平面度介紹教學課件

平面度檢測方法姓名：李國輝專業(yè)：機械工程學號：311040021平面度檢測方法姓名：李國輝1平面度的定義平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。平面的平面度公差符號、基本表示方法，如圖1所示。圖12平面度的定義平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏平面度誤差的檢測方法平面度誤差是指被測實際表面相對其理想表面的變動量，理想平面的位置應符合最小條件，平面度誤差屬于形位誤差中的形狀誤差。平面度誤差的測量方法直接測量法

間接測量法3平面度誤差的檢測方法平面度誤差是指被測實際表面相對其理想表面直接測量法通過測量可直接獲得平面上各點坐標值或能直接評定平面度誤差值的方法。具體如下:1、平晶干涉法2、測微表測量法3、光軸法、液面法等。4直接測量法通過測量可直接獲得平面上各點坐標值或能直接評定平面平晶干涉法干涉法測量平面度誤差，是把平晶放在它所能覆蓋的整個被測平面上，用平晶工作面體現(xiàn)理想平面，根據測量時出現(xiàn)的干涉條紋形狀和數(shù)目，由計算所得的結果作為平面度誤差值，如圖所示。該方法只適合測量精研小平面及小光學元件。

圖2平晶干涉法5平晶干涉法干涉法測量平面度誤差，是把平晶放在它所能覆蓋的整個測微表測量法如圖3所示，用3個可調支承將被測件支撐在標準平板上，用測微儀指示。調整可調支承，用三點法或四點法（對角線法）進行測量。然后用測微儀讀出被測表上各點的最大與最小讀數(shù)差作為平面度誤差值的測量結果。圖3測微表法該測量方法適用于車間較低精度、中等尺寸的工件。

6測微表測量法如圖3所示，用3個可調支承將被測件支撐在標準平板光軸法如圖所示，光軸法測量平面度誤差是利用準直類儀器2、以它的光軸經轉向棱鏡3掃描的平面作為測量基準，將瞄準靶1放置在實際被測平面4上，按選定的布點，測出各測點相對于該測量基準的偏離量，再經數(shù)據處理評定平面誤差值。圖4光軸法7光軸法如圖所示，光軸法測量平面度誤差是利用準直類儀器2、以它間接測量法特點：測量精度高，但數(shù)據處理麻煩。因被測平面需測若干個截面，而各截面內的偏差值在測量時不是由同一基準產生，故須經復雜的數(shù)據后，才能獲得各測量截面相對統(tǒng)一基準的坐標值。適用于中大平面的測量。測量方法：水平儀法、自準儀法、互檢法8間接測量法特點：測量精度高，但數(shù)據處理麻煩。因被測平面需測若水平儀法原理：以自然水平面作為測量基礎。測量時，先把被測表面調到基本水平，然后把水平儀放在橋板上，再把橋板置于被測表面上，按照一定的布線逐漸測量，同時記錄各測點的讀數(shù)，根據測得的讀數(shù)通過數(shù)據處理，即可得平面度誤差值。分類：依布線方法不同又分為水平面法和對角線法。圖5水平儀法9水平儀法原理：以自然水平面作為測量基礎。測量時，先把被測表面水平面法采用網格布點，基準平面為過被測表面上的某給定點且與水平面平行的幾何平面：測量時應采用同一橋板，各測點的同一坐標值用累積法求得，計算比較簡單。測量時選擇不同的起始點和不同的測量線，其數(shù)據處理的方法、結果不同。存在一個最佳結果對角線法采用對角線布點。過渡基準平面是：過被測表面的一條對角線，且平行于被測表面的另一條對角線的平面。測量時常須用三塊長度不同的板橋。數(shù)據處理較麻煩。10水平面法對角線法10自準儀法原理：用自準儀測量平面度誤差時，是將自準儀置于被測零件之外的基準上，將反向鏡放在橋板上，并將橋板置于被測表面上。測量時先把自準儀與被測表面調整到基本平行，然后用測量值限度誤差的方法測量出逐一布線的直線度，通過數(shù)據處理，得到被測平面的平面度。11自準儀法原理：用自準儀測量平面度誤差時，是將自準儀置于被測零互檢法平晶干涉法可利用技術光波干涉法直接讀數(shù)，故多塊平晶間可以相互自檢，而不需要標準器。如三塊平晶互檢。12互檢法平晶干涉法可利用技術光波干涉法直接讀數(shù)，故多塊平晶間可檢測平面度的儀器1、光學平直度測量儀主要用于測量零件表面的直線度和平面度，并用于設備安裝位置的正確性及較小傾角的測量精度：0.01mm/m測量范圍：0-10mm13檢測平面度的儀器1、光學平直度測量儀132、LMF激光平面度檢測儀LFM激光平面度檢測儀主要由大理石臺面、幾座、置于大理石臺面上的激光測頭、電腦及電氣控制柜所組成。廣泛應用于大尺寸平面型工件：PDP背板、平板型沖壓件、大尺寸硬質塑料的測量。142、LMF激光平面度檢測儀14L-743激光平面度測量儀校準范圍0.0017mm/m或更大)應用領域：機械加工中心、注塑機和壓力機、飛機組裝、軋輥平行度校準、高精度激光水射流切割機、測量和校準任何表面的平面度（方形、框架、路面、法蘭、圓形等）15L-743激光平面度測量儀校準范圍0.0017mm/m或更平面度檢測方法姓名：李國輝專業(yè)：機械工程學號：3110400216平面度檢測方法姓名：李國輝1平面度的定義平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。平面的平面度公差符號、基本表示方法，如圖1所示。圖117平面度的定義平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏平面度誤差的檢測方法平面度誤差是指被測實際表面相對其理想表面的變動量，理想平面的位置應符合最小條件，平面度誤差屬于形位誤差中的形狀誤差。平面度誤差的測量方法直接測量法

間接測量法18平面度誤差的檢測方法平面度誤差是指被測實際表面相對其理想表面直接測量法通過測量可直接獲得平面上各點坐標值或能直接評定平面度誤差值的方法。具體如下:1、平晶干涉法2、測微表測量法3、光軸法、液面法等。19直接測量法通過測量可直接獲得平面上各點坐標值或能直接評定平面平晶干涉法干涉法測量平面度誤差，是把平晶放在它所能覆蓋的整個被測平面上，用平晶工作面體現(xiàn)理想平面，根據測量時出現(xiàn)的干涉條紋形狀和數(shù)目，由計算所得的結果作為平面度誤差值，如圖所示。該方法只適合測量精研小平面及小光學元件。

圖2平晶干涉法20平晶干涉法干涉法測量平面度誤差，是把平晶放在它所能覆蓋的整個測微表測量法如圖3所示，用3個可調支承將被測件支撐在標準平板上，用測微儀指示。調整可調支承，用三點法或四點法（對角線法）進行測量。然后用測微儀讀出被測表上各點的最大與最小讀數(shù)差作為平面度誤差值的測量結果。圖3測微表法該測量方法適用于車間較低精度、中等尺寸的工件。

21測微表測量法如圖3所示，用3個可調支承將被測件支撐在標準平板光軸法如圖所示，光軸法測量平面度誤差是利用準直類儀器2、以它的光軸經轉向棱鏡3掃描的平面作為測量基準，將瞄準靶1放置在實際被測平面4上，按選定的布點，測出各測點相對于該測量基準的偏離量，再經數(shù)據處理評定平面誤差值。圖4光軸法22光軸法如圖所示，光軸法測量平面度誤差是利用準直類儀器2、以它間接測量法特點：測量精度高，但數(shù)據處理麻煩。因被測平面需測若干個截面，而各截面內的偏差值在測量時不是由同一基準產生，故須經復雜的數(shù)據后，才能獲得各測量截面相對統(tǒng)一基準的坐標值。適用于中大平面的測量。測量方法：水平儀法、自準儀法、互檢法23間接測量法特點：測量精度高，但數(shù)據處理麻煩。因被測平面需測若水平儀法原理：以自然水平面作為測量基礎。測量時，先把被測表面調到基本水平，然后把水平儀放在橋板上，再把橋板置于被測表面上，按照一定的布線逐漸測量，同時記錄各測點的讀數(shù)，根據測得的讀數(shù)通過數(shù)據處理，即可得平面度誤差值。分類：依布線方法不同又分為水平面法和對角線法。圖5水平儀法24水平儀法原理：以自然水平面作為測量基礎。測量時，先把被測表面水平面法采用網格布點，基準平面為過被測表面上的某給定點且與水平面平行的幾何平面：測量時應采用同一橋板，各測點的同一坐標值用累積法求得，計算比較簡單。測量時選擇不同的起始點和不同的測量線，其數(shù)據處理的方法、結果不同。存在一個最佳結果對角線法采用對角線布點。過渡基準平面是：過被測表面的一條對角線，且平行于被測表面的另一條對角線的平面。測量時常須用三塊長度不同的板橋。數(shù)據處理較麻煩。25水平面法對角線法10自準儀法原理：用自準儀測量平面度誤差時，是將自準儀置于被測零件之外的基準上，將反向鏡放在橋板上，并將橋板置于被測表面上。測量時先把自準儀與被測表面調整到基本平行，然后用測量值限度誤差的方法測量出逐一布線的直線度，通過數(shù)據處理，得到被測平面的平面度。26自準儀法原理：用自準儀測量平面度誤差時，是將自準儀置于被測零互檢法平晶干涉法可利用技術光波干涉法直接讀數(shù)，故多塊平晶間可以相互自檢，而不需要標準器。如三塊平晶互檢。27互檢法平晶干涉法可利用技術光波干涉法直接讀數(shù)，故多塊平晶間可檢測平面度的儀器1、光學平直度測量儀主要用于測量零件表面的直線度和平面度，并用于設備安裝位置的正確性及較小傾角的測量精度：0.01mm/m測量范圍：0-10mm28檢測平面度的儀器1、光學平直度測量儀132、LMF激光平面度檢測儀LFM激光平面度檢測儀主要