半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)研究報告：核心零部件進入投資元年

半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)研究報告：核心零部件進入投資元年半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件分類半導(dǎo)體設(shè)備由

8

類核心子系統(tǒng)構(gòu)成據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)調(diào)查公司

VLSI統(tǒng)計，半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵子系統(tǒng)主要分為

8

大類。包含：氣液流量控

制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電源及氣體反應(yīng)系統(tǒng)、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系

統(tǒng)、其他集成系統(tǒng)及關(guān)鍵組件，每個子系統(tǒng)亦由數(shù)量龐大的零部件組合而成。不同半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件有所不同。例如：光刻機的核心零部件包括工作臺、投影物鏡、光源

等，而等離子體真空設(shè)備（PVD、CVD、刻蝕）的核心零部件包括

MFC、射頻電源、真空泵、ESC等。半導(dǎo)體核心零部件：通用部件國產(chǎn)化難度高半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)采購的零部件通常包括機械類、機電一體類、電氣類、氣體輸送系統(tǒng)類、真空系統(tǒng)

類、附屬設(shè)備等。參考部分半導(dǎo)體設(shè)備公司的招股說明書，其中，腔體、金屬加工件、EFEM等精

密機加件的國產(chǎn)供應(yīng)商包括靖江先鋒（參考沈陽拓荊、中微公司的招股說明書）、沈陽富創(chuàng)（參考

公司官方網(wǎng)站）、兆恒眾力等，而真空系統(tǒng)、真空泵、射頻電源、機械手等通用部件都是采購

MKS、AE、愛德華、Rorze等外資品牌。半導(dǎo)體附屬設(shè)備：國產(chǎn)化相對容易集成電路制造關(guān)鍵附屬裝臵主要包括溫控裝臵、干泵、尾氣處理裝臵和真空隔離閥。其中，北京京

儀自動化裝備技術(shù)有限公司成立于

2016

年

6

月，在溫控裝臵、尾氣處理裝臵等領(lǐng)域有一定的競爭

優(yōu)勢，是一家集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的裝備制造企業(yè)，主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體溫控裝臵系列

（Chiller）、機器人系列（WaferSorter/AMR）、廢氣處理裝臵系列（LocalScrubber）等專用設(shè)備，現(xiàn)

已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、LCD等領(lǐng)域，且公司客戶包括中芯國際、長江存儲、華虹無錫等國內(nèi)

知名半導(dǎo)體企業(yè)。半導(dǎo)體零部件的市場前景半導(dǎo)體零部件的重要性：半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈的基石核心零部件作為半導(dǎo)體設(shè)備的主要組成部分，與半導(dǎo)體材料、EDA軟件共同支撐著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中

設(shè)計、制造、封測等環(huán)節(jié)，從而支撐全球經(jīng)濟數(shù)字化進程。半導(dǎo)體核心零部件與半導(dǎo)體原材料一

樣，盡管市場規(guī)模小，卻決定了半導(dǎo)體設(shè)備的核心構(gòu)成、主要成本、優(yōu)質(zhì)性能等。參考半導(dǎo)體零部件各公司的財務(wù)數(shù)據(jù)統(tǒng)計：半導(dǎo)體核心零部件市場規(guī)模約

200-300

億美元，支撐半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模約

800-900

億美元；半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)規(guī)模

800-900

億美元，與半導(dǎo)體材料、EDA共同支撐全球半導(dǎo)體行業(yè)規(guī)模

5000

多億美元。參考國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司的主營成本結(jié)構(gòu)，半導(dǎo)體零部件及原材料占設(shè)備企業(yè)主營成本的

80%-

90%，而零部件采購又占到半導(dǎo)體設(shè)備成本的

80%以上。半導(dǎo)體零部件的市場規(guī)模：200-300

億美元方法一：營業(yè)成本推導(dǎo)，推測全球半導(dǎo)體零部件的市場規(guī)模估計

300

億美元左右。參考半導(dǎo)體設(shè)備

上市公司的財務(wù)數(shù)據(jù)，半導(dǎo)體設(shè)備零部件及原材料的采購成本占半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)營業(yè)成本的

80%-

90%，且半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的毛利率普遍在

40%-60%之間，即營業(yè)成本占營業(yè)收入的比重平均在

50%

左右，因此半導(dǎo)體設(shè)備零部件及其他原材料市場規(guī)模相當于全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模的

40%-45%范

圍內(nèi)，其中半導(dǎo)體零部件占據(jù)大部分（8

成以上）。根據(jù)全球

2021

年半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模約為

800-

900

多億美元，由此推測全球半導(dǎo)體零部件的市場規(guī)模估計

300

億美元左右。方法二：通過核心零部件企業(yè)的收入加總推導(dǎo)，估計全球半導(dǎo)體設(shè)備零部件及附屬設(shè)備的市場規(guī)模

超

200

億美元。非光刻零部件：參考全球主要半導(dǎo)體零部件的收入規(guī)模，包括

MKS、UCT、ICHOR、AE、

Edwards等主要半導(dǎo)體零部件公司的收入總計為

100

多億美元；光刻零部件：ASML光刻機相關(guān)的零部件市場規(guī)模估計超過

50

億美元，主要參考

ASML2021

年光刻機整機總收入有望達到

140

億歐元，毛利率接近

50%，營業(yè)成本中零部件占了大部

分。附屬設(shè)備：根據(jù)

ICWorld會議資料，半導(dǎo)體附屬設(shè)備年均市場規(guī)模超過

20

億美元。備件備品：Fab廠運營過程中，需更換的備品備件市場需求。參考應(yīng)用材料、ASML、泛林半

導(dǎo)體、TEL等的收入結(jié)構(gòu)，備品備件及售后服務(wù)在整個收入結(jié)構(gòu)中占比平均為

26%，或者說

備品備件及售后服務(wù)相當于整機銷售收入的

36%，但估計包括了部分人工增值服務(wù)收入。因

此，F(xiàn)ab廠運營中更換的備品備件應(yīng)該具備一定的市場規(guī)模。細分市場：射頻電源、真空泵、吸盤、噴淋頭等占比高參考芯謀研究發(fā)布的《中國半導(dǎo)體卡脖子的源頭之一——設(shè)備零部件》，中國晶圓制造廠商采購的

設(shè)備零部件主要有：石英（Quartz）、射頻發(fā)生器（RFGenerator）、各種泵（Pump）等，各占零部件采購金額的

比重依次是

11%、10%、10%；閥門（Valve）、靜電吸盤（e-Chuck）、反應(yīng)腔噴淋頭（ShowerHead）、邊緣環(huán)（EdgeRing）

等零部件的采購占比依次是

9%、9%、8%、6%；半導(dǎo)體零部件的競爭格局主要被美國、日本壟斷，行業(yè)集中度高據(jù)

ICWorld2020

公開的

20

類半導(dǎo)體核心零部件產(chǎn)品的

44

家主要供應(yīng)商中，有約

20

家美國供應(yīng)商

(近

45%)、16

家日本供應(yīng)商（近

36%）、2

家德國供應(yīng)商、2

家瑞士供應(yīng)商、2

家韓國供應(yīng)商、1

家

英國供應(yīng)商等，均為境外供應(yīng)商，且以美國和日本的供應(yīng)廠商為主。根據(jù)全球主要半導(dǎo)體零部件企業(yè)（不含光刻機零部件）的半導(dǎo)體收入進行統(tǒng)計，美國半導(dǎo)體零部件

企業(yè)的合計收入占比

44%，日本半導(dǎo)體零部件企業(yè)的合計收入占比

33%，英國、瑞士等歐洲地區(qū)占

比

21%，新加坡、韓國等半導(dǎo)體零部件企業(yè)的合計收入占比僅為

2%。ASML光刻機零部件供應(yīng)商遍布全球光刻機作為芯片制造的核心設(shè)備，內(nèi)部結(jié)構(gòu)精確而復(fù)雜，最先進的光刻機由近

10

萬個組件構(gòu)成，

而其核心零部件均為國際廠商供應(yīng)，具體包括：=光源系統(tǒng)由美國

Cymer提供；光學(xué)鏡頭由德國蔡司提供；計量設(shè)備由美國是德科技提供；傳送帶由荷蘭

VDL集團提供。半導(dǎo)體零部件的國產(chǎn)化目前半導(dǎo)體核心零部件高度依賴進口長江存儲技術(shù)有限責任公司副總裁、聯(lián)席

CTO程衛(wèi)華曾介紹，在半導(dǎo)體晶圓制

造廠里，密封圈、靜電吸盤、閥類、陶瓷類真空壓力計等零部件大部分需要進口。其中，閥類費用

支出約占所有耗材支出的

10.6%，市場需求強勁，但國內(nèi)供應(yīng)商基本為空白。參考芯謀研究數(shù)據(jù)，目前半導(dǎo)體零部件國產(chǎn)化率超過

10%的有

Quartz成品、Showerhead、Edgering等少數(shù)幾類，其余的國產(chǎn)化程度都比較低，特別是

Valve、Gauge、O-ring等幾乎完全依賴進口。據(jù)各家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的前五大供應(yīng)商統(tǒng)計，半導(dǎo)體真空設(shè)備的零部件較大程度依賴于美國的

MKS、UCT，以及日本的

RORZECORPORATION、Ferrotec等。政策引導(dǎo)半導(dǎo)體零部件等卡脖子環(huán)節(jié)的國產(chǎn)化突破在歷次政府工作報告中，核心零部件卡脖子環(huán)節(jié)均受到重視。在

2021

年

7

月

30

日召開的中共中央

政治局召開會議上強調(diào)：要強化科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性，加強基礎(chǔ)研究，推動應(yīng)用研究，開

展補鏈強鏈專項行動，加快解決“卡脖子”難題，發(fā)展專精特新中小企業(yè)。在

2019

年

9

月

3

日舉辦的

半導(dǎo)體集成電路零部件產(chǎn)業(yè)峰會上，與會企業(yè)表示要促進我國半導(dǎo)體集成電路零部件產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，

增強零部件企業(yè)和下游企業(yè)之間的合作，構(gòu)建良性的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，加快零部件國產(chǎn)化進程。通過整合

全國集成電路零部件領(lǐng)域創(chuàng)新資源，緩解“卡脖子”問題，實現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控，為我國集成

電路技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展做出貢獻。半導(dǎo)體零部件的國產(chǎn)化正在進行致力于半導(dǎo)體零部件國產(chǎn)化的本土企業(yè)，目前統(tǒng)計至少有

10

多家以上。具體包括：神工股份：為國內(nèi)領(lǐng)先集成電路刻蝕用單晶硅材料供應(yīng)商，主營

14-19

英寸的大尺寸高純度

集成電路刻蝕用單晶硅材料，是晶圓生產(chǎn)中刻蝕環(huán)節(jié)所使用的核心耗材。目前已向多個國際

知名硅電極制造商提供產(chǎn)品，近

9

成營收來自港澳臺及海外。同時，子公司福建精工能夠把

大直徑單晶硅材料加工成刻蝕機用硅零部件（硅上電極、硅托環(huán)等），目前已批量生產(chǎn)，獲

得或通過多家

8

英寸、12

英寸集成電路生產(chǎn)商的評估機會。公司還積極布局大尺寸硅片領(lǐng)

域，3

大業(yè)務(wù)的協(xié)同效應(yīng)使公司獲得更加扎實的成長確定性。萬業(yè)企業(yè)：通過聯(lián)合收購新加坡

CompartSystem，布局半導(dǎo)體零部件業(yè)務(wù)。CompartSystem主

營業(yè)務(wù)包括

BTP組件、裝配件、密封件、氣棒總成、MFC質(zhì)量流量控制器、焊接件，核心

客戶包括

UCT、ICHOR等，終端客戶包括應(yīng)用材料和泛林半導(dǎo)體等。英杰電氣：公司主要產(chǎn)品包括功率控制電源、特種電源等。半導(dǎo)體客戶方面，主要供應(yīng)設(shè)備

用功率控制器、射頻電源等，配套

MOCVD、藍寶石爐、碳化硅設(shè)備等。新萊應(yīng)材：公司半導(dǎo)體產(chǎn)品面向國內(nèi)外眾多客戶，包括國外的美商應(yīng)材、LAM、國內(nèi)的北方

華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體、長江存儲、合肥長鑫、無錫海力士、中芯國際、正帆科技、至純科技、

亞翔集成、等知名客戶。當前公司半導(dǎo)體真空系統(tǒng)產(chǎn)品面的客戶較多，未來氣體系統(tǒng)將是公

司重點攻克的方向，并于

2019

年底發(fā)行可轉(zhuǎn)債募資

2.8

億元加大投入半導(dǎo)體氣體系統(tǒng)。靖江先鋒：公司成立于

2008

年，專注于精密金屬零部件生產(chǎn)制造，具有數(shù)控加工中心為主體

的精密加工，和針對鋁、不銹鋼等金屬材料表處理能力。晶盛機電：在半導(dǎo)體關(guān)鍵輔材耗材方面，公司建立了以高純石英坩堝、拋光液及半導(dǎo)體閥

門、管件、磁流體、精密零部件為主的產(chǎn)品體系，建立了國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備精密加工制

造基地，半導(dǎo)體輔材耗材業(yè)務(wù)取得快速增長。公司半導(dǎo)體石英坩堝在研發(fā)和市場開拓方面取

得積極進展，已向客戶批量銷售

32

英寸合成坩堝，并研發(fā)了

36

英寸石英坩堝。目前公司

的半導(dǎo)體石英坩堝在大陸及中國臺灣市場份額增長較快，并爭取向海外其他市場開拓業(yè)務(wù)。江豐電子：

公司半導(dǎo)體零部件主要布局

PVD機臺用

ClampRing、Collimator，CVD、etching機臺

用

faceplate、showerhead等，化學(xué)機械研磨機臺用金剛石研磨片、RetainingRing等。半導(dǎo)體零部件投資策略半導(dǎo)體核心零部件加速發(fā)展，進入投資