華中科技大學(xué)半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)采購(gòu)項(xiàng)目

華中科技大學(xué)半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)采購(gòu)項(xiàng)目采購(gòu)需求征求意見(jiàn)公告華中科技大學(xué)就華中科技大學(xué)半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)采購(gòu)項(xiàng)目的采購(gòu)需求征求意見(jiàn)。請(qǐng)潛在供應(yīng)商在中國(guó)政府采購(gòu)網(wǎng)（）或華中科技大學(xué)采購(gòu)與招標(biāo)中心網(wǎng)站（）下載采購(gòu)需求文件，對(duì)采購(gòu)需求的合法性、合規(guī)性、合理性、完整性提出具體意見(jiàn)建議，并于回復(fù)意見(jiàn)截止時(shí)間前提交相關(guān)意見(jiàn)建議。一、項(xiàng)目基本情況（一）項(xiàng)目編號(hào)：WHCSIMC2021-1308699ZF(H)，HW20210414（二）項(xiàng)目名稱：華中科技大學(xué)半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)采購(gòu)項(xiàng)目（三）采購(gòu)方式： 公開(kāi)招標(biāo)（四）預(yù)算金額：310萬(wàn)元人民幣二、征求意見(jiàn)內(nèi)容征求意見(jiàn)內(nèi)容詳見(jiàn)附件。三、回復(fù)意見(jiàn)截止時(shí)間、格式和方式（一）回復(fù)意見(jiàn)截止時(shí)間2021年11月10日17時(shí)00分（北京時(shí)間）（二）回復(fù)意見(jiàn)格式請(qǐng)按照附件提供的參考格式回復(fù)意見(jiàn)。提出的意見(jiàn)建議應(yīng)當(dāng)實(shí)事求是、客觀公正、詳細(xì)具體、理由充分，不得排斥其它潛在供應(yīng)商。（三）回復(fù)意見(jiàn)方式1.按照回復(fù)意見(jiàn)的格式要求，編寫(xiě)《關(guān)于對(duì)[華中科技大學(xué)半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)采購(gòu)項(xiàng)目]采購(gòu)需求的修改建議書(shū)》，格式為.wps（或.doc或.docx）。2.打印編寫(xiě)好的《關(guān)于對(duì)[華中科技大學(xué)半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)采購(gòu)項(xiàng)目]采購(gòu)需求的修改建議書(shū)》，單位法人代表簽字并加蓋單位公章，彩色掃描或拍照生成電子文件（格式為.jpg或.pdf）。3.將《修改建議書(shū)》以電子郵件方式發(fā)至hustcgzx@。郵件主題為：XXX公司關(guān)于對(duì)[華中科技大學(xué)半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)采購(gòu)項(xiàng)目]采購(gòu)需求的回復(fù)意見(jiàn)。四、聯(lián)系方式采購(gòu)人：華中科技大學(xué)（采購(gòu)與招標(biāo)中心）地址：湖北省武漢市珞喻路1037號(hào)大學(xué)生活動(dòng)中心A座205室聯(lián)系方式：李老師電話箱：hustcgzx@五、附件1.[華中科技大學(xué)半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)采購(gòu)項(xiàng)目]采購(gòu)需求書(shū)2.關(guān)于對(duì)[華中科技大學(xué)半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)采購(gòu)項(xiàng)目]采購(gòu)需求的修改建議書(shū)華中科技大學(xué)采購(gòu)與招標(biāo)中心2021年11月03日

附件1：采購(gòu)需求書(shū)一、項(xiàng)目概況（一）項(xiàng)目背景國(guó)家集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺(tái)立足于“人才培養(yǎng)、學(xué)科建設(shè)、科學(xué)研究”三位一體，需要采購(gòu)設(shè)備補(bǔ)缺用于集成電路的工藝及設(shè)計(jì)實(shí)訓(xùn)及科研，工藝設(shè)備和設(shè)計(jì)設(shè)備的采購(gòu)采用實(shí)訓(xùn)設(shè)備為主兼顧科研設(shè)備的模式開(kāi)展，本次采購(gòu)的半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)晶圓的在片測(cè)試，廣泛的用于集成電路（ICs）、半導(dǎo)體器件（MOS/FET/Memory）、微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）、光電器件等的功能描述、測(cè)試與分析。（二）主要用途采購(gòu)用途：開(kāi)展科研活動(dòng)□其他用途說(shuō)明：半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)對(duì)各類器件與材料的電學(xué)特性分析，通過(guò)直流或射頻探針實(shí)現(xiàn)半自動(dòng)的直流和射頻性能表征。結(jié)合直流和射頻源表、分析儀等，實(shí)現(xiàn)直流和脈沖I-V、C-V，以及射頻傳輸特性等測(cè)量功能。平臺(tái)目前尚無(wú)此類設(shè)備（設(shè)備性能指標(biāo)有所欠缺），無(wú)法滿足各類集成電路及半導(dǎo)體器件測(cè)試實(shí)訓(xùn)及科研的要求。購(gòu)置半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)可以使得集成電路及半導(dǎo)體器件測(cè)試實(shí)訓(xùn)與科研實(shí)驗(yàn)成為可能，是平臺(tái)目前急需的設(shè)備。本次購(gòu)買的半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)將用于從事集成電路設(shè)計(jì)和工藝的教師和研究生、本科生使用，并將為微納封裝與測(cè)試、集成電路工藝等課程開(kāi)設(shè)4學(xué)時(shí)的實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目，預(yù)計(jì)有1000人選修。（三）總體要求“半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)”采購(gòu)預(yù)算為310萬(wàn)人民幣，晶圓測(cè)試探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)對(duì)器件與材料的電學(xué)特性分析，通過(guò)直流和射頻探針實(shí)現(xiàn)半自動(dòng)的直流和射頻性能表征。結(jié)合直流和射頻源表、分析儀等，實(shí)現(xiàn)直流和脈沖I-V、C-V，以及射頻傳輸特性等測(cè)量功能。二、主要標(biāo)的序號(hào)貨物名稱是否接受進(jìn)口產(chǎn)品單位數(shù)量是否為核心產(chǎn)品1半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)是臺(tái)1是三、技術(shù)要求1.半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)（數(shù)量1套）功能要求：12寸半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)主要用于集成電路（ICs）、半導(dǎo)體器件（MOS/FET/Memory）、微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）、光電器件等的功能描述、測(cè)試與分析。在配置超低漏電流針尖，實(shí)現(xiàn)超低漏電流量測(cè)、脈沖量測(cè)、電容性量測(cè)、建模特性、失效分析、光電分析等電性分析。要求設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，設(shè)備靜態(tài)、動(dòng)態(tài)、升降溫穩(wěn)定性好，采用先進(jìn)技術(shù)，保證系統(tǒng)具有良好的定位和測(cè)量精度。（2）應(yīng)遵循的相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、地方標(biāo)準(zhǔn)等標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范無(wú)（3）后續(xù)運(yùn)營(yíng)維護(hù)、升級(jí)更新、備品備件等要求安裝調(diào)試完畢，中標(biāo)人需組織采購(gòu)人使用人員進(jìn)行使用及日常維護(hù)等的培訓(xùn)。質(zhì)保期滿后，若有零部件出現(xiàn)故障，經(jīng)權(quán)威部門(mén)鑒定屬于壽命異常問(wèn)題（明顯短于該零部件正常壽命）時(shí)，則由投標(biāo)人負(fù)責(zé)免費(fèi)更換及維修。所有硬件過(guò)三年免費(fèi)保修期后按原價(jià)維修（按投標(biāo)貨物價(jià)格數(shù)量表所列價(jià)格，更換零部件的按合同簽訂時(shí)的零部件價(jià)格）、所有軟件過(guò)一年免費(fèi)保修升級(jí)期內(nèi)按按原價(jià)的10%進(jìn)行維修升級(jí)，響應(yīng)速度同保修期響應(yīng)速度。（4）各項(xiàng)指標(biāo)要求：序號(hào)指標(biāo)項(xiàng)重要性指標(biāo)要求證明材料要求1樣品臺(tái)#適合12英寸及12英寸以內(nèi)樣品（可向下兼容8/6/4/2英寸Wafer及單個(gè)DUT4*4mm）真空吸附式測(cè)試載臺(tái)，并且具有單獨(dú)的前緣真空吸附區(qū)，真空吸附區(qū)域制動(dòng)偵測(cè)，平整度＜+-5μm是2樣品臺(tái)移動(dòng)★樣品臺(tái)X和Y方向電動(dòng)移動(dòng)范圍≥310mm×310mm，分辨率0.5um，5速XY軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，最快:50mm/sec，Z方向電動(dòng)移動(dòng)范圍≥30mm，分辨率0.2um，重復(fù)精度±1μm是3高溫控制系統(tǒng)★空氣冷卻/電阻加熱；溫控范圍：-60℃~300℃，升降溫時(shí)間：升溫時(shí)間-60to25°C<12min。降溫時(shí)間：25to-60°C<40min；高溫200℃chuck漏電小于30fA,低溫-60℃chuck漏電小于30fA.是4安全測(cè)試管理(STM?)系統(tǒng)#自動(dòng)化單晶片裝載器和安全測(cè)試管理(STM?)系統(tǒng)在任何卡盤(pán)溫度下裝載/卸載晶片的獨(dú)特能力否5顯微鏡系統(tǒng)#變倍比10：1顯微鏡，分辨率小于2.5μm，大視場(chǎng)：5.44*3.09mm，顯微鏡具備手動(dòng)鏡頭聚焦系統(tǒng)，顯微鏡調(diào)焦行程35mm，顯微鏡粗調(diào)精度0.1mm，微調(diào)精度＜1μm，同軸led光源否6顯微鏡系統(tǒng)支架XY線性軌道#移動(dòng)距離≥50mm×50mm，Z氣動(dòng)升降，移動(dòng)距離≥140mm，移動(dòng)精度＜1μm否7高性能屏蔽箱★專為EMI/RFI/Light-Tight屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測(cè)環(huán)境，EMI屏蔽>30dB(typical)@1kHzto1MHz、光衰減≥130dB、光譜噪聲基底≤-180dBVrms/rtHz(≤1MHz)、系統(tǒng)交流電噪聲≤5mVp-p(≤1GHz)是8被動(dòng)減震系統(tǒng)#被動(dòng)減震系統(tǒng)可以有效解決震動(dòng)引起的顯微鏡成像晃動(dòng)問(wèn)題,負(fù)載≤300kg，臺(tái)面平整度≤0.1mm/m2，臺(tái)面垂直和水平方向振動(dòng)頻率≤10Hz，5～20Hz范圍內(nèi)減震90%以上，50～100Hz范圍內(nèi)減震70%，100Hz以上減震90%，臺(tái)面振動(dòng)幅度≤0.005mm;否9軟件配置#全多點(diǎn)觸控屏+鍵鼠雙重控制，簡(jiǎn)潔UI設(shè)計(jì)，芯片參數(shù)軟件自動(dòng)化測(cè)試開(kāi)發(fā)平臺(tái)，具備測(cè)試腳本開(kāi)發(fā)功能，帶多任務(wù)執(zhí)行模式，帶儀器通信接口驅(qū)動(dòng)、具備半導(dǎo)體測(cè)試流程的全開(kāi)發(fā)模式,帶自動(dòng)化測(cè)試及單次測(cè)試模式，帶項(xiàng)目編輯器可順序編輯測(cè)試項(xiàng)，控制B1500A或4200半導(dǎo)體分析儀SMU,CVU做IV/CV測(cè)試;掃描曲線等否說(shuō)明：=1\*GB3①重要性可用“★”“#”表示，“★”代表關(guān)鍵指標(biāo)，不滿足該指標(biāo)項(xiàng)將導(dǎo)致響應(yīng)被拒絕；“#”代表重要指標(biāo)；無(wú)標(biāo)識(shí)則表示屬一般指標(biāo)項(xiàng)。=2\*GB3②“證明材料要求”項(xiàng)可填“是”和“否”。填“是”的，供應(yīng)商須提供包含相關(guān)指標(biāo)項(xiàng)的證明材料，證明材料可以使用生產(chǎn)廠家官方網(wǎng)站截圖或產(chǎn)品白皮書(shū)或第三方機(jī)構(gòu)檢驗(yàn)報(bào)告或其他相關(guān)證明材料，未提供有效證明材料或證明材料中內(nèi)容與所填報(bào)指標(biāo)不一致的，該指標(biāo)按不滿足處理。四、商務(wù)要求序號(hào)指標(biāo)項(xiàng)重要性指標(biāo)要求1供貨期/服務(wù)期/工期★合同簽訂后6月內(nèi)供貨2質(zhì)保期★三年3包裝和運(yùn)輸★包裝應(yīng)使用嶄新堅(jiān)固耐壓的包裝箱(標(biāo)準(zhǔn)包裝)，適于空運(yùn)、陸運(yùn)等長(zhǎng)途運(yùn)輸。適于在氣溫為攝氏-20℃～＋50℃和相對(duì)濕度為90％的環(huán)境條件下運(yùn)輸和貯存。境外產(chǎn)品空運(yùn)到武漢，陸運(yùn)到指定交貨地點(diǎn)，境內(nèi)產(chǎn)品陸運(yùn)到指定交貨地點(diǎn)。4服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)/售后服務(wù)要求★所有硬件三年免費(fèi)保修、所有軟件一年免費(fèi)保修升級(jí)、電話報(bào)修后4小時(shí)上門(mén)服務(wù)、12小時(shí)內(nèi)排除故障。所有硬件過(guò)三年免費(fèi)保修期后按原價(jià)維修（按投標(biāo)貨物價(jià)格數(shù)量表所列價(jià)格，更換零部件的按合同簽訂時(shí)的零部件價(jià)格）、所有軟件過(guò)一年免費(fèi)保修升級(jí)期內(nèi)按按原價(jià)的10%進(jìn)行維修升級(jí)，響應(yīng)速度同保修期響應(yīng)速度。5培訓(xùn)★提供不少于7天不少于10人的主要設(shè)備廠商（認(rèn)證的）工程師安裝配置等實(shí)操培訓(xùn)課程，場(chǎng)地、交通等與培訓(xùn)相關(guān)的費(fèi)用均由成交供應(yīng)商承擔(dān)。6驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)★設(shè)備到貨后一個(gè)月內(nèi)驗(yàn)收，根據(jù)招標(biāo)指標(biāo)，儀表各項(xiàng)性能正常7付款條件（進(jìn)度和方式）★關(guān)境內(nèi)貨物：合同簽訂后30個(gè)工作日之內(nèi)預(yù)付合同金額的30%，發(fā)貨前支付合同金額的60%，貨到驗(yàn)收合格后付合同金額的10%。關(guān)境外貨物：信用證（L/C）付款。發(fā)貨前兩個(gè)月100%不可撤銷信用證(其中90%為見(jiàn)單即付即期信用證，10%尾款憑用戶簽字的驗(yàn)收合格報(bào)告支付)。8交貨/服務(wù)/建設(shè)地點(diǎn)★老光電國(guó)家實(shí)驗(yàn)室E1區(qū)，采購(gòu)人指定地點(diǎn)五、供應(yīng)商資格要求（一）《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定的（二）特定資格要求：（1）供應(yīng)商必須是依法在中華人民共和國(guó)獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的法人、其他組織或自然人，如供應(yīng)商經(jīng)營(yíng)其所投產(chǎn)品或服務(wù)需要相關(guān)行政許可的，則必須獲得相關(guān)行政許可才能參與競(jìng)標(biāo)；（2）單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在直接控股、管理關(guān)系的不同投標(biāo)人，不得參加本項(xiàng)目同一合同項(xiàng)下的政府采購(gòu)活動(dòng)。（3）為本采購(gòu)項(xiàng)目提供整體設(shè)計(jì)、規(guī)范編制或者項(xiàng)目管理、監(jiān)理、檢測(cè)等服務(wù)的，不得再參加本項(xiàng)目的其他招標(biāo)采購(gòu)活動(dòng)。（4）供應(yīng)商在參加本次采購(gòu)活動(dòng)前三年內(nèi)（不足三年按公司成立時(shí)起）未被列入“信用中國(guó)”網(wǎng)站()失信被執(zhí)行人、政府采購(gòu)嚴(yán)重違法失信名單、重大稅收違法案件當(dāng)事人和“中國(guó)政府采購(gòu)”網(wǎng)站（）政府采購(gòu)嚴(yán)重違法失信行為記錄名單。（以投標(biāo)截止當(dāng)日查詢結(jié)果為準(zhǔn)）。（5）所投產(chǎn)品為進(jìn)口產(chǎn)品的，需提供制造商出具的針對(duì)本項(xiàng)目的有效授權(quán)書(shū)。（授權(quán)鏈完整）（6）如國(guó)家法律法規(guī)對(duì)市場(chǎng)準(zhǔn)入有要求的還應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。3.是否接受聯(lián)合體投標(biāo)：□是▉否六、須實(shí)現(xiàn)的政府采購(gòu)政策目標(biāo)本項(xiàng)目須落實(shí)節(jié)約能源、保護(hù)環(huán)境、促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展、支持創(chuàng)新等政府采購(gòu)政策。本項(xiàng)目為：□專門(mén)面向中小企業(yè)采購(gòu)項(xiàng)目□預(yù)留該部分采購(gòu)項(xiàng)目預(yù)算總額的30%以上專門(mén)面向中小企業(yè)▉非專門(mén)面向中小企業(yè)采購(gòu)項(xiàng)目中小企業(yè)劃分標(biāo)準(zhǔn)所屬行業(yè)：工業(yè)

附件2：關(guān)于對(duì)華中科技大學(xué)半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)采購(gòu)項(xiàng)目采購(gòu)需求的修改建議書(shū)一、是否存在需要修改的內(nèi)容□有□無(wú)二、具體修改建議（一）供應(yīng)商認(rèn)為存在限制性的要求1.說(shuō)明具體是哪一項(xiàng)要求，以及在采購(gòu)需求書(shū)中對(duì)應(yīng)的頁(yè)碼、行數(shù)；2.該要求存在限制性的理由；3.本公司是否有滿足該要求的產(chǎn)品/服務(wù)，如有請(qǐng)寫(xiě)明具體產(chǎn)品名稱、型號(hào)規(guī)格；4.市場(chǎng)上滿足該