半導體光電子器件的制作技術(shù)課件

實驗室科研探究課第5教學單元半導體光電子器件的制作技術(shù)任課教師:韓彥軍清華大學電子工程系集成光電子學國家重點實驗室2019年10月2日實驗室科研探究課第5教學單元1內(nèi)容提綱集成光電子學國家重點實驗室簡介行業(yè)、專業(yè)背景和研究背景半導體照明光源項目的研究過程其它研究項目簡介經(jīng)驗教訓與方法論科研作風與傳統(tǒng)問題與思考內(nèi)容提綱2集成光電子學國家重點實驗室簡介集成光電子學國家重點聯(lián)合實驗室于1987籌建,1991年1月通過國家有關(guān)部門的驗收并正式對外開放。實驗室定位于應用基礎(chǔ)研究,基本任務(wù)是研究集成光電子材料與器件及這些器件的應用技術(shù),為我國的國家信息基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)服務(wù)。至今,本實驗室已經(jīng)成長為國內(nèi)從事集成光電子材料與器件及其在光纖通信與網(wǎng)絡(luò)中的應用的主要研究基地,以及光電子學領(lǐng)域科研、教學和產(chǎn)業(yè)開發(fā)的高級人才的重要培養(yǎng)基地,并且在一些重要的研究領(lǐng)域產(chǎn)生了一定的國際影響集成光電子學國家重點實驗室簡介39594實驗室的輝煌業(yè)績1991年,國家科委、國家基金委的評估中被評為A類2019年,信息類國家重點實驗室評估中小組初評和總體復評均名列前茅2019年,國家重點實驗室建設(shè)二十周年總結(jié)大會上再次被獲“國家重點實驗室計劃先進集體獎(金牛獎)”2019年,在信息類國家重點實驗室的評估中獲得優(yōu)秀實驗室的輝煌業(yè)績5實驗室取得的突出進展氮化鎵基寬禁帶半導體材料與器件DFB-LD與電吸收調(diào)制器集成光源等單片光子集成器件基于集成光電子器件的光纖通信與光纖網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵技術(shù)新型光纖光柵器件等新型無源器件實驗室取得的突出進展6行業(yè)背景光電子行業(yè)薄膜功能材料行業(yè)照明行業(yè)信息行業(yè)光通訊行業(yè)背景7專業(yè)背景級學科:電子科學與技術(shù)二級學科:物理電子學具有堅實的物理基礎(chǔ)光學、半導體、固體物理學科交叉日益明顯熱能、微波、材料、微細加工、流體力學專業(yè)背景8什么是發(fā)光二極管①LED)?WoWWWp型區(qū)導帶eeeee勢xHD=E0(費米能級)日d⊕⊕⊕價帶n型區(qū)什么是發(fā)光二極管①LED)?9評價LED性能的參數(shù)前提條件:一定的管芯尺寸和注入電流條件下正向工作電壓發(fā)光通量發(fā)光功率發(fā)光效率發(fā)光峰值波長發(fā)光峰值的半高全寬熱阻壽命評價LED性能的參數(shù)10半導體光電子器件的制作技術(shù)課件11半導體光電子器件的制作技術(shù)課件12半導體光電子器件的制作技術(shù)課件13半導體光電子器件的制作技術(shù)課件14半導體光電子器件的制作技術(shù)課件15半導體光電子器件的制作技術(shù)課件16半導體光電子器件的制作技術(shù)課件17半導體光電子器件的制作技術(shù)課件18半導體光電子器件的制作技術(shù)課件19半導體光電子器件的制作技術(shù)課件20半導體光電子器件的制作技術(shù)課件21半導體光電子器件的制作技術(shù)課件22半導體光電子器件的制作技術(shù)課件23半導體光電子器件的制作技術(shù)課件24半導體光電子器件的制作技術(shù)課件25半導體光電子器件的制作技術(shù)課件26半導體光電子器件的制作技術(shù)課件27半導體光電子器件的制作技術(shù)課件28半導體光電子器件的制作技術(shù)課件29半導體光電子器件的制作技術(shù)課件30半導體光電子器件的制作技術(shù)課件31半導體光電子器件的制作技術(shù)課件32半導體光電子器件的制作技術(shù)課件33半導體光電子器件的制作技術(shù)課件34半導體光電子器件的制作技術(shù)課件35半導體光電子器件的制作技術(shù)課件36半導體光電子器件的制作技術(shù)課件37半導體光電子器件的制作技術(shù)課件38半導體光電子器件的制作技術(shù)課件39半導體光電子器件的制作技術(shù)課件40半導體光電子器件的制作技術(shù)課件41半導體光電子器件的制作技術(shù)課件42半導體光電子器件的制作技術(shù)課件43半導體光電子器件的制作技術(shù)課件44半導體光電子器件的制作技術(shù)課件45半導體光電子器件的制作技術(shù)課件46半導體光電子器件的制作技術(shù)課件47半導體光電子器件的制作技術(shù)課件48半導體光電子器件的制作技術(shù)課件49半導體光電子器件的制作技術(shù)課件50半導體光電子器件的制作技術(shù)課件51半導體光電子器件的制作技術(shù)課件52半導體光電子器件的制作技術(shù)課件53半導體光電子器件的制作技術(shù)課件54半導體光電子器件的制作技術(shù)課件55半導體光電子器件的制作技術(shù)課件56半導體光電子器件的制作技術(shù)課件57半導體光電子器件的制作技術(shù)課件58半導體光電子器件的制作技術(shù)課件59半導體光電子器件的制作技術(shù)課件60半導體光電子器件的制作技術(shù)課件61半導體光電子器件的制作技術(shù)課件62半導體光電子器件的制作技術(shù)課件63半導體光電子器件的制作技術(shù)課件64半導體光電子器件的制作技術(shù)課件65半導體光電子器件的制作技術(shù)課件66半導體光電子器件的制作技術(shù)課件67半導體光電子器件的制作技術(shù)課件68半導體光電子器件的制作技術(shù)課件69半導體光電子器件的制作技術(shù)課件70半導體光電子器件的制作技術(shù)課件71半導體光電子器件的制作技術(shù)課件72半導體光電子器件的制作技術(shù)課件73半導體光電子器件的制作技術(shù)課件74半導體光電子器件的制作技術(shù)課件75半導體光電子器件的制作技術(shù)課件76半導體光電子器件的制作技術(shù)課件77半導體光電子器件的制作技術(shù)課件78半導體光電子器件的制作技術(shù)課件79半導體光電子器件的制作技術(shù)課件80半導體光電子器件的制作技術(shù)課件81半導體光電子器件的制作技術(shù)課件82半導體光電子器件的制作技術(shù)課件83半導體光電子器件的制作技術(shù)課件84半導體光電子器件的制作技術(shù)課件85半導體光電子器件的制作技術(shù)課件86半導體光電子器件的制作技術(shù)課件87半導體光電子器件的制作技術(shù)課件88半導體光電子器件的制作技術(shù)課件89半導體光電子器件的制作技術(shù)課件90半導體光電子器件的制作技術(shù)課件91半導體光電子器件的制作技術(shù)課件92半導體光電子器件的制作技術(shù)課件93半導體光電子器件的制作技術(shù)課件94半導體光電子器件的制作技術(shù)課件95半導體光電子器件的制作技術(shù)課件96半導體光電子器件的制作技術(shù)課件97半導體光電子器件的制作技術(shù)課件98半導體光電子器件的制作技術(shù)課件99半導體光電子器件的制作技術(shù)課件100半導體光電子器件的制作技術(shù)課件101半導體光電子器件的制作技術(shù)課件102半導體光電子器件的制作技術(shù)課件103半導體光電子器件的制作技術(shù)課件104半導體光電子器件的制作技術(shù)課件105半導體光電子器件的制作技術(shù)課件106半導體光電子器件的制作技術(shù)課件107半導體光電子器件的制作技術(shù)課件108半導體光電子器件的制作技術(shù)課件109半導體光電子器件的制作技術(shù)課件110半導體光電子器件的制作技術(shù)課件111半導體光電子器件的制作技術(shù)課件112半導體光電子器件的制作技術(shù)課件113半導體光電子器件的制作技術(shù)課件114半導體光電子器件的制作技術(shù)課件115半導體光電子器件的制作技術(shù)課件116半導體光電子器件的制作技術(shù)課件117半導體光電子器件的制作技術(shù)課件118半導體光電子器件的制作技術(shù)課件119半導體光電子器件的制作技術(shù)課件120半導體光電子器件的制作技術(shù)課件121半導體光電子器件的制作技術(shù)課件122半導體光電子器件的制作技術(shù)課件123半導體光電子器件的制作技術(shù)課件124半導體光電子器件的制作技術(shù)課件125半導體光電子器件的制作技術(shù)課件126半導體光電子器件的制作技術(shù)課件127半導體光電子器件的制作技術(shù)課件128半導體光電子器件的制作技術(shù)課件129半導體光電子器件的制作技術(shù)課件130半導體光電子器件的制作技術(shù)課件131半導體光電子器件的制作技術(shù)課件132半導體光電子器件的制作技術(shù)課件133半導體光電子器件的制作技術(shù)課件134半導體光電子器件的制作技術(shù)課件135半導體光電子器件的制作技術(shù)課件136半導體光電子器件的制作技術(shù)課件137半導體光電子器件的制作技術(shù)課件138半導體光電子器件的制作技術(shù)課件139半導體光電子器件的制作技術(shù)課件140半導體光電子器件的制作技術(shù)課件141半導體光電子器件的制作技術(shù)課件142半導體光電子器件的制作技術(shù)課件143半導體光電子器件的制作技術(shù)課件144半導體光電子器件的制作技術(shù)課件145半導體光電子器件的制作技術(shù)課件146實驗室科研探究課第5教學單元半導體光電子器件的制作技術(shù)任課教師:韓彥軍清華大學電子工程系集成光電子學國家重點實驗室2019年10月2日實驗室科研探究課第5教學單元147內(nèi)容提綱集成光電子學國家重點實驗室簡介行業(yè)、專業(yè)背景和研究背景半導體照明光源項目的研究過程其它研究項目簡介經(jīng)驗教訓與方法論科研作風與傳統(tǒng)問題與思考內(nèi)容提綱148集成光電子學國家重點實驗室簡介集成光電子學國家重點聯(lián)合實驗室于1987籌建,1991年1月通過國家有關(guān)部門的驗收并正式對外開放。實驗室定位于應用基礎(chǔ)研究,基本任務(wù)是研究集成光電子材料與器件及這些器件的應用技術(shù),為我國的國家信息基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)服務(wù)。至今,本實驗室已經(jīng)成長為國內(nèi)從事集成光電子材料與器件及其在光纖通信與網(wǎng)絡(luò)中的應用的主要研究基地,以及光電子學領(lǐng)域科研、教學和產(chǎn)業(yè)開發(fā)的高級人才的重要培養(yǎng)基地,并且在一些重要的研究領(lǐng)域產(chǎn)生了一定的國際影響集成光電子學國家重點實驗室簡介149959150實驗室的輝煌業(yè)績1991年,國家科委、國家基金委的評估中被評為A類2019年,信息類國家重點實驗室評估中小組初評和總體復評均名列前茅2019年,國家重點實驗室建設(shè)二十周年總結(jié)大會上再次被獲“國家重點實驗室計劃先進集體獎(金牛獎)”2019年,在信息類國家重點實驗室的評估中獲得優(yōu)秀實驗室的輝煌業(yè)績151實驗室取得的突出進展氮化鎵基寬禁帶半導體材料與器件DFB-LD與電吸收調(diào)制器集成光源等單片光子集成器件基于集成光電子器件的光纖通信與光纖網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵技術(shù)新型光纖光柵器件等新型無源器件實驗室取得的突出進展152行業(yè)背景光電子行業(yè)薄膜功能材料行業(yè)照明行業(yè)信息行業(yè)光通訊行業(yè)背景153專業(yè)背景級學科:電子科學與技術(shù)二級學科:物理電子學具有堅實的物理基礎(chǔ)光學、半導體、固體物理學科交叉日益明顯熱能、微波、材料、微細加工、流體力學專業(yè)背景154什么是發(fā)光二極管①LED)?WoWWWp型區(qū)導帶eeeee勢xHD=E0(費米能級)日d⊕⊕⊕價帶n型區(qū)什么是發(fā)光二極管①LED)?155評價LED性能的參數(shù)前提條件:一定的管芯尺寸和注入電流條件下正向工作電壓發(fā)光通量發(fā)光功率發(fā)光效率發(fā)光峰值波長發(fā)光峰值的半高全寬熱阻壽命評價LED性能的參數(shù)156半導體光電子器件的制作技術(shù)課件157半導體光電子器件的制作技術(shù)課件158半導體光電子器件的制作技術(shù)課件159半導體光電子器件的制作技術(shù)課件160半導體光電子器件的制作技術(shù)課件161半導體光電子器件的制作技術(shù)課件162半導體光電子器件的制作技術(shù)課件163半導體光電子器件的制作技術(shù)課件164半導體光電子器件的制作技術(shù)課件165半導體光電子器件的制作技術(shù)課件166半導體光電子器件的制作技術(shù)課件167半導體光電子器件的制作技術(shù)課件168半導體光電子器件的制作技術(shù)課件169半導體光電子器件的制作技術(shù)課件170半導體光電子器件的制作技術(shù)課件171半導體光電子器件的制作技術(shù)課件172半導體光電子器件的制作技術(shù)課件173半導體光電子器件的制作技術(shù)課件174半導體光電子器件的制作技術(shù)課件175半導體光電子器件的制作技術(shù)課件176半導體光電子器件的制作技術(shù)課件177半導體光電子器件的制作技術(shù)課件178半導體光電子器件的制作技術(shù)課件179半導體光電子器件的制作技術(shù)課件180半導體光電子器件的制作技術(shù)課件181半導體光電子器件的制作技術(shù)課件182半導體光電子器件的制作技術(shù)課件183半導體光電子器件的制作技術(shù)課件184半導體光電子器件的制作技術(shù)課件185半導體光電子器件的制作技術(shù)課件186半導體光電子器件的制作技術(shù)課件187半導體光電子器件的制作技術(shù)課件188半導體光電子器件的制作技術(shù)課件189半導體光電子器件的制作技術(shù)課件190半導體光電子器件的制作技術(shù)課件191半導體光電子器件的制作技術(shù)課件192半導體光電子器件的制作技術(shù)課件193半導體光電子器件的制作技術(shù)課件194半導體光電子器件的制作技術(shù)課件195半導體光電子器件的制作技術(shù)課件196半導體光電子器件的制作技術(shù)課件197半導體光電子器件的制作技術(shù)課件198半導體光電子器件的制作技術(shù)課件199半導體光電子器件的制作技術(shù)課件200半導體光電子器件的制作技術(shù)課件201半導體光電子器件的制作技術(shù)課件202半導體光電子器件的制作技術(shù)課件203半導體光電子器件的制作技術(shù)課件204半導體光電子器件的制作技術(shù)課件205半導體光電子器件的制作技術(shù)課件206半導體光電子器件的制作技術(shù)課件207半導體光電子器件的制作技術(shù)課件208半導體光電子器件的制作技術(shù)課件209半導體光電子器件的制作技術(shù)課件210半導體光電子器件的制作技術(shù)課件211半導體光電子器件的制作技術(shù)課件212半導體光電子器件的制作技術(shù)課件213半導體光電子器件的制作技術(shù)課件214半導體光電子器件的制作技術(shù)課件215半導體光電子器件的制作技術(shù)課件216半導體光電子器件的制作技術(shù)課件217半導體光電子器件的制作技術(shù)課件218半導體光電子器件的制作技術(shù)課件219半導體光電子器件的制作技術(shù)課件220半導體光電子器件的制作技術(shù)課件221半導體光電子器件的制作技術(shù)課件222半導體光電子器件的制作技術(shù)課件223半導體光電子器件的制作技術(shù)課件224半導體光電子器件的制作技術(shù)課件225半導體光電子器件的制作技術(shù)課件226半導體光電子器件的制作技術(shù)課件227半導體光電子器件的制作技術(shù)課件228半導體光電子器件的制作技術(shù)課件229半導體光電子器件的制作技術(shù)課件230半導體光電子器件的制作技術(shù)課件231半導體光電子器件的制作技術(shù)課件232半導體光電子器件的制作技術(shù)課件233半導體光電子器件的制作技術(shù)課件234半導體光電子器件的制作技術(shù)課件235半導體光電子器件的制作技術(shù)課件236半導體光電子器件的制作技術(shù)課件237半導體光電子器件的制作技術(shù)課件238半導體光電子器件的制作技術(shù)課件239半導體光電子器件的制作技術(shù)課件240半導體光電子器件的制作技術(shù)課件241半導體光電子器件的制作技術(shù)課件242半導體光電子器件的制作技術(shù)課件243半導體光電子器件的制作技術(shù)課件244半導體光電子器件的制作技術(shù)課件245半導體光電子器件的制作技術(shù)課件246半導體光電子器件的制作技術(shù)課件247半導體光電子器件的制作技術(shù)課件248半導體光電子器件的制作技術(shù)課件249半導體光電子器件的制作技術(shù)課件250半導體光電子器件的制作技術(shù)課件251半導體光電子器件的制作技術(shù)課件252半導體光電子器件的制作技術(shù)課件253半導體光電子器件的制作技術(shù)課件254半導體光電子器件的制作技術(shù)課件255半導