機械設備實驗分析儀器系列專題-掃描電鏡：國產(chǎn)化加快的核心電鏡品種

市場有風險，投資需謹慎請務必閱讀正文之后的免責條款部分市場有風險，投資需謹慎請務必閱讀正文之后的免責條款部分-3-7

強于大市|維持機械設備 滬深

實驗分析儀器系列專題--掃描電鏡：國產(chǎn)化加快的核心電鏡品種2022125行業(yè)投資評級行業(yè)基本情況收盤點位1490.8752周最高1790.8752周最低1131.58行業(yè)基本情況收盤點位1490.8752周最高1790.8752周最低1131.58行業(yè)相對指數(shù)表現(xiàn)（相對值）/冷場發(fā)射掃描電鏡，其中場發(fā)射掃描電鏡的分辨率、亮度等性能指行業(yè)相對指數(shù)表現(xiàn)（相對值）202019.34據(jù)SDI統(tǒng)計，2015-2020年全球電子顯微鏡市場規(guī)模分別為2108/2260/2413/2545/2689/29172015-2020年中國電子顯微鏡市場規(guī)模分別為230/255/280/303/328/3702022/12/12021-12 2022-02 2022-04 2022-07 2022-09 資料來源：聚源，中郵證券研究所

26.1319.342021H2掃描電鏡中標情況進行了不完全統(tǒng)計，進口掃描電鏡的中標金額為19875.8866.5研究所分析師:劉卓SAC登記編號:S1340522110001Email:liuzhuo@近期研究報告納”——FE-1050112.5——SEM3300。202291.72022/12/31102.52研究所分析師:劉卓SAC登記編號:S1340522110001Email:liuzhuo@近期研究報告風險提示：疫情反復、政策變動等風險請務必閱讀正文之后的免責條款部分PAGE3請務必閱讀正文之后的免責條款部分PAGE3目錄TOC\o"1-2"\h\z\u國內(nèi)掃描電鏡升級迭代，貼息政策下國產(chǎn)替代有望加速 4掃描電鏡—表面科學儀器，主要應用于微區(qū)形貌分析 4我國掃描電鏡市場規(guī)模約19億，進口依賴度高 7國內(nèi)廠商研發(fā)持續(xù)發(fā)力，產(chǎn)品升級迭代實現(xiàn)跨越發(fā)展 9貼息政策刺激掃描電鏡需求，國產(chǎn)替代有望加速 13風險提示 15圖表目錄圖表1：掃描電鏡原（以次級電子作為子號舉例） 4圖表2：氮化硅掃描成像圖（半導體領） 5圖表3：癌細胞掃描成像圖（生命科學域） 5圖表4：掃描電鏡分按電子槍種類劃分） 5圖表5：四類電子槍和參數(shù)對比 5圖表6：掃描電鏡分按分辨率劃分） 6圖表7：2020年中國掃電鏡下游消費結(jié)構 6圖表8：全球電子顯市場規(guī)模呈穩(wěn)健增長 7圖表9：我國電子顯市場規(guī)模呈穩(wěn)健增長 7圖表10：掃描電鏡是子顯微鏡中最大的類占比達74左右 7圖表11：2021H2國產(chǎn)掃描電鏡與進口掃描鏡標數(shù)量占比（不完統(tǒng)） 8圖表12：2021H2國產(chǎn)掃描電鏡與進口掃描鏡標金額占比（不完統(tǒng)） 8圖表13：中科科儀2021M11單月銷售掃描電鏡數(shù)達12臺 8圖表14：2021H2主要品牌掃描電鏡中標數(shù)量（9圖表15：2021H2主要品牌掃描電鏡中標金占（） 9圖表16：鋼研納克先發(fā)布FE-1050系列、FE-2050X產(chǎn)品 9圖表17：FE-1050系列與FE-2050X的產(chǎn)品定位 10圖表18：性能參數(shù)方，F(xiàn)E-1050系列并不遜色甚至優(yōu)于同級別國產(chǎn)品 10圖表19：FE-1050系列和FE-2050X擁有KCU平概念開發(fā)架構，支多應用環(huán)境 11圖表20：SEM3300是世界上首臺分辨率達到2.5米的鎢燈絲掃描電鏡 12圖表21：近年科學儀相關政策梳理（部） 13圖表22：貼息政策下高校招標場發(fā)射掃電節(jié)奏加快 14市場有風險，投資需謹慎請務必閱讀正文之后的免責條款部分市場有風險，投資需謹慎請務必閱讀正文之后的免責條款部分國內(nèi)掃描電鏡升級迭代，貼息政策下國產(chǎn)替代有望加速掃描電鏡—表面科學儀器，主要應用于微區(qū)形貌分析圖表1：掃描電鏡原理圖（以次級電子作為電子信號舉例）資料來源：Antpedia，中郵證券研究所綜合而言，掃描電鏡具有景深大、分辨率高,成像直觀、立體感強、放大倍數(shù)范圖表1：掃描電鏡原理圖（以次級電子作為電子信號舉例）資料來源：Antpedia，中郵證券研究所請務必閱讀正文之后的免責條款部分PAGE9請務必閱讀正文之后的免責條款部分PAGE9圖表2：氮化硅掃描電鏡成像圖（半導體領域）圖表3：癌細胞掃描電鏡成像圖（生命科學領域）資料來源：中科科儀官網(wǎng)，中郵證券研究所資料來源：中科科儀官網(wǎng)，中郵證券研究所掃描電鏡按照電子槍種類可分為鎢燈絲/六硼化鑭燈絲/熱場發(fā)射/圖表4：掃描電鏡分類（按電子槍種類劃分）資料來源：Antpedia，聚束科技，中郵證券研究所圖表5：四類電數(shù)對比電子槍亮度(A/cm2*sr)交叉斑(μm)工作溫度(K)逸出功(eV)分辨率電流密度（A/cm2）使用壽命(小時)鎢燈絲1E520-402650-27504.4-4.53nm1.3100左右六硼化鑭燈絲1E67-151750-18502.0-2.92.5nm25>500熱場電子槍1E8-1E90.01-0.023004.1<1nm50K10000冷場電子槍5E80.02-0.041750-18002.5-2.91nm500>10000資料來源：中科科儀官網(wǎng)，中郵證券研究所（（XHR（UHR、入門級（EL）圖表6：掃描電鏡分類（按分辨率劃分）資料來源：鋼研納克公眾號，中郵證券研究所注：六硼化鑭燈絲掃描電鏡未在此圖中展示圖表7：2020年中國掃描電鏡下游消費結(jié)構3.3%22.4% 40.8%33.5%材料、化工 生物、醫(yī)藥 教學及研究 其他資料來源：華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院，中郵證券研究所年場達40.8其為物醫(yī)學域，2020年圖表7：2020年中國掃描電鏡下游消費結(jié)構3.3%22.4% 40.8%33.5%材料、化工 生物、醫(yī)藥 教學及研究 其他資料來源：華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院，中郵證券研究所19202026.13SDI2108/2260/2413/2545/2689/29176.7規(guī)模占比進行估算，則可知2015-2020年中國電子顯微鏡市場規(guī)模分別為230/255/280/303/328/370102022/12/1，202026.13圖表8：全球電子顯微鏡市場規(guī)模呈穩(wěn)健增長 圖表9：我國電子顯微鏡市場規(guī)模呈穩(wěn)健增長0

201520162017201820192020

8%6%4%2%0%

500

201520162017201820192020

14%12%10%8%6%4%2%0%全球電子顯微鏡市場規(guī)模（百萬美元，左軸）同比增速（%，右軸）資料來源：SDI，中郵證券研究所

中國電子顯微鏡市場規(guī)模（百萬美元，左軸）同比增速（%，右軸）資料來源：SDI，中郵證券研究所注：中國電鏡市場規(guī)模計算方式為：全球電鏡市場規(guī)模*中國表面科學儀器市場規(guī)模/全球表面科學儀器市場規(guī)模202019.342021742020電子顯微鏡占比與2021年相同，則可簡單測算得到2020年中國掃描電鏡市場規(guī)模約為19.34億元。圖表10：掃描電鏡是電子顯微鏡中最大的種類，占比達74左右26%74%掃描電子顯微鏡 其他資料來源：智研咨詢，中郵證券研究所902021H2儀器國儀器其的標數(shù)分為69/3/3占比為92/4/419875.8866.5萬占亦為92與4要意是然兩占相并意757.514%4%圖表11：2021H2占比（不完全統(tǒng)計）4%4%

圖表12：2021H2國產(chǎn)掃描電鏡與進口掃描電鏡中標金額占比（不完全統(tǒng)計）92%進口數(shù)量占比 國產(chǎn)數(shù)量占比 其他數(shù)量占

92%4%4%進口金額占比 國產(chǎn)金額占比 其他金額占比4%4%資料來源：化工儀器網(wǎng)，中郵證券研究所注：其他屬于品牌或金額不具代表性的類別

資料來源：化工儀器網(wǎng)，中郵證券研究所19752021圖表13：中科科儀2021M11單月銷售掃描電鏡數(shù)量達12臺資料來源：中科科儀公眾號，中郵證券研究所1112圖表13：中科科儀2021M11單月銷售掃描電鏡數(shù)量達12臺資料來源：中科科儀公眾號，中郵證券研究所賽默飛、日立、蔡司為最受歡迎的三個品牌。1916第三為蔡司，共計中標12套；金額方面，賽默飛仍是第一，可統(tǒng)計到的中標總金為8485.7萬約占二蔡金為5133.3萬約占24，4322.820。圖表14：2021H2主要品牌掃描電鏡中標數(shù)量（臺） 圖表15：2021H2主要品牌掃描電鏡中標金額占比（）4%3192531925161213%39%20%24%賽默飛 日立 蔡司 其他海外品牌 國內(nèi)品牌 賽默飛 日立 蔡司 其他海外品牌 國內(nèi)品牌資料來源：化工儀器網(wǎng)，中郵證券研究所 資料來源：化工儀器網(wǎng)，中郵證券研究所國內(nèi)廠商研發(fā)持續(xù)發(fā)力，產(chǎn)品升級迭代實現(xiàn)跨越發(fā)展⑴鋼研納克——場發(fā)射掃描電鏡圖表16：鋼研納克先后發(fā)布FE-1050系列、FE-2050X產(chǎn)品資料來源：鋼研納克公眾號，中郵證券研究所11（HR）FE-2050X圖表16：鋼研納克先后發(fā)布FE-1050系列、FE-2050X產(chǎn)品資料來源：鋼研納克公眾號，中郵證券研究所請務必閱讀正文之后的免責條款部分PAGE10請務必閱讀正文之后的免責條款部分PAGE10FE-1050FE-2050X術的差距大幅減小。FE-1050（＜2nm@1kV）FE-200X（HR將具備全電壓段亞納米（≤1.0nm）255“”圖表17：FE-1050系列與FE-2050X的產(chǎn)品定位資料來源：鋼研納克公眾號，中郵證券研究所FE-105018FE-1050C，F(xiàn)E-1050C圖表18：性能參數(shù)方面，F(xiàn)圖表18：性能參數(shù)方面，F(xiàn)E-1050系列并遜色甚至優(yōu)于同級別國際產(chǎn)品指標參數(shù)日立SU5000卡爾蔡司Sigma300日本電子JSM-IT800HL納克微束FE-1050C發(fā)射類型Schottky場發(fā)射Schottky場發(fā)射Schottky場發(fā)射Schottky場發(fā)射1kV2.0nm1.6nm1.3nm1.5nm分辨能力15kV-1.0nm0.7nm1.0nm30kV1.2nm1.0nm-0.8nm(STEM)加速電壓500V~30kV20V~30kV10V~30kV20V~30kV請務必閱讀正文之后的免責條款部分PAGE16請務必閱讀正文之后的免責條款部分PAGE16束斑電流200nAMax3pA~20nA300nAMax5pA~30nA放大倍率18x~1,000,000x10x~1,000,000x10x~2,000,000x10x~1,000,000x運動平臺5軸自動5軸自動5軸自動5軸自動XY行程100mmx50mm125mmx125mm70mmx50mm140mmx140mm圖像存儲(最大)5,120x3,84032kx24k5,120x3,84024kx24k真空系統(tǒng)2xIGP-1xTMP1xIGP-1xTMP2xIGP-1xTMP2xIGP-1xTMP資料來源：鋼研納克產(chǎn)品發(fā)布會，中郵證券研究所FE-1050FE-2050XKCUFE-1050（“和F-200（行業(yè)內(nèi)首先提出的關鍵可通用化模組（KCU）FE-105027圖表19：FE-1050系列和FE-2050X擁有KCU平臺概念開發(fā)架構，支持多種應用環(huán)境資料來源：鋼研納克公眾號，中郵證券研究所⑵國儀量子——鎢燈絲掃描電鏡112.510kV技術)的解決方案，并實現(xiàn)了在所有電壓段的分辨率均大幅度超越普通鎢燈絲電鏡SEM3300在20kV率到普鎢絲電提了16為了SEM3300——3kV4nm21kV3同時，國儀量子還推出了鎢燈絲掃描電鏡SEM2000和場發(fā)射掃描電鏡SEM4000。SEM2000“”SEM4000200nA圖表20：SEM3300是世界上首臺分辨率達到2.5納米的鎢燈絲掃描電鏡資料來源：國儀量子產(chǎn)品推介會，中郵證券研究所貼息政策刺激掃描電鏡需求，國產(chǎn)替代有望加速“”“”與“圖表21：近年科學儀相關政圖表21：近年科學儀相關政策梳理（部分法律法規(guī)及政策發(fā)布時間發(fā)布單位相關主要內(nèi)容《“十三五”國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》2016國務院加強先進適用環(huán)保裝備在冶金、化工、建材、食品等重點領域應用，加速發(fā)展體外診斷儀器、設備、試劑等新產(chǎn)品?！秲x器儀表行業(yè)“十三五”發(fā)展規(guī)劃》2016中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會以國家重點產(chǎn)業(yè)安全、自主、可控為契機，推進重點產(chǎn)品核心技術自主化進程，力爭基本形成國家大型工程項目、重點應用領域自控系統(tǒng)和精密測試儀器的基本保障能力和重大科技項目所需自控系統(tǒng)和精密測試儀器的基礎支撐能力。行動計劃（2018-2020年2017工信部提出了要加強智能再制造關鍵技術創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化應用、推動智能化再制造裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應用、加快智能再制造標準研制等八大任務?！都訌姟?1”礎研究工作方案》2020科技部、國家發(fā)改委等加強重大科技基礎設施和高端通用科學儀器的設計研發(fā)，聚焦高端通用和專業(yè)重大科學儀器設備研發(fā)工程化和產(chǎn)業(yè)化研究，推動高端科學儀器設備產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展。“十四五”規(guī)劃2021全國人大明確提出要“加強高端科研儀器設備研發(fā)制造”?！秲x器儀表行業(yè)“十四五”規(guī)劃建議》2021中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會加強高端儀器儀表的發(fā)展步伐儲備和產(chǎn)業(yè)化基礎、市場有一定需求規(guī)模的高端產(chǎn)品的發(fā)展，集中力量解決部分國家急需解決的高端儀器儀表卡脖子和自主可控的問題，部分彌補行業(yè)在高端產(chǎn)品的明顯短板。資料來源：相關政府網(wǎng)站，中郵證券研究所202291.72022/12/31102.522000圖表22：貼圖表22：貼政策下，高校招標場發(fā)射掃描電鏡節(jié)奏加快時間高校招標項目預算金額（萬元）2022/12/2武夷學院場發(fā)射掃描電鏡5502022/11/30北京理工大學聚焦電子束離子束雙束掃描電鏡13002022/11/29清華大學冷場發(fā)射（生物）掃描電鏡系統(tǒng)4502022/11/29清華大學配有能譜和EBSD功能的掃描電鏡原位力學測試系統(tǒng)3602022/11/28上海交通大學原子力掃描電鏡聯(lián)用儀5502022/11/28上海交通大學冷凍雙束掃描電鏡7402022/11/28哈爾濱工業(yè)大學掃描電鏡聯(lián)用系統(tǒng)（航天尖兵）17022022/11/27復旦大學場發(fā)射掃描電鏡5002022/11/26天津大學超高分辨冷場發(fā)射掃描電鏡3802022/11/25上海交通大學原位微納熱力分析型聚焦離子束/電子束掃描電鏡8252022/11/25華南理工大學熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡6002022/11/25中國地質(zhì)大學冷凍掃描電鏡4802022/11/25華南理工大學聚焦離子束場發(fā)射掃描電子顯微鏡8802022/11/25北京航空航天大學普通場發(fā)射掃描電鏡、鎢燈絲掃描電鏡3002022/11/25華南理工大學雙束聚焦離子束場發(fā)射掃描電鏡5502022/11/25中山大學場發(fā)射掃描電鏡2002022/11/25中山大學掃描電鏡+陰極熒光聯(lián)用系統(tǒng)7762022/11/25中山大學場發(fā)射掃描電鏡系統(tǒng)9062022/11/24浙江大學多功能高通量冷凍聚焦離子束掃描電鏡18002022/11/24北京師范大學多功能氣氛保護原位高分辨掃描電鏡及氣氛保護制樣聯(lián)合系統(tǒng)5462022/11/23華中科技大學場發(fā)射透射電鏡及掃描電鏡系統(tǒng)17042022/11/23中山大學超高分辨率掃描電鏡6302022/11/22華中科技大學掃描電鏡與拉曼聯(lián)用分析系統(tǒng)5202022/11/22天津大學超高分辨冷場發(fā)射掃描電鏡3802022/11/22浙江大學場發(fā)射掃描電鏡5202022/11/22浙江大學高分辨場發(fā)射掃描電鏡7202022/11/18四川大學發(fā)射掃描電鏡2402022/11/18東北大學掃描電鏡（帶能譜儀）2902022/11/17東北大學超高分辨場發(fā)射掃描電鏡、多功能場發(fā)射掃描電鏡17002022/11/16北京師范大學場發(fā)射透射電子顯微鏡（生物電鏡、等離子體聚焦離子束掃描電鏡24302022/11/15天津大學聚焦離子束/掃描電鏡雙束系統(tǒng)和環(huán)境場發(fā)射掃描電鏡72702022/11/15廈門大學超高分辨場發(fā)射掃描電鏡3932022/11/14哈爾濱工業(yè)大學掃描電鏡原位高通量熒光納米力學測試裝置6052022/11/1南京農(nóng)業(yè)大學掃描電鏡3312022/10/31北方工業(yè)大學超高分辨率環(huán)境掃描電鏡及原位分析采購4802022/10/13上海交通大學極高分辨率場發(fā)射掃描電鏡4502022/10/12上海交通大學原位材料型掃描電鏡497息資料來源：中國政府采購網(wǎng)，中郵證券研究所風險提示疫情反復、政策變動等風險中郵證券投資評級說明投資評級標準類型評級說明66（業(yè)指數(shù)、可轉(zhuǎn)債價格）指數(shù)的漲跌幅。市場基準指數(shù)的選?。篈300500股票評級買入預期個股相對同期基準指數(shù)漲幅在20以上增持預期個股相對同期基準指數(shù)漲幅在10與20之間中性預期個股相對同期基準指數(shù)漲幅在-10與10之間回避預期個股相對同期基準指數(shù)漲幅在-10以下行業(yè)評級強于大市預期行業(yè)相對同期基準指數(shù)漲幅在10以上中性預期行業(yè)相對同期基準指數(shù)漲幅在-10與10之間弱于大市預期行業(yè)相對同期基準指數(shù)漲幅在-10以下可轉(zhuǎn)債評級推薦預期可轉(zhuǎn)債相對同期基準指數(shù)漲幅在10以上謹慎推薦預期可轉(zhuǎn)債相對同期基準指數(shù)漲幅在5與10之間中性預期可轉(zhuǎn)債相對同期基準指數(shù)漲幅在-5與5之間回避預期可轉(zhuǎn)債相對同期基準指數(shù)漲幅在-5以下分析師聲明撰寫此報告的分析師（一人或