(jì)成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單一流向型無塵室，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠(yuǎn)比風(fēng)速重要。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測量或是無塵室室內(nèi)風(fēng)速測量。二、使用儀器無塵室里面使用的HEPA/ULPA濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在0.5m/s以內(nèi)，因此所使用的風(fēng)速計(jì)必須是低速型。濾網(wǎng)風(fēng)速測量可使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如電子式壓力計(jì)配合皮氏管、熱線式風(fēng)速計(jì)。也可以使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如ShortridgeVelgrid16點(diǎn)風(fēng)速計(jì)。輪葉式風(fēng)速計(jì)因使用范圍不同，通常不在無塵室內(nèi)使用。熱線式風(fēng)速計(jì)(HotWire)雖然高頻響應(yīng)良好，但是低速時(shí)〈0.5m/s以下〉準(zhǔn)確性很低，因此不很適用，一般熱反應(yīng)風(fēng)速計(jì)常用的是Thermeister式風(fēng)速計(jì)。轉(zhuǎn)輪式風(fēng)速計(jì)由于本身重量問題，也不適用低速。檢驗(yàn)儀器須經(jīng)校正合格，且仍在有效期限內(nèi)。三、測試步驟在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。取樣點(diǎn)位于濾網(wǎng)下方75-150mm處。每一個(gè)濾網(wǎng)下，若是使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每1平方英尺取一點(diǎn)；若是使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每4平方英尺取一點(diǎn)。每測量點(diǎn)必須取5秒的平均。依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)速，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測試點(diǎn)。記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。重要的是在非單一流向型無塵室測試時(shí)，特別注意取樣時(shí)風(fēng)速計(jì)不可受到干擾，以免影響準(zhǔn)確度。四、數(shù)據(jù)分析風(fēng)速測量很簡單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來判定。均勻度是由相對標(biāo)準(zhǔn)差來代表，其計(jì)算步驟如下。1.平均值：2.標(biāo)準(zhǔn)差風(fēng)量及平衡性測試一、說明風(fēng)量測量的目的通常是用來計(jì)算換氣量，一般是在非單一流向型無塵室，或是測量空調(diào)系統(tǒng)中各式各樣的出風(fēng)口、回風(fēng)口、排氣口等的風(fēng)量時(shí)使用。只有在無法使用氣罩的場合(氣罩體積較大，有時(shí)會受限制)，才能使用風(fēng)速乘以面積等于風(fēng)量的方式，用風(fēng)速來換算風(fēng)量。使用風(fēng)速換算風(fēng)量時(shí)，須注意出風(fēng)口之有效面積以及修正系數(shù)的取得。在回風(fēng)口和排氣口，使用換算法的準(zhǔn)確度非常差，應(yīng)盡量避免。同樣氣罩通?？梢詼y量送風(fēng)與回風(fēng)，正值代表送風(fēng)，負(fù)值代表回風(fēng)或排氣。須注意的是反向測量時(shí)，其測量范圍通常會降低。二、測試儀器風(fēng)量測量應(yīng)當(dāng)使用氣罩(FlowMeasuringHood)，氣罩的測量范圍是15~2500cfm，精確度要求為讀數(shù)的±3%。由于氣罩本身會產(chǎn)生壓損，因此其形狀很重要，應(yīng)盡量使用原廠氣罩。若有必要自行制造罩子，應(yīng)注意氣流順暢并且做詳細(xì)比對。氣罩的校正非常重要，必須主機(jī)連同罩子一起校正，才能得到準(zhǔn)確校正值。檢驗(yàn)時(shí)必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，于正式檢測前及繳交報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。三、測試步驟：在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。使用恰當(dāng)尺寸氣罩將出風(fēng)口完全罩住，然后測量與計(jì)錄。依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)量，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測試點(diǎn)。記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。四、數(shù)據(jù)分析：風(fēng)量均勻度的計(jì)算與風(fēng)速向同，都是由相對標(biāo)準(zhǔn)差來代表，其計(jì)算步驟如下。平均值：將所有風(fēng)測量量值取算數(shù)平均標(biāo)準(zhǔn)差：計(jì)算所有風(fēng)測量量值的標(biāo)準(zhǔn)差壓差測試一、說明壓力測量的目的是確認(rèn)無塵室空調(diào)系統(tǒng)的壓力設(shè)定。無塵室內(nèi)維持相當(dāng)?shù)恼龎阂跃S持潔凈度，這已經(jīng)是個(gè)monsense，在209的舊版本中，正壓有建議值，但是后來就取消了。目前常見的正壓值約是10到25Pascal之間。壓力測量的時(shí)機(jī)，應(yīng)該是在風(fēng)速、風(fēng)量、平行度等與氣流直接相關(guān)的測試結(jié)束之后立即測量，尤其不可在潔凈度測量完畢之后才測量壓力。因?yàn)槿绻麎毫Σ粚?，要立刻調(diào)整以免影響潔凈度。測量時(shí)，所有門窗都必須關(guān)上，所有的風(fēng)扇也必須維持正常運(yùn)轉(zhuǎn)。二、測試儀器壓力測量可使用傾斜管壓力計(jì)，指針式壓力計(jì)，或是電子式壓力計(jì)，總之只要測量范圍與精確度滿足要求即可。壓力計(jì)之精確度要求為讀數(shù)的±5%，測量范圍式壓力設(shè)計(jì)值而定，一般0?5mmAq(0-50Pascal)即可涵蓋室內(nèi)外壓力差之測量。儀器需經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)之才可以使用，檢測前及交附報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。三、測試步驟必須在風(fēng)速、風(fēng)量、氣流等測試完成后，才能測試壓力，并且排氣與MAU要完全正常運(yùn)轉(zhuǎn)。全部門與開口都要關(guān)閉。室外大氣壓力假設(shè)為O.OmmAq表壓力。測定潔凈區(qū)域與相鄰較次級潔凈區(qū)域之壓差，再測量房間與Gowningroom之間壓差，最后測量Gowningroom與外部之壓差。建議壓差值為5?12Pa，并無強(qiáng)制規(guī)定。記錄所有數(shù)值。溫濕度檢測一、說明溫濕度測量的目的是確認(rèn)室內(nèi)之溫濕度控制在范圍之內(nèi)，溫濕度對微?？刂茮]有甚么影響，因此溫濕度測試屬于第三級測試（Level3）。但是因無塵室多半同時(shí)也是環(huán)控室，所以溫濕度常常就一并測量了。溫濕度測量又分為一般測量和進(jìn)階測量（GeneralTestsandComprehensiveTests），一般測量只是測量溫濕度在測量點(diǎn)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)（單一測數(shù)據(jù)），適用在對溫濕度要求不高的場所。進(jìn)階測量就要紀(jì)錄在測量點(diǎn)一段長時(shí)間的溫濕度，目的是要觀察溫濕度隨時(shí)間的變化情形，以確認(rèn)濕度在控制之下。進(jìn)階測量適用在對溫濕度要求比較高的場所。二、測試儀器：常見的溫濕度儀器是電子式溫度計(jì)與鏡面冷凝光學(xué)式濕度計(jì)，一般測量和進(jìn)階測量使用儀器的精度相同，溫度測量范圍是0-100C。，精確是±0.2C。濕度測量范圍是10%到95%，精確度是±2%。一般測量要求溫度之顯示值可顯示0.1C的變化，濕度的顯示值可顯示1%的變化。進(jìn)階測量則要求溫度之顯示值可顯示0.05C的變化，濕的顯示值可顯示0.1%的變化。檢測儀器需校正合格且仍在有效期限內(nèi)者，于測試前或交附報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。三、測試程序：確認(rèn)空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)安裝完成，并已完成測試、調(diào)整、平衡?？照{(diào)系統(tǒng)測試、調(diào)整、平衡可以平衡風(fēng)量和水量，使其達(dá)到設(shè)計(jì)要求，為溫濕控制提供正確的運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境，因此系統(tǒng)要先平衡才能測試。依據(jù)平面圖，列出各種溫濕度要求區(qū)域，并使系統(tǒng)達(dá)到正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，系統(tǒng)應(yīng)在溫濕度自動(dòng)控制之下，至少運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)以上。測試點(diǎn)數(shù)為每個(gè)房間至少量一點(diǎn)，并且每個(gè)溫濕度控制區(qū)至少量一點(diǎn)，例如每個(gè)DryCoil的控制范圍要量一點(diǎn)，測量高度為（高架）地板上1.00m。將溫濕度傳感器放置同一位置，待穩(wěn)定后開始記錄。光照度測試一、測前準(zhǔn)備潔凈室所有開孔皆需封閉氣密處理完成測試前空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已完成測試、調(diào)整、平衡，并已連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)以上。潔凈室環(huán)境需清潔完成二、測試目的此檢測動(dòng)作在于確認(rèn)無塵室照明系統(tǒng)是否有達(dá)到設(shè)計(jì)要求。三、測試儀器專業(yè)照度儀四、測試步驟無塵室光源至少使用100小時(shí)以上，測試前需點(diǎn)亮2小時(shí)以上。確認(rèn)測試點(diǎn)及配置圖編號。將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，待數(shù)值穩(wěn)定后量測10秒記錄。噪音度測試一、檢測準(zhǔn)備竣工圖面（初版）與相關(guān)規(guī)范確認(rèn)潔凈室所有開孔皆需封閉氣密處理完成。測試前空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已完成測試、調(diào)整、平衡，并已連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)以上。潔凈室環(huán)境需清潔完成。二、測試目的此檢測動(dòng)作在于確認(rèn)無塵室噪音是否有達(dá)到設(shè)計(jì)要求。三、測試儀器專業(yè)噪音儀四、測試位置每40m2取1點(diǎn)為量測點(diǎn)，另針對業(yè)主要求局部增加測試點(diǎn)數(shù)。五、測試步驟：無塵室所有空調(diào)設(shè)備及公用設(shè)備均為運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。確認(rèn)測試點(diǎn)及配置圖編號。將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，高度量測10秒后記錄最大值。氣流流向檢測一、測試目的平行度測量的目的，是觀察在工作區(qū)域里面氣流的運(yùn)動(dòng)模式，同時(shí)也可以觀察儀器設(shè)備對氣流的影響。平行度測量應(yīng)該在氣流的風(fēng)速與均勻度都測試完畢且通過之后進(jìn)行，過早進(jìn)行可能得不到正確的數(shù)據(jù)。二、測試方法一般而言平行度的測量，是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質(zhì)棉線。煙霧或水霧的共同優(yōu)點(diǎn)是只要粒子夠小，煙霧可隨風(fēng)飄揚(yáng)，可正確的反映氣流運(yùn)動(dòng)模式。但是其共同問題是滯空性不足，觀測時(shí)間太短。測量平行度需要花一些時(shí)間，因此需要大量煙霧或水霧，對無塵室可能造成污染。另一種方式是使用輕質(zhì)細(xì)線，讓細(xì)線隨風(fēng)飄舞，然后測量氣流平行度。在無塵室內(nèi)普遍使用新的高分子材料Flo-Viz，是用尼龍抽成單絲所制成，由于質(zhì)量很輕因此適合作無塵室平行度測量。測量平行度的方法是立一根鉛垂線，然后在濾網(wǎng)下方施放煙霧或是安放細(xì)線，之后觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角，或是測量細(xì)線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度。三、測試儀器支架2.鉛垂線3.Flo-Viz細(xì)線4.氣流流向檢測儀四、測試步驟用支架設(shè)立垂線作為基準(zhǔn)線。將細(xì)線在室內(nèi)懸吊，使其自然下垂，細(xì)線會隨空氣流向飄移。計(jì)算偏移角=tan-1（懸吊線漏移量/1220）。6.每3mx3m區(qū)域量1點(diǎn)。若是使用煙霧，其方式很類似，就是在濾網(wǎng)下施放煙霧，然后將鉛垂線的上端點(diǎn)移動(dòng)到與煙霧相接觸，將紅線當(dāng)成煙霧，再計(jì)算夾角就可以了。地板導(dǎo)電檢測一、測試介紹導(dǎo)電度可視為電流流經(jīng)或繞過某物體之容易程度(relativeease)，電阻的倒數(shù)即導(dǎo)電度二、、測量目的測量地板上點(diǎn)與點(diǎn)之間(FloorPointtoPoint)的電阻，和地板與大地間(FloortoGround)的電阻三、PointtoPoint檢測過程溫濕度需已經(jīng)測試調(diào)整合格每組數(shù)據(jù)需使用兩個(gè)電極電阻計(jì)之開路電壓為500奧姆，內(nèi)阻至少_奧姆每個(gè)無塵室至少量5組數(shù)據(jù)，取平均值四、FloortoGround檢測過程這是測量無塵室地板與接地電極間，導(dǎo)電性的強(qiáng)度。溫濕度需已經(jīng)測試調(diào)整合格電阻計(jì)兩端的電極，一個(gè)接在地板上，另一個(gè)連在最接近的建筑物柱子上測量位置由Owner指定，應(yīng)有20個(gè)位置每位置取不同的5點(diǎn)測量，再取平均值平均之電阻應(yīng)小于一百萬歐姆所有的原始數(shù)據(jù)與平均值都需表列于報(bào)告中自凈能力檢測一、測試目的確認(rèn)在無塵室釋放顆粒后，測量在多少時(shí)間內(nèi)能恢復(fù)到釋放之前的潔凈水平。二、測試儀器顆粒測試儀（品牌METONE），型號：3313、2100、顆粒釋放器。三、測試位置任意抽取測量點(diǎn)，也可與相關(guān)人員共同確認(rèn)測試點(diǎn)。四、測試步驟在測試開始之前要保證凈房空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)24以上，讓潔凈環(huán)境達(dá)到一個(gè)穩(wěn)定的水平。在抽取的測量點(diǎn)放好顆粒計(jì)數(shù)器，先做顆粒潔凈度測試，記錄該房間每立方英尺體積的空氣中含有的0.3um顆粒數(shù)量，連續(xù)測試數(shù)分鐘，待取一個(gè)穩(wěn)定的數(shù)據(jù)，此時(shí)，再將該房間的整個(gè)空調(diào)系統(tǒng)全部斷電。在該房間內(nèi)釋放顆粒，使于外界非潔凈區(qū)域的顆粒自使整個(gè)潔凈室0.3um的顆粒濃度達(dá)到之前濃度的10或100倍。此時(shí)再啟動(dòng)空調(diào)系統(tǒng)，使其正常運(yùn)行，測試該潔凈室內(nèi)顆粒濃度恢復(fù)到之前水平所需要的時(shí)間靜電檢測一、測試目的靜電問題不是只有半導(dǎo)體業(yè)才有，其它行業(yè)也有類似問題。微小物質(zhì)上若是含有靜電，就會變成非常難處理的問題，因?yàn)閭鬏斪兊暮懿蝗菀?。另外在無塵室里面，若是物體表面帶有靜電，就很容易吸引灰塵造成污染。靜電測試的目地是測量空氣中正離子與負(fù)離子的含量，依此數(shù)據(jù)可仿真物體在該氣流場中之殘余表面電壓。二、測試程序于無塵室內(nèi)離地32英口寸(813mm)處，測量該位置之空氣中正離子與負(fù)離子的含量，單位是每立方厘米離子數(shù)。測量點(diǎn)數(shù)：10個(gè)，或由業(yè)主自己決定。在同一位置做殘余電壓測試。潔凈室檢測篇二:潔凈室監(jiān)測與檢測技術(shù)(收藏版)(無塵室)潔凈室檢測篇三:無塵室測試與認(rèn)證無塵室測試與認(rèn)證使用者在開無塵室的等級給供貨商時(shí)，有以下幾個(gè)小技巧。首先是等級定義的模式如下：ClassX(atY頃)其中X是無塵室的等級，例如100或—等等，Y是粒徑如0.2^m,0.5^m等，可復(fù)選。意思就是使用者規(guī)定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭，以下是幾個(gè)例子：Classi(0.1|am,0.2|am,0.5|am)Class100(0.2^m,0.5^m)Class100(0.1|am,0.2^m,0.5^m)在Classes100(M3.5)andGreater(Class100，1000，__)，一般看一個(gè)粒徑即可。在ClassesLessthan100(M3.5)(Class10，1)，一般要看多幾個(gè)粒徑。第二個(gè)技巧是規(guī)定無塵室的狀態(tài)，例如：ClassX(atY|am)，At-rest供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態(tài)下驗(yàn)收。第三個(gè)技巧是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時(shí)無塵室都很干凈，微?？刂颇芰y試不

易，這時(shí)可以干脆把驗(yàn)收上限壓低，例如:Class__(0.3|am=__),As-builtClass__(0.5|am=1000),As-built這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態(tài)時(shí)，依然有足夠的微?？刂颇芰?。以下兩個(gè)表是Fed-Std-209E的等級定義，和ISO-—易，這時(shí)可以干脆把驗(yàn)收上限壓低，例如:Class__(0.3比較以上兩表我們可看出1.209E的公制和英制兩套標(biāo)準(zhǔn)，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關(guān)性。兩制放同一表，徒然造成混淆。2.在兩表中0.5mm幾乎出現(xiàn)在每一個(gè)等級定義中，表示粒徑0.5mm的粒子非常具有代表性。3.在潔凈度的分類上，不管是在高潔凈度，或是低潔凈度，ISO-_的范圍比209E都來的廣，因此具有未來性。四、無塵室測試范圍凡是和無塵室環(huán)境控制有關(guān)的因素，都在無塵室認(rèn)證的范圍之內(nèi)。在無塵室完工之前，業(yè)主、施工單位、與測試單位?應(yīng)就以下幾個(gè)主題做詳細(xì)討論并達(dá)成協(xié)議，以利測試進(jìn)行。1.待測無塵室涵蓋范圍、等級、面積、濾網(wǎng)位置、與數(shù)量2.測試的目的3.測試程序4.使用儀器5.測試報(bào)告撰寫方式與內(nèi)容6.工期在測試前，將以上項(xiàng)目定義清楚，可以使測試順利進(jìn)行，發(fā)現(xiàn)問題時(shí)也可以盡快排除，對業(yè)主和施工單位都有利。IEST-0062有一個(gè)表說明測試項(xiàng)目，以及適用狀態(tài)，具有相當(dāng)參考價(jià)值表列如下。由上表可看出，風(fēng)測量試〈使用氣罩〉適用任何狀態(tài)，因?yàn)椴灰资芨蓴_。風(fēng)速測量，在非單一流向型〈亂流型〉無塵室就不推薦，因?yàn)槿菀资芨蓴_。當(dāng)然這是IEST的建議，我們可以自行決定。至于測試的項(xiàng)目選擇，NEBB建議：依重要性分成三級，說明如下。第一級〈LevelI〉：第一級測試是所謂的主要測試，與潔凈度直接有關(guān)的測試都屬第一級，每個(gè)無塵室都應(yīng)至少應(yīng)做的測試。第一級測試項(xiàng)目包括：A.風(fēng)速測量B.風(fēng)測量量C.前兩項(xiàng)的均勻度分析D.濾網(wǎng)泄漏測試E.潔凈度測試F.壓力測量第二級〈LevelII〉：第二級測試，雖然也是與潔凈度與氣流有關(guān)，但是只有在特殊情況下才需要進(jìn)行。A.氣流平行度測量〈只適用層流型無塵室〉B.空間泄漏測試〈幾乎已被壓差測試取代〉C.恢復(fù)率測試〈依建議只適用亂流型無塵室〉D.粒子沉降測試〈近年來已經(jīng)很少做〉第三級〈LevelIII〉:第三級測試就與氣流無關(guān)，都是屬于環(huán)境因素。A.照度與其均勻度B.噪音測試C.振動(dòng)測試D.溫濕度測試這里說明NEBB所要求無塵室性能測試的各項(xiàng)測試程序，當(dāng)然這些程序是NEBB所認(rèn)定的基本要求，業(yè)主可視狀況自行修改。NEBB唯一的要求是，若是修改后的程序比較寬松，就不能說是符合NEBB標(biāo)準(zhǔn)。2.1氣流測量無塵室內(nèi)的氣流控制，是維持潔凈度的關(guān)鍵，因此高效過濾網(wǎng)〈HEPAFilter）的出口速度控制，是非常重要的課題。由于濾網(wǎng)速度關(guān)系著空氣流場型態(tài)、微?？刂颇芰?、換氣量與平行度等，因此無塵室的氣流測量，是無塵室認(rèn)證的第一步。經(jīng)由數(shù)據(jù)分析，可察覺問題所在，再對無塵室做細(xì)微的調(diào)整，使性能達(dá)到要求。本章說明無塵室氣流測量的步驟，分為速度與均勻度測量，風(fēng)量與均勻度測量，平行度測量等三部份。測量程序與數(shù)據(jù)分析，都是依照NEBB的標(biāo)準(zhǔn)。一、濾網(wǎng)速度與均勻度測量1?測試目的氣流是控制潔凈度與溫濕度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測量，都是放在無塵室測試的第一步。風(fēng)速測量的目的，是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計(jì)規(guī)范，其次是確認(rèn)氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來換算。單一流向型無塵室，很多都是設(shè)計(jì)成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單一流向型無塵室，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠(yuǎn)比風(fēng)速重要，因此多只需要測量風(fēng)量。在單一流向型無塵室，風(fēng)速測量的位置可由業(yè)主指定，一般是在濾網(wǎng)表面或是工作高度。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測量（濾網(wǎng)表面）或是無塵室室內(nèi)風(fēng)速測量（工作高度）。2?使用儀器無塵室里面使用的HEPA/ULPA濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在0.5m/s以內(nèi)，因此所使用的風(fēng)速計(jì)必須屬于低速型。濾網(wǎng)風(fēng)速測量可使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如電子式壓力計(jì)配合皮氏管、熱線式風(fēng)速計(jì)。也可以使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如ShortridgeVelgrid16點(diǎn)風(fēng)速計(jì)。輪葉式風(fēng)速計(jì)因使用范圍不同，通常不在無塵室內(nèi)使用。熱線式風(fēng)速計(jì)（HotWire）雖然高頻響應(yīng)良好，但是低速時(shí)〈0.5m/s以下〉準(zhǔn)確性很低，因此不很適用，一般熱反應(yīng)風(fēng)速計(jì)常用的是Thermeister式風(fēng)速計(jì)。轉(zhuǎn)輪式風(fēng)速計(jì)由于本身重量問題，也不適用低速。NEBB的要求是在50fpm至U120fpm之間〈0.25m/s至U0.6m/s〉，要有''±5percentofthereading〃的精確度。檢驗(yàn)儀器須經(jīng)校正合格，且仍在有效期限內(nèi)。于正式檢測前及繳交報(bào)告時(shí)均須檢附合格的校正文件。3?測試步驟（1）在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。（2）取樣點(diǎn)位于濾網(wǎng)下方75-150mm處。（3）每一個(gè)濾網(wǎng)下，若是使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每1平方英尺取一點(diǎn)；若是使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每4平方英尺取一點(diǎn)。以600啞乂1200啞濾網(wǎng)為例，單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)要量8點(diǎn)；多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)要量2點(diǎn)。（4）每測量點(diǎn)必須取5秒的平均。（5）依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)速，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測試點(diǎn)。（6）記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。風(fēng)速測量的測試步驟，在單一流向型或非單一流向型無塵室都相同。重要的是在非單一流向型無塵室測試時(shí)，特別注意取樣時(shí)風(fēng)速計(jì)不可受到干擾，以免影響準(zhǔn)確度。4?數(shù)據(jù)分析風(fēng)速測量很簡單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來判定。均勻度是由相對標(biāo)準(zhǔn)差來代表，其計(jì)算步驟如下。1.平均值：將所有風(fēng)速測量值取算數(shù)平均VAM=（V1+V2+。+VN）/N2.標(biāo)準(zhǔn)差：計(jì)算所有風(fēng)速測量值的標(biāo)準(zhǔn)差3.相對標(biāo)準(zhǔn)差：相對標(biāo)準(zhǔn)差是一個(gè)百分比，將標(biāo)準(zhǔn)差除以平均值，再乘以100得到百分比RSD=SDV/VAMx100風(fēng)速測量很簡單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來判定。均勻度是由相對標(biāo)準(zhǔn)差來代表，其計(jì)算步驟如下。由以上說明可看出，相對標(biāo)準(zhǔn)差其實(shí)只是把標(biāo)準(zhǔn)差去單位化，其物理意義與標(biāo)準(zhǔn)差一樣，都是數(shù)據(jù)偏離平均值的程度。因此，相對標(biāo)準(zhǔn)差愈高，代表這一群數(shù)據(jù)愈不均勻，在垂直層流場合，當(dāng)然希望相對標(biāo)準(zhǔn)差愈低愈好。5?驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)收基準(zhǔn)必須是由業(yè)主訂定，設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)依照業(yè)主要求設(shè)計(jì)空調(diào)系統(tǒng)，測試單位則依規(guī)范測試，提供給業(yè)主作為允收依據(jù)。一般而言，允收條件有以下三種。1.相鄰兩點(diǎn)之風(fēng)速值，差距不可大于20%2.測量之平均風(fēng)速，應(yīng)在設(shè)計(jì)規(guī)格之±5%以內(nèi)3.相對標(biāo)準(zhǔn)差應(yīng)在±15%以內(nèi)關(guān)于第一條的規(guī)定，差距大于20%表示這一區(qū)已經(jīng)有足夠條件產(chǎn)生區(qū)域亂流，必須加以調(diào)整。關(guān)于第二條，無塵室里面，單一的濾網(wǎng)平均風(fēng)速，通常會定在設(shè)計(jì)規(guī)格±10%以內(nèi)，總量才是±5%以內(nèi)。一般空調(diào)則是個(gè)別出風(fēng)口±20%以內(nèi)，總量±10%以內(nèi)。二、濾網(wǎng)風(fēng)量與均勻度測量1?說明風(fēng)測量量的目的通常是用來計(jì)算換氣量，一般是在非單一流向型無塵室，或是測量空調(diào)系統(tǒng)中各式各樣的出風(fēng)口、回風(fēng)口、排氣口等的風(fēng)量時(shí)使用。只有在無法使用氣罩的場合（氣罩體積較大，有時(shí)會受限制），才能使用風(fēng)速乘以面積等于風(fēng)量的方式，用風(fēng)速來換算風(fēng)量。使用風(fēng)速換算風(fēng)量時(shí)，須注意出風(fēng)口之有效面積以及修正系數(shù)的取得。在回風(fēng)口和排氣口，使用換算法的準(zhǔn)確度非常差，應(yīng)盡量避免。同樣氣罩通?？梢詼y量送風(fēng)與回風(fēng)，正值代表送風(fēng)，負(fù)值代表回風(fēng)或排氣。須注意的是反向測量時(shí)，其測量范圍通常會降低。2?測試儀器：風(fēng)測量量應(yīng)當(dāng)使用氣罩（FlowMeasuringHood），氣罩的測量范圍是15~2500cfm，精確度要求為讀數(shù)的土3%。由于氣罩本身會產(chǎn)生壓損，因此其形狀很重要，應(yīng)盡量使用原廠氣罩。若有必要自行制造罩子，應(yīng)注意氣流順暢并且做詳細(xì)比對。氣罩的校正非常重要，必須主機(jī)連同罩子一起校正，才能得到準(zhǔn)確校正值。檢驗(yàn)時(shí)必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，于正式檢測前及繳交報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。3?測試步驟：（1）在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。（2）使用恰當(dāng)尺寸氣罩將出風(fēng)口完全罩住，然后測量與計(jì)錄。（3）依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)量，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測試點(diǎn)。（4）記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。4?數(shù)據(jù)分析：風(fēng)量均勻度的計(jì)算與風(fēng)速向同，都是由相對標(biāo)準(zhǔn)差來代表，其計(jì)算步驟如下。1.平均值：將所有風(fēng)測量量值取算數(shù)平均QAM=(Q1+Q2+。+QN)/N2.標(biāo)準(zhǔn)差：計(jì)算所有風(fēng)測量量值的標(biāo)準(zhǔn)差3.相對標(biāo)準(zhǔn)差：相對標(biāo)準(zhǔn)差是一個(gè)百分比，將標(biāo)準(zhǔn)差除以平均值，再乘以100得到百分比RSD=SDQ/QAMx100如前述在垂直層流場合，當(dāng)然希望相對標(biāo)準(zhǔn)差愈低愈好。但是氣罩一般適用在非單一流向型無塵室，其濾網(wǎng)覆蓋率并非100%，因此計(jì)算相對標(biāo)準(zhǔn)差就沒意義。在一般空調(diào)更是不需計(jì)算相對標(biāo)準(zhǔn)差。5?驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：驗(yàn)收基準(zhǔn)必須是由業(yè)主訂定，一般可接受范圍與風(fēng)速相同，條列如下。1.相鄰兩點(diǎn)之風(fēng)量值，差距不可大于20%2.測量之平均風(fēng)量，應(yīng)在設(shè)計(jì)規(guī)格之±5%以內(nèi)3.相對標(biāo)準(zhǔn)差應(yīng)在±15%以內(nèi)[NextPage]三、1?測試目的平行度測量的目的，是觀察在工作區(qū)域里面氣流的運(yùn)動(dòng)模式，同時(shí)也可以觀察儀器設(shè)備對氣流的影響。平行度測量應(yīng)該在氣流的風(fēng)速與均勻度都測試完畢且通過之后進(jìn)行，過早進(jìn)行可能得不到正確的數(shù)據(jù)，結(jié)果是重測。2?測試方法一般而言平行度的測量，是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質(zhì)棉線。在無塵室里面一般不使用煙霧，因?yàn)闊熿F所含微粒太多，恐怕會造成污染。干冰加熱水可以制造水霧，水霧對半導(dǎo)體是無污染，但是在制藥廠或生化無塵室，又怕細(xì)菌會粘著，因此也有缺點(diǎn)。PFA是polyfunctionalalcohol(多功能酒精？)，是一種水性溶液，基本上是水加染料，然后用超音波打成水霧，釋放出之后就形成可見霧氣。煙霧或水霧的共同優(yōu)點(diǎn)是只要粒子夠小，煙霧可隨風(fēng)飄揚(yáng)，可正確的反映氣流運(yùn)動(dòng)模式。但是其共同問題是滯空性不足，觀測時(shí)間太短。測量平行度需要花一些時(shí)間，因此需要大量煙霧或水霧，對無塵室可能造成污染。另一種方式是使用輕質(zhì)細(xì)線，讓細(xì)線隨風(fēng)飄舞，然后測量氣流平行度。在早期由于棉線比較重，因此只有在風(fēng)速很強(qiáng)的地方才能使用。無塵室的風(fēng)速較低，恐怕吹不動(dòng)棉線，平行度根本無法測量。在無塵室內(nèi)普遍使用新的高分子材料Flo-Viz，是用尼龍抽成單絲所制成，由于質(zhì)量很輕因此適合作無塵室平行度測量。測量平行度的方法是立一根鉛垂線，然后在濾網(wǎng)下方施放煙霧或是安放細(xì)線，之后觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角，或是測量細(xì)線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度。3?測試儀器1.支架2.鉛垂線3.Flo-Viz細(xì)線4?測試步驟1.用支架設(shè)立垂線作為基準(zhǔn)線。2.將細(xì)線在室內(nèi)懸吊，使其自然下垂，細(xì)線會隨空氣流向飄移。3.在離地2135mm處將鉛垂線與懸吊相交作為測量起點(diǎn)。4.在離地915mm處測量懸吊線偏移鉛垂線的量(mm)。5.偏移角=tan-1(懸吊線漏移量/1220)。6.每3mx3m區(qū)域量1點(diǎn)。偏移角9=若是使用煙霧，其方式很類似，就是在濾網(wǎng)下施放煙霧，然后將鉛垂線的上端點(diǎn)移動(dòng)到與煙霧相接觸，之后如上圖所示，將紅線當(dāng)成煙霧，再計(jì)算夾角就可以了。5?使用三維超音波風(fēng)速計(jì)三維超音波風(fēng)速計(jì)是實(shí)驗(yàn)適用的精密測量儀器，拿進(jìn)半導(dǎo)體廠內(nèi)測量氣流平行度的機(jī)會不多，當(dāng)然由于其客觀性十足，準(zhǔn)確度自然較高。如果非用不可，其測試方式是把風(fēng)速計(jì)架好，校準(zhǔn)水平與方位，將探頭高度調(diào)整到1525mm，然后測量三維風(fēng)速。三維風(fēng)速的合量與垂直線的夾角，就是氣流的平行度。6?驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)當(dāng)然由設(shè)計(jì)規(guī)范決定，一般都是14度。7?測試報(bào)告測試報(bào)告需包括：1.所有的測量位置2.垂直水平方向位移量或風(fēng)速3.偏移角4.與允收基準(zhǔn)的比較濾網(wǎng)流量之?dāng)?shù)據(jù)分析平均值QAMQAM=(Q1+Q2+。+QN)/NQAM=719.38cfm標(biāo)準(zhǔn)差SDqSDQ=17.71相對標(biāo)準(zhǔn)差RSDRSD=SDQ/QAM=17.71/719.38=2.46%2.2壓力測量一、說明壓力測量的目的是確認(rèn)無塵室空調(diào)系統(tǒng)的壓力設(shè)定。無塵室內(nèi)維持相當(dāng)?shù)恼龎阂跃S持潔凈度，這已經(jīng)是個(gè)monsense，在209的舊版本中，正壓有建議值，但是后來就取消了。目前常見的正壓值約是10到25Pascal之間。壓力測量的時(shí)機(jī)，應(yīng)該是在風(fēng)速、風(fēng)量、平行度等與氣流直接相關(guān)的測試結(jié)束之后立即測量，尤其不可在潔凈度測量完畢之后才測量壓力。因?yàn)槿绻麎毫Σ粚?，要立刻調(diào)整以免影響潔凈度。測量時(shí)，所有門窗都必須關(guān)上，所有的風(fēng)扇也必須維持正常運(yùn)轉(zhuǎn)。二、測試儀器：壓力測量可使用傾斜管壓力計(jì)，指針式壓力計(jì)，或是電子式壓力計(jì)，總之只要測量范圍與精確度滿足要求即可。壓力計(jì)之精確度要求為讀數(shù)的±5%，測量范圍式壓力設(shè)計(jì)值而定，一般0?5mmAq(050Pascal)即可涵蓋室內(nèi)外壓力差之測量。儀器需經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)之才可以使用，檢測前及交附報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。三、測試步驟：1.必須在風(fēng)速、風(fēng)量、氣流等測試完成后，才能測試壓力，并且排氣與MAU要完全正常運(yùn)轉(zhuǎn)。2.全部門與開口都要關(guān)閉。室外大氣壓力假設(shè)為0.0mmAq表壓力。3.測定潔凈區(qū)域與相鄰較次級潔凈區(qū)域之壓差，再測量房間與Gowningroom之間壓差，最后測量Gowningroom與外部之壓差。4.建議壓差值為5?12Pa,并無強(qiáng)制規(guī)定。5.記錄所有數(shù)值。四、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：無塵室室內(nèi)外壓差之驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)是由業(yè)主所指定。五、使用發(fā)煙管：壓力測量的目的是確認(rèn)氣流可以依照設(shè)計(jì)的方向移動(dòng)。若是沒有規(guī)定壓力值，只需確認(rèn)流向正確，或是在不方便測量的區(qū)域，可考慮使用發(fā)煙管檢視空氣流向，但是需要業(yè)主同意。發(fā)煙管在空調(diào)系統(tǒng)測試調(diào)整時(shí)，是非常方便可大的工具之一。，雖然不提供數(shù)值，但是可以確認(rèn)氣流流向、，也可檢視泄漏，并且隨著煙霧的移動(dòng)，可確認(rèn)泄漏位置或縮小檢查范圍。無塵室完整性測試另一個(gè)與壓力有關(guān)的測試是空間的完整性測試，完整性測試的英文原文是IntegrityTest，Integrity有完好無缺的意思，像濾網(wǎng)的泄漏測試，有些人就稱之為Filter"sIntegrityTest。完整性測試的做法是在無塵室外〈如走廊、或是隔壁等級較差之處〉施放微粒，然后在室內(nèi)墻版接縫處用微粒計(jì)數(shù)器掃描，檢查有無泄漏。但是隨著無塵室研究數(shù)據(jù)日益充實(shí)，專家發(fā)現(xiàn)只要維持適當(dāng)正壓，污染微粒經(jīng)由已經(jīng)打上硅膠的墻縫侵入的機(jī)率微乎其微，因此現(xiàn)在都不做完整性測試。微粒雖然比較不會由墻縫入侵，但是會從配線的開口滲入，這點(diǎn)必須注意。完整性測試已瀕臨淘汰，在此不多敘述，需要這項(xiàng)服務(wù)者請個(gè)別聯(lián)絡(luò)。2.3濾網(wǎng)泄漏測試濾網(wǎng)的泄漏測試應(yīng)當(dāng)是無塵室測試中，最復(fù)雜、最耗時(shí)間的測量項(xiàng)目。泄漏測試的目的，是要確認(rèn)：1.濾網(wǎng)的材料無破損，2.安裝恰當(dāng)。濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過泄漏測試，但是在搬運(yùn)與安裝過程難保完全無損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認(rèn)濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當(dāng)，微粒會從邊框漏進(jìn)無塵室風(fēng)口。就算是FFU系統(tǒng)，天花板上是負(fù)壓，若是邊框機(jī)有微粒日后仍舊會產(chǎn)生問題。因此，邊框掃描一樣重要。濾網(wǎng)泄漏測試基本上是把挑戰(zhàn)微粒施放在濾網(wǎng)上游，然后在濾網(wǎng)表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。測試方式有：1.氣膠光度計(jì)測試法，2.微粒計(jì)數(shù)器測試法，3.全效率測試法，4.外氣測試法，說明如下。一、氣膠光度計(jì)測試法1.說明氣膠光度計(jì)測試法是最早期的測試方式，但是因?yàn)樾Ч浅：?，到今天仍舊沿用。氣膠光度計(jì)(AerosolPhotometer)是微粒計(jì)數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強(qiáng)度，不是微粒數(shù)目。DOP是一種油性化學(xué)物質(zhì)，加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，可用來模擬無塵室的微粒，因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。泄漏的定義是泄漏出上游濃度萬分之一，由于氣膠光度計(jì)可以直接顯示上下游微粒濃度的比值，因此掃描濾網(wǎng)非常方便。也正因其準(zhǔn)確、可大，美國食品與藥品管制局(FDA)規(guī)定，在其管轄范圍內(nèi)(食品加工場所與醫(yī)療制藥場所)，所有的濾網(wǎng)泄漏測試必須使用DOP與氣膠光度計(jì)。近年來由于人們懷疑DOP會導(dǎo)致癌癥，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性類似，使用上無多大差異。2.測試儀器本測試法使用儀器為氣膠光度計(jì)(AerosolPhotometer)與微粒產(chǎn)生器(AerosolGenerator)。氣膠光度計(jì)的顯示版有模擬與數(shù)字兩種，每年必須校正一次。微粒產(chǎn)生器有兩種，一種是普通的微粒產(chǎn)生器，只要求高壓空氣，另一種是加熱型微粒產(chǎn)生器，要高壓空氣和電源，微粒產(chǎn)生器不需要校正。特別注意：使用DOP或是PAO當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒時(shí)，千萬不可以使用微粒計(jì)數(shù)器掃描。因?yàn)槲⒘Ｓ?jì)數(shù)器若是沾到DOP或是PAO等油性粒子，恐怕很快就要進(jìn)廠保養(yǎng)，清洗雷射頭了。3.測試方式濾網(wǎng)泄漏測試的步驟，大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網(wǎng)與邊框掃描以發(fā)現(xiàn)泄漏、更換或修補(bǔ)、重測，其步驟說明如下。1.在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號。2.確定空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)并可供測試，風(fēng)速與風(fēng)量必需調(diào)整平衡完畢。3.使用氣膠產(chǎn)生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，將PAO打入濾網(wǎng)上游，微粒濃度是大約每公升空氣含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏，但是超過50微克以后差別不大，少于10則很難使用。微粒濃度可用風(fēng)量粗略計(jì)算，再用氣膠光度計(jì)確認(rèn)。4.上游微粒濃度確認(rèn)后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，尋找泄漏，必要時(shí)濾網(wǎng)四周可用塑料簾覆蓋以確保測試之準(zhǔn)確。5.在濾網(wǎng)表面掃描，掃描之路徑可由外而內(nèi)或沿長/短邊迂回檢測，其方式如下：a.每一濾網(wǎng)和其邊框均需測試。b.濾網(wǎng)之表面時(shí)，將探漏器擺設(shè)如圖(b)，用短邊方向前進(jìn)，覆蓋全濾網(wǎng)c.掃描濾網(wǎng)邊框時(shí)，尤其濾網(wǎng)與CeilingGrid之間，探漏器擺設(shè)可以如上圖(a)或(b)，涵蓋全部接縫。d.利用微粒計(jì)數(shù)器之方錐形(10mm*60mm)采樣器置于濾網(wǎng)下25mm左右，以50mm/sec速度儀動(dòng)。e.氣膠光度計(jì)上的讀數(shù)是上下游百分比值，因此若是數(shù)值大于0.01，即可懷疑為泄漏，可退回約100mm反復(fù)再測，如果沒有持續(xù)高讀數(shù)，則可繼續(xù)測試，反之即為有泄漏，需作記錄且日后修補(bǔ)或更換。6.濾網(wǎng)若有破損則應(yīng)修補(bǔ)或更新，然后重新再測。7.邊框若有泄漏，應(yīng)重新安裝、調(diào)整，直到無泄漏為止。8.記錄時(shí)必須登記掃描結(jié)果，泄漏狀況與處理方式。4.驗(yàn)收基準(zhǔn)1.凡是連續(xù)性讀值超過0.01%視為泄漏，每一片濾網(wǎng)測試及修換后均不得有泄漏，邊框也不得有泄漏。2.每一片濾網(wǎng)的修補(bǔ)面積不得大于濾網(wǎng)面積的3。3.任何修補(bǔ)長度不得大于38?。?.5英口寸）。二、微粒計(jì)數(shù)器測試法1.說明半導(dǎo)體業(yè)方面，早期也是使用DOP/PAO與氣膠光度計(jì)，但是隨著制造精密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無塵室使用，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計(jì)數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經(jīng)過科學(xué)家一步步研究結(jié)果，發(fā)現(xiàn)PSL因?yàn)槲⒘５牧脚c濃度可以控制，因此是目前最廣為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒。使用時(shí)只要把PSL溶液霧化，導(dǎo)入濾網(wǎng)上游即可。2.測試儀器微粒計(jì)數(shù)器測試法使用儀器是微粒計(jì)數(shù)器、微粒稀釋器與微粒產(chǎn)生器，微粒計(jì)數(shù)器每一年要校正一次，微粒稀釋器與微粒產(chǎn)生器不用校正，但是微粒稀釋器要定期保養(yǎng)以免阻塞。3.測試方式測試步驟與氣膠法相同，大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網(wǎng)與邊框掃描以發(fā)現(xiàn)泄漏、更換或修補(bǔ)、重測，其步驟說明如下。1.在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號。2.確定空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)并可供測試，風(fēng)速與風(fēng)量必需調(diào)整平衡完畢。3.使用微粒產(chǎn)生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，將霧化的PSL打入濾網(wǎng)上游，同時(shí)使用微粒計(jì)數(shù)器監(jiān)視上游的微粒濃度，使微粒濃度達(dá)到每立方英尺至少有80萬顆微粒，并且維持該濃度直到掃描完畢為止。為保護(hù)微粒計(jì)數(shù)器，一般會在微粒計(jì)數(shù)器空氣吸入口加裝固定倍率的微粒稀釋器。4.上游微粒濃度確認(rèn)后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，尋找泄漏，必要時(shí)濾網(wǎng)四周可用塑料簾覆蓋以確保測試之準(zhǔn)確。掃描時(shí)探漏器離濾網(wǎng)的距離是25啞。5.微粒計(jì)數(shù)器測試法的掃描速度，是一個(gè)上游濃度的函數(shù)，不是一個(gè)定值，其計(jì)算公式如下：SR:掃描速率CC：上游濃度LS：泄漏定義，如0.01%FS：流量，一般是1cfmDP:探漏器尺寸，沿移動(dòng)方向NP：代表泄漏顆粒數(shù)6.由上式可看出，上游濃度愈高，掃描可以愈快。掃描的方式與氣膠法相同，路徑可由外而內(nèi)或沿長/短邊迂回檢測。7.濾網(wǎng)若有破損則應(yīng)修補(bǔ)或更新，然后重新再測。8.邊框若有泄漏，應(yīng)重新安裝、調(diào)整，直到無泄漏為止。9.記錄時(shí)必須登記掃描結(jié)果，泄漏狀況與處理方式。4.驗(yàn)收基準(zhǔn)1.凡是連續(xù)性讀值超過0.01%視為泄漏，每一片濾網(wǎng)測試及修換后均不得有泄漏，邊框也不得有泄漏。2.每一片濾網(wǎng)的修補(bǔ)面積不得大于濾網(wǎng)面積的3%。3.任何修補(bǔ)長度不得大于38?。?.5英口寸）。三、全效率測試法1.說明在某些場所如袋進(jìn)袋出濾網(wǎng)系統(tǒng)（Bag-in-Bag-outFiltrationSystem），或是濾網(wǎng)位于風(fēng)管中段（醫(yī)院空調(diào)常用，）上游可施放微粒但下游無法掃描，就必須使用全效率測試法。全效率測試法是因?yàn)樵谙掠螣o法掃描，僅能抽取一些空氣樣本做分析比較，若是下游微粒含量超過某定值則判定為泄漏，整片濾網(wǎng)要更換。這種測試方法的準(zhǔn)確度并不高，因此泄漏的定義值一般要取低一些以增加準(zhǔn)度，例如認(rèn)定上游的0.005%或0.001%為泄漏。盡管如此，其準(zhǔn)確度經(jīng)常受到質(zhì)疑，因此應(yīng)盡量避免。以袋進(jìn)袋出濾網(wǎng)系統(tǒng)而言，濾網(wǎng)安裝后根本不能掃描，最好的方式是安裝前先全面積掃描，確認(rèn)無破損，安裝時(shí)小心安裝，安裝后再做全效率測試，就可減少爭議，至少可以厘清制造商的責(zé)任。2.測試儀器全效率測試法可應(yīng)用在不同場所，只要和FDA有關(guān)，就必須使用氣膠光度計(jì)，和半導(dǎo)體有關(guān)，就必須使用微粒計(jì)數(shù)氣。前述袋進(jìn)袋出濾網(wǎng)系統(tǒng)因?yàn)槎际怯迷卺t(yī)院與生化實(shí)驗(yàn)室，因此都是用氣膠光度計(jì)。3.測試方式全校律法的測試步驟基本上也是上游施放挑戰(zhàn)粒子，下游抽氣檢驗(yàn)，以決定其總體性能表現(xiàn)。其測試步驟如下。1.在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號。2.確定空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)并可供測試，風(fēng)速與風(fēng)量必需調(diào)整平衡完畢，并且經(jīng)業(yè)主認(rèn)定為合格。3.使用氣膠產(chǎn)生器或微粒產(chǎn)生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，使微粒濃度達(dá)到與維持在規(guī)定值。施放時(shí)須注意挑戰(zhàn)微粒的均勻度。4.上游微粒濃度確認(rèn)后，就可以在濾網(wǎng)下游抽氣，檢查濃度。抽氣位置要盡量向后延伸，讓泄漏出的微粒與干凈空氣完全混合。5.若是下游濃度超過設(shè)定值則判定為泄漏，需要更換濾網(wǎng)。4.驗(yàn)收基準(zhǔn)由于全效率測試法并非全面積掃描，也沒有邊框的問題，因此只能規(guī)定有泄漏就得換新。四、外氣測試法1.說明外氣測試法基本上是測試空調(diào)相里面的高效濾網(wǎng)時(shí)使用，因?yàn)樵摓V網(wǎng)直接吸入外氣，若是上游再施放粒子就有點(diǎn)浪費(fèi)，因此就利用外氣當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒，在濾網(wǎng)表面直接搜尋泄漏。由于外氣粒子含量不穩(wěn)定，因此這種測試法較不可大。2.測試儀器外氣測試法大部份用在空調(diào)箱，使用儀器取決于主系統(tǒng)，只要和FDA有關(guān)，就必須使用氣膠光度計(jì)，和半導(dǎo)體有關(guān)，就必須使用微粒計(jì)數(shù)氣。3.測試方式外氣測試法的測試步驟如下。1.在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號。2.確定空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)并可供測試，風(fēng)速與風(fēng)量必需調(diào)整平衡完畢。3.使用氣膠光度計(jì)或微粒計(jì)數(shù)器測試上游微粒濃度。4.上游微粒濃度確認(rèn)后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，檢查泄漏。掃描方式依不同儀器而異，請參考第一、二節(jié)。5.發(fā)現(xiàn)泄漏，則要需要修補(bǔ)或更換濾網(wǎng)。6.邊框部份也要掃描。4.驗(yàn)收基準(zhǔn)1.凡是連續(xù)性讀值超過0.01%視為泄漏，每一片濾網(wǎng)測試及修換后均不得有泄漏，邊框也不得有泄漏。2.每一片濾網(wǎng)的修補(bǔ)面積不得大于濾網(wǎng)面積的3%。3.任何修補(bǔ)長度不得大于38?。?.5英口寸）。2.4潔凈度測量一、說明潔凈度測試是無塵室性能測試的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都只在確認(rèn)無塵室的潔凈度不受外來影響，因此潔凈度測試都放在前述幾項(xiàng)測試都通過之后。潔凈度測試完畢，與落塵有關(guān)的性能因素就都測試完畢，其它測試對潔凈度影響不大，或是屬于其它環(huán)境測試。二、測試儀器潔凈度測試使用微粒計(jì)數(shù)器，儀器須經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)，于檢測前及交附報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。微粒計(jì)數(shù)器有不同規(guī)格，最常見的是流量1cfm，最小粒徑可測到0.3mm或是0.1mm，單位多是立方英叭。至于應(yīng)使用何種機(jī)臺，要依業(yè)主的規(guī)范而定。一般在產(chǎn)業(yè)界，多依以下方式選擇微粒計(jì)數(shù)器。Class1000或更高：0.5|amClass100：0.2^mClass1至UClass10：0.1^m若是業(yè)主要求的立境范圍超過單一微粒計(jì)數(shù)器的范圍，則應(yīng)該使用兩部微粒計(jì)數(shù)器。目前市面上少見立方公尺的微粒計(jì)數(shù)器，因此若是無塵室的潔凈度是以ISO為基準(zhǔn)，則要把結(jié)果作換算。單位換算，不影響新賴度上限的計(jì)算程序。三、測試步驟：（1）確定空調(diào)系統(tǒng)之測試調(diào)整與平衡已完成，濾網(wǎng)之風(fēng)速及泄漏測試均已完成，并已修換破損部分。（2）確認(rèn)測試位置與測試點(diǎn)數(shù)：（2.1）測試高度：約1.00m處，或由業(yè)主指定。（2.2）測試點(diǎn)數(shù)：單一流向型無塵室，取樣點(diǎn)數(shù)計(jì)算公式如下。公制：（a）或（b）其中N代表公制的無塵室等級，area是面積，單位是平方公尺，但是小數(shù)點(diǎn)要無條件進(jìn)位。在上兩式中取較小的值，就是無塵室潔凈度測試的最小測量點(diǎn)數(shù)。英制：（a）或（b）其中N代表公制的無塵室等級，area是面積，單位是平方英叭，但是小數(shù)點(diǎn)要無條件進(jìn)位。在上兩式中取較小的值，就是無塵室潔凈度測試的最小測量點(diǎn)數(shù)。非單一流向型無塵室，取樣點(diǎn)數(shù)計(jì)算公式為公制：其中N代表公制的無塵室等級，area是面積，單位是平方公尺。，小數(shù)點(diǎn)要無條件進(jìn)位。這個(gè)值，就是無塵室潔凈度測試的最小測量點(diǎn)數(shù)。英制：其中N代表英制的無塵室等級，area是面積，單位是平方英叭，小數(shù)點(diǎn)要無條件進(jìn)位。這個(gè)值，就是無塵室潔凈度測試的最小測量點(diǎn)數(shù)。注意：每個(gè)無塵室或無塵獨(dú)立隔間的最少測量點(diǎn)數(shù)是2點(diǎn)，最少的樣本總數(shù)是5個(gè)樣本。（3）取樣時(shí)間：每點(diǎn)的取樣時(shí)間依照等級與粒徑不同而異，可參考NEBB規(guī)范TABLE7-2之規(guī)定。若取樣時(shí)間小于一分鐘，則以一分鐘為準(zhǔn)。（4）測試位置應(yīng)均勻分布在無塵室內(nèi)，避免在會產(chǎn)生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當(dāng)之架臺支撐，不可以手持支撐。另外，測試位置需在業(yè)主指定（及/）或標(biāo)定位置之9m2內(nèi)。代表該點(diǎn)的最后數(shù)據(jù)，這個(gè)最后數(shù)據(jù)需小于業(yè)主規(guī)定值。（5）測量點(diǎn)數(shù)依前述NEBB規(guī)范之公式計(jì)算（與209E相同）。任一區(qū)域內(nèi)至少要有二點(diǎn)以上之測試點(diǎn)且須平均分布（除非有設(shè)備影響），并且取樣數(shù)需大于或等于5次。任一區(qū)域之測試總點(diǎn)數(shù)若少于10點(diǎn)，需作信賴度上限分析（計(jì)算UpperConfidentialLimit）。（6）需紀(jì)錄所有數(shù)值，包括統(tǒng)計(jì)分析數(shù)據(jù)。四、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：潔凈度的驗(yàn)收基準(zhǔn)有二，首先是每點(diǎn)的微粒測量平均值必須低于規(guī)定值。也就是如果某一點(diǎn)取樣三次，這三個(gè)數(shù)據(jù)的平均值代表該點(diǎn)的最后數(shù)據(jù)，這個(gè)最后數(shù)據(jù)需小于業(yè)主規(guī)定值。任何測量點(diǎn)數(shù)少于10點(diǎn)的無塵室（可能是無塵室內(nèi)的某一隔間），該隔間必須做信賴度上限分析。潔凈度的第二個(gè)驗(yàn)收基準(zhǔn)就是，任一隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也必須小于業(yè)主規(guī)定值。一般而言，業(yè)主規(guī)定值都會比潔靜度等級定義少一些。在As-built測試時(shí)，規(guī)定值常常定為等級定義的10%，At-rest測試時(shí)，規(guī)定值常常定為等級定義的15%。這樣做的目的是確保在Operating狀態(tài)，潔靜度可以為持在等級定義以下。五、信賴度上限分析：任一無塵室或是獨(dú)立的隔間，若是取樣點(diǎn)數(shù)小于10（2到9），就必須做信賴度上限分析，分析結(jié)果需小于。信賴度上限分析有五個(gè)步驟，說明如下。（1）計(jì)算將該房間內(nèi)，每一取樣點(diǎn)的平均值，也就是每個(gè)取樣點(diǎn)的所有樣本的平均值，代表該點(diǎn)的微粒測量值。公式如下其中Ai代表取樣點(diǎn)的平均值，CN是微粒測量值，N是每點(diǎn)的樣本總數(shù)。（2）計(jì)算在該房間內(nèi)，所有取樣點(diǎn)數(shù)據(jù)的平均值（Mean），公式如下：其中AL代表取樣點(diǎn)的平均值，M是房間內(nèi)微?？偲骄担琇是房間內(nèi)總的取樣點(diǎn)數(shù)。（3）計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)差（StandardDeviation），公式如下：其中SD代表標(biāo)準(zhǔn)差，AL是取樣點(diǎn)的平均值，M是房間內(nèi)微?？偲骄?，L是房間內(nèi)總的取樣點(diǎn)數(shù)。（4）計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)誤（StandardError），公式如下：其中SE代表標(biāo)準(zhǔn)誤，SD是標(biāo)準(zhǔn)差，L是房間內(nèi)總的取樣點(diǎn)數(shù)。（5）計(jì)算信賴度上限