擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件

擴(kuò)散操作屏作擴(kuò)散操作屏作1磷擴(kuò)散工藝過程清洗擴(kuò)散飽和關(guān)源,退舟回溫裝片卸片送片方塊電阻測量磷擴(kuò)散工藝過程2清洗■初次擴(kuò)散前,擴(kuò)散爐石英管首先連接TCA裝置,當(dāng)爐溫升至設(shè)定溫度,以設(shè)定流量通TCA6h清洗石英管。做ICA前先要確認(rèn)管路的正確清洗開始時,若在手動狀態(tài)下要先開O再開TCA;清洗結(jié)束后,先關(guān)TCA,再關(guān)清洗結(jié)束后,進(jìn)行飽和,待擴(kuò)散清洗3飽和每班生產(chǎn)前或長時間不生產(chǎn)時,須對石英管進(jìn)行飽和。爐溫升至設(shè)定溫度時,以設(shè)定流量通小N(攜源)和O2,使石英管飽和,約60分鐘后,關(guān)閉小N和O2。初次擴(kuò)散前或停產(chǎn)一段時間以后恢復(fù)生產(chǎn)時,需使石英管在1050℃通CA2小時后通源飽和1小時以上。(2+1)飽和4裝片戴好防護(hù)口罩和干凈的乳膠手套,將清洗甩干的硅片從傳遞窗口取出,放在凈化裝片臺上用石英吸筆依次將硅片從硅片盒中取出,插入石英舟。每一槽裝2片,若發(fā)現(xiàn)硅片表面臟將干凈的面做擴(kuò)散面裝片5送片用舟叉將裝滿硅片的石英舟放在碳化硅臂漿上,保證平穩(wěn),緩緩?fù)迫霐U(kuò)散爐注意不要把擴(kuò)散和鈍化的石英制品混用送片6回溫打開適當(dāng)?shù)墓に囂栠M(jìn)行擴(kuò)散,石英漿暴露在空氣中的時間盡量短?；販?擴(kuò)散注意監(jiān)視屏幕上的氣體流量圖,發(fā)現(xiàn)異常第時間通知相關(guān)人員處理擴(kuò)散8關(guān)源,退舟■擴(kuò)散結(jié)束后,計算機(jī)自動關(guān)閉小N2和O2,將石英舟緩緩?fù)酥翣t口,降溫以后,用舟叉從臂槳上取下石英舟。并立即放上新的石英舟,進(jìn)行下一輪擴(kuò)散如沒有待擴(kuò)散的硅片,將臂漿推入擴(kuò)散爐盡量縮短臂槳暴露在暴露在空氣中的時間。關(guān)源,退舟9卸片等待硅片冷卻后,用石英吸筆均勻的取5片進(jìn)行方塊電阻的測試■將合格的硅片從石英舟上卸下并放置在硅片盒中,放入傳遞窗將返工的硅片單獨(dú)放置下班后一起交清洗間處理.卸片10擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件11擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件12擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件13擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件14擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件15擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件16擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件17擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件18擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件19擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件20擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件21擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件22擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件23擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件24擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件25擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件26擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件27擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件28擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件29擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件30擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件31擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件32擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件33擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件34擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件35擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件36擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件37擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件38擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件39擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件40擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件41擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件42擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件43擴(kuò)散操作屏作擴(kuò)散操作屏作44磷擴(kuò)散工藝過程清洗擴(kuò)散飽和關(guān)源,退舟回溫裝片卸片送片方塊電阻測量磷擴(kuò)散工藝過程45清洗■初次擴(kuò)散前,擴(kuò)散爐石英管首先連接TCA裝置,當(dāng)爐溫升至設(shè)定溫度,以設(shè)定流量通TCA6h清洗石英管。做ICA前先要確認(rèn)管路的正確清洗開始時,若在手動狀態(tài)下要先開O再開TCA;清洗結(jié)束后,先關(guān)TCA,再關(guān)清洗結(jié)束后,進(jìn)行飽和,待擴(kuò)散清洗46飽和每班生產(chǎn)前或長時間不生產(chǎn)時,須對石英管進(jìn)行飽和。爐溫升至設(shè)定溫度時,以設(shè)定流量通小N(攜源)和O2,使石英管飽和,約60分鐘后,關(guān)閉小N和O2。初次擴(kuò)散前或停產(chǎn)一段時間以后恢復(fù)生產(chǎn)時,需使石英管在1050℃通CA2小時后通源飽和1小時以上。(2+1)飽和47裝片戴好防護(hù)口罩和干凈的乳膠手套,將清洗甩干的硅片從傳遞窗口取出,放在凈化裝片臺上用石英吸筆依次將硅片從硅片盒中取出,插入石英舟。每一槽裝2片,若發(fā)現(xiàn)硅片表面臟將干凈的面做擴(kuò)散面裝片48送片用舟叉將裝滿硅片的石英舟放在碳化硅臂漿上,保證平穩(wěn),緩緩?fù)迫霐U(kuò)散爐注意不要把擴(kuò)散和鈍化的石英制品混用送片49回溫打開適當(dāng)?shù)墓に囂栠M(jìn)行擴(kuò)散,石英漿暴露在空氣中的時間盡量短?；販?0擴(kuò)散注意監(jiān)視屏幕上的氣體流量圖,發(fā)現(xiàn)異常第時間通知相關(guān)人員處理擴(kuò)散51關(guān)源,退舟■擴(kuò)散結(jié)束后,計算機(jī)自動關(guān)閉小N2和O2,將石英舟緩緩?fù)酥翣t口,降溫以后,用舟叉從臂槳上取下石英舟。并立即放上新的石英舟,進(jìn)行下一輪擴(kuò)散如沒有待擴(kuò)散的硅片,將臂漿推入擴(kuò)散爐盡量縮短臂槳暴露在暴露在空氣中的時間。關(guān)源,退舟52卸片等待硅片冷卻后,用石英吸筆均勻的取5片進(jìn)行方塊電阻的測試■將合格的硅片從石英舟上卸下并放置在硅片盒中,放入傳遞窗將返工的硅片單獨(dú)放置下班后一起交清洗間處理.卸片53擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件54擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件55擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件56擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件57擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件58擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件59擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件60擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件61擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件62擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件63擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件64擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件65擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件66擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件67擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件68擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件69擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件70擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件71擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件72擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件73擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件74擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件75擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件76擴(kuò)散操作規(guī)程講解課件77