特殊氣體管路施工規(guī)范課件_第1頁(yè)
特殊氣體管路施工規(guī)范課件_第2頁(yè)
特殊氣體管路施工規(guī)范課件_第3頁(yè)
特殊氣體管路施工規(guī)范課件_第4頁(yè)
特殊氣體管路施工規(guī)范課件_第5頁(yè)
已閱讀5頁(yè),還剩79頁(yè)未讀 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶(hù)提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

特殊氣體管路暨高潔淨(jìng)度管路

施工規(guī)範(fàn)1特殊氣體管路暨高潔淨(jìng)度管路

施工規(guī)範(fàn)1目錄

1、無(wú)塵室作業(yè)安全規(guī)範(fàn)………………P32、pipinginstallation管路架設(shè)…………P83、彎管作業(yè)規(guī)範(fàn)………P174、熔接規(guī)範(fàn)……………P245、測(cè)試規(guī)範(fàn)……………P286、工安規(guī)範(fàn)……………P367、監(jiān)工人員工地監(jiān)工準(zhǔn)則……………P392目錄1、無(wú)塵室作業(yè)安全規(guī)範(fàn)……無(wú)

業(yè)

規(guī)

範(fàn)

1、一般清潔區(qū)工作條件(廠務(wù)機(jī)房)(1)進(jìn)入工作區(qū)前,鞋子必須清理乾淨(jìng)。(2)最好每天擦拭有類(lèi)似金屬碎屑等東西的地方。(3)有規(guī)則的存放材料。(4)禁止於工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。(5)所有工作區(qū)必須有垃圾筒,收集廢料等東西。(6)材料人員進(jìn)出必須清潔一次。(7)所有人員及設(shè)備每週必須清潔一次。(8)產(chǎn)生污染的工作必須個(gè)隔離。(噴漆、磨砂輪機(jī)等)2、非常乾淨(jìng)區(qū)工作條件(潔淨(jìng)室地下回風(fēng)區(qū))(1)必須換穿專(zhuān)用的鞋子或鞋套。(2)使用真空吸塵器清除髒東西。(3)有規(guī)則的存放材料。3無(wú)塵室作業(yè)安全規(guī)範(fàn)3(4)禁止於工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。(5)所有使用過(guò)的材料、殘餘剩料等必須每日清除。(6)所有工作區(qū)內(nèi)必須有密封式垃圾筒,收集廢料等東西。(7)材料人員進(jìn)出必須管制。(8)所有人員及設(shè)備每週必須清潔一次。(9)產(chǎn)生污染的工作必須隔離(如噴漆、磨砂輪機(jī)等)。(10)進(jìn)出工作區(qū)內(nèi)的全部材料必須清理乾淨(jìng),才可進(jìn)入。(11)所有工作區(qū)必須換穿乾淨(jìng)工作服。(12)工作區(qū)的管線設(shè)備禁止勾攀、踐踏、吊掛東西。3、絕對(duì)乾淨(jìng)區(qū)工作條件(潔淨(jìng)室生產(chǎn)區(qū))(1)必須換穿無(wú)塵專(zhuān)用的鞋子或鞋套。(2)使用中央系統(tǒng)真空或特別過(guò)濾裝置的手提真空吸塵器清除作業(yè)時(shí)產(chǎn)生的

金屬等粉屑。(3)有規(guī)則的存放使用材料。(4)禁止於工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。(5)所有使用過(guò)的材料、殘餘剩料等必須每日清除。4(4)禁止於工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。4(6)所工作區(qū)內(nèi)須有密封式垃圾筒,收集廢料東西。(7)材料人員進(jìn)出必須管制。(8)所有工作人員及業(yè)主人員每日必須清潔乾淨(jìng)。(9)產(chǎn)生污染的工作必須於進(jìn)入無(wú)塵室前完成。(10)進(jìn)入工作區(qū)內(nèi)的全部材料和工具必須用水清洗乾淨(jìng),才可進(jìn)入。(11)除入無(wú)塵室應(yīng)換穿無(wú)塵依及尼龍手套外,餘均應(yīng)穿著乾淨(jìng)之工作服。(12)禁止木質(zhì)或瓦愣紙材料所做的紙箱進(jìn)入無(wú)塵室。(13)禁止觸碰任何液體和你不知道的任何器物。(14)含有油品的工具禁止攜入。4、清淨(jìng)室施工安全規(guī)則(1)指定專(zhuān)人辦理安全事宜。(2)勿雇用童工。(3)工作區(qū)域內(nèi)禁止抽煙。(4)必須準(zhǔn)備安全眼鏡。(5)在清潔室須戴安全帽,特別是有震動(dòng)時(shí)。(6)任何時(shí)間內(nèi),均不得堵塞通道及出入口。

5(6)所工作區(qū)內(nèi)須有密封式垃圾筒,收集廢料東西。5(7)在工作區(qū)域工作,必須保持乾淨(jìng);如有產(chǎn)生垃圾,必須隨時(shí)準(zhǔn)備垃圾

袋,於每日收工時(shí)攜出清淨(jìng)室。(8)如有意外發(fā)生,須立刻告知監(jiān)工。(9)特殊危險(xiǎn)工作區(qū),須有安全圍籬及警告標(biāo)誌。(10)地板開(kāi)口處,須有安全圍籬及警告標(biāo)誌,以防止人員掉入。(11)須備有滅火器以防火災(zāi)。(12)滅火器僅可使用泡沫滅火器,不可使用乾粉滅火器。(13)工作架在超出地面2M以上時(shí),須使用鷹架,人員須繫安全帶(索)。(14)鷹架、樓梯及工具,須保持良好狀況。(15)在超出地面2M以上時(shí),工具須放置工具袋(箱)內(nèi)。(16)同時(shí)有兩組人員在不同高度工作時(shí),須有良好之連繫。(17)在工作區(qū)域工作,必須保持乾淨(jìng);如有產(chǎn)生垃圾,必須隨時(shí)準(zhǔn)備垃圾

袋,於每日收工時(shí)攜出清淨(jìng)室。(18)如有意外發(fā)生,須立刻告知監(jiān)工。(19)特殊危險(xiǎn)工作區(qū),須有安全圍籬及警告標(biāo)誌。(20)地板開(kāi)口處,須有安全圍籬及警告標(biāo)誌,以防止人員掉入。6(7)在工作區(qū)域工作,必須保持乾淨(jìng);如有產(chǎn)生垃圾,必須隨(21)須備有滅火器以防火災(zāi)。(22)滅火器僅可使用泡沫滅火器,不可使用乾粉滅火器。(23)工作架在超出地面2M以上時(shí),須使用鷹架,人員須繫安全帶(索)。(24)鷹架、樓梯及工具,須保持良好狀況。(25)在超出地面2M以上時(shí),工具須放置工具袋(箱)內(nèi)。(26)同時(shí)有兩組人員在不同高度工作時(shí),須有良好之連繫。(27)易燃物品如無(wú)人照料,不可置放於工作區(qū)域內(nèi)。(28)化學(xué)物品如有洩漏,必須馬上處理。(29)易燃物品須放置於有蓋容器內(nèi)。(30)任何閥、開(kāi)關(guān)插座、電源插座,不可隨意開(kāi)、關(guān)、拔除(機(jī)臺(tái)管線)。(31)任何配管配線、材料,非經(jīng)過(guò)監(jiān)工人員同意,不可擅自任意更改。7(21)須備有滅火器以防火災(zāi)。7Pipinginstallation管路架設(shè)

在無(wú)塵室或簡(jiǎn)易潔淨(jìng)室執(zhí)行高潔淨(jìng)度配管工作時(shí),必須遵循下列的規(guī)定。1、現(xiàn)場(chǎng)工作規(guī)定

※攜入

材料必須置於特定的貯藏間,在工地現(xiàn)場(chǎng)或在材料間要提供暫時(shí)性的簡(jiǎn)易潔淨(jìng)室,所有材料要存放整齊。在存放材料時(shí),有電子拋光的管件必須和未經(jīng)電子拋光的管件分開(kāi)。在尚未使用管件之前都不要將塑膠封套打開(kāi)直到現(xiàn)埸要使用時(shí)方可打開(kāi),並且不要將材料直接放在地上。

※切管

切管時(shí),使用的自動(dòng)切割機(jī)或手動(dòng)切管器必須是專(zhuān)門(mén)為半導(dǎo)體廠工作所設(shè)計(jì)的。切管器的刀片與管件成垂直方向,當(dāng)使用自動(dòng)切割機(jī)時(shí),放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一層未切斷,藉以防止切割時(shí)的碎屑進(jìn)入管內(nèi)。

8Pipinginstallation管路架設(shè)在無(wú)塵室※倒角

原則上,在使用倒角機(jī)(TUBESIZE用)或銼刀(PIPESIZE用)時(shí),小心地移開(kāi)切割面。如果切割面歪斜未成垂直,焊口鬆或管子彎曲等狀況發(fā)生時(shí),這種管路是不合規(guī)定,必須重新切割及配置。當(dāng)?shù)菇菚r(shí),在管的另一端必須用高潔淨(jìng)度的氮?dú)鉀_吹(氮?dú)庖?jīng)0.02um的過(guò)濾器過(guò)濾)。

※N2沖吹

將管內(nèi)的微粒沖吹出來(lái)。

※工作後的清潔

檢視切割機(jī)的潔淨(jìng)度,保持機(jī)具不受油污,如果仍然看得見(jiàn)有油污或切割的碎屑?xì)堭N,按照下列的方法清潔之。用GN2沖吹使用的N2必須經(jīng)-80℃或更低的露點(diǎn),經(jīng)0.02um的過(guò)濾器乾燥。

※預(yù)製工作(在簡(jiǎn)易潔淨(jìng)室cleanbooth)

在現(xiàn)場(chǎng)的焊接工作降至最低量是必需的。配管區(qū)必須在有潔淨(jìng)氣的地方,在工作時(shí)維持風(fēng)扇正常運(yùn)轉(zhuǎn),於早、中、晚用CO2檢視器檢查CO2的濃度。9※倒角9

◆點(diǎn)焊

點(diǎn)焊使用TIG焊接,點(diǎn)焊的點(diǎn)數(shù)按照下列規(guī)定。

(CAJON的焊機(jī)必需保証管子確實(shí)牢固,從完成的觀點(diǎn)來(lái)看,最好不要使用

手動(dòng)的TIG焊接,因此點(diǎn)焊被省略)。

3/4”到15A到80A:3~4點(diǎn)。

◆沖吹氣體(Backsealgas)

使用氬氣,露點(diǎn)-80℃或更低,氧含量在0.1ppm以下,微粒(0.1um以上)含量

為零。◆沖吹用管套

連接沖吹氣體管路與架設(shè)管路,使用(Backsealjig)

如圖(一)所示圖(一)(參考用)

10◆點(diǎn)焊圖(一)(參考用)10◆架設(shè)程序(圖二)

將工作管路兩端套上管套,連接沖吹氣體及閥。圖(二)11◆架設(shè)程序(圖二)圖(二)11

◆裝封(在Cleanbooth內(nèi)進(jìn)行)

完成焊接之後,在管內(nèi)充滿(mǎn)Ar氣,而且用無(wú)塵的塑膠紙?jiān)谀┒税鼉蓪印?/p>

如果末端的閥已經(jīng)連接好了,把閥也用塑膠紙裹起來(lái)。2、現(xiàn)場(chǎng)施工

現(xiàn)埸焊接的人員必須有受過(guò)高潔淨(jìng)度配管技術(shù)檢定通過(guò)。

焊接工作12◆裝封(在Cleanbooth內(nèi)進(jìn)行)12Ⅰ原封至現(xiàn)埸。Ⅱ先拆卸一端封套,並連接Backsealgas。Ⅲ拆卸要焊接端封套,並沖吹乾淨(jìng)。Ⅳ連接後將一端之Backsealgas拆掉使成出氣端,並開(kāi)始焊接。

◆管路維持條件

即使焊接結(jié)束,也要維持小量的N2或Ar在管內(nèi)沖吹以防止空氣流入管內(nèi)。

無(wú)論如何也要想辦法把管內(nèi)的空氣及微粒弄出來(lái),如果無(wú)法繼續(xù)沖吹。

※焊機(jī)電源

供給電源的電壓的變動(dòng),對(duì)於管路焊接的品質(zhì)影響甚巨。使用自動(dòng)焊接機(jī)的電源必需使用特定的整流器。容許的電壓波動(dòng)AC100V±10%,AC200V±10%,在焊接進(jìn)行時(shí)電壓警報(bào)器一直監(jiān)視著電壓,如果電壓超過(guò)可容許的範(fàn)圍時(shí),警報(bào)器就會(huì)發(fā)出聲音。3、其他注意事項(xiàng)

下述的工作是在架設(shè)高潔淨(jìng)度的管路時(shí)必需要執(zhí)行的。13Ⅰ原封至現(xiàn)埸。13

※控制氬氣沖吹◆用壓力計(jì)或液位計(jì)察看尚餘有多少氬氣。

◆看流量計(jì)的刻度檢查沖吹氣體的容量?!羰褂脪?cǎi)樣品閥從鋼瓶或氣體來(lái)源收集氬氣,測(cè)量氬氣純度確定露點(diǎn)是在

-80℃以下,殘餘氧氣低於0.1ppm,微粒含量為0(0.1um以上的微粒)。

◆在工作處測(cè)量架設(shè)管路末端的氬氣純度,確定露點(diǎn)在-70℃以下殘餘氧氣

低於2ppm,測(cè)量地點(diǎn)必須在監(jiān)工及焊接都同意的地方。

◆前4項(xiàng)規(guī)定的工作前在每天開(kāi)始工作由監(jiān)工或工作人員執(zhí)行以控制品質(zhì)符

合要求。

◆若氣體容量未達(dá)標(biāo)準(zhǔn),通知監(jiān)工,暫停工作,但是沖吹必須持續(xù)進(jìn)行,

或使用預(yù)留的LN2,當(dāng)要使用預(yù)留LN2時(shí),必定要做分析供給氣體純度的

工作。

※簡(jiǎn)易潔淨(jìng)室(Cleanbooth)的潔淨(jìng)度的控制

◆在Cleanbooth內(nèi)測(cè)量焊接處的微粒數(shù)量(0.1um以上)不能超過(guò)100個(gè)/c.f,

class10000是用作貯藏用,class1000是組裝用。

◆在正常使用中測(cè)量微粒的工作一天至少進(jìn)行1次。14※控制氬氣沖吹14※潔淨(jìng)衣物的管制◆在Cleanbooth內(nèi)使用的潔淨(jìng)衣、潔淨(jìng)鞋、潔淨(jìng)手套及其他設(shè)備必需在使

用前檢查其潔淨(jìng)度?!羰褂玫臐崪Q(jìng)衣物等,必需一個(gè)星期清洗一次,不論有否弄髒。

※潔淨(jìng)室

依據(jù)潔淨(jìng)室人員管制規(guī)定的管制細(xì)則,所有的工作人員皆需致力於工作在一個(gè)高潔淨(jìng)空氣環(huán)境中。

※焊接狀況的檢查(由個(gè)人或監(jiān)工)

當(dāng)自動(dòng)焊接機(jī)的工作條件改變時(shí),必須確定焊接數(shù)據(jù)與工作條件一致。

※鎢棒的保養(yǎng)及管制◆要時(shí)時(shí)注意鎢棒是否變形?!裟ユu棒的工作必須是由監(jiān)工認(rèn)可之專(zhuān)業(yè)人員使用特定的設(shè)備來(lái)執(zhí)行?!鶚悠费u作及焊接條件的檢查(焊接者或監(jiān)工)◆每日早上在上工前要製作數(shù)個(gè)同樣大小的樣品?!舯O(jiān)工切開(kāi)樣品,檢查管內(nèi)部焊接情況,用目視確定焊接的地方?jīng)]有不規(guī)

則的孔、裂縫、氣孔或沒(méi)有完全焊透等缺點(diǎn)存在。15※潔淨(jìng)衣物的管制15◆若有焊接缺陷發(fā)現(xiàn)時(shí),檢查焊接條件、更換鎢棒、檢查沖吹氣體純度、

品質(zhì)及沖吹的方法,直到結(jié)果令人滿(mǎn)意,方可進(jìn)行配管工作?!魳悠芳昂附訑?shù)據(jù)必須同時(shí)保存。4、要求

※機(jī)器攜入及架設(shè)◆從側(cè)邊帶入機(jī)器要在事先申請(qǐng)同意路線,並且使用的拖車(chē)放在特定的地

方?!粼谒嗟匕迳鲜褂描F錨類(lèi)之固定機(jī)器?!艚?jīng)縱、橫的方向確定無(wú)誤後,固定機(jī)器?!魴C(jī)器必須在地板的防塵油漆塗上之前裝上?!苈窐?biāo)記◆至少每5M要有標(biāo)簽貼在管路上,標(biāo)明氣體名稱(chēng)流向號(hào)碼

※開(kāi)/關(guān)顯示

除了球閥外,所有的閥都要有開(kāi)/關(guān)的標(biāo)示。16◆若有焊接缺陷發(fā)現(xiàn)時(shí),檢查焊接條件、更換鎢棒、檢查沖吹彎管

業(yè)

規(guī)

範(fàn)1、說(shuō)明

本項(xiàng)說(shuō)明GasSystem作成時(shí),如何使用手工具PIPEBENDER來(lái)進(jìn)行彎曲作業(yè)。主要對(duì)象

SUS316BA管,外徑1/4”

(6.53φ)使用工具R1NO.394LEVER型TUBEBENDER。2、.配管圖看法與管長(zhǎng)之決定

配管圖尺寸是表示配管中心之尺寸或中心配管末端之長(zhǎng)之謂。17彎管作業(yè)規(guī)範(fàn)1、說(shuō)明17通常在配管分岐點(diǎn)實(shí)施熔接很多,茲以下圖表示之。至中心點(diǎn)之長(zhǎng)度約+3mm(1/4”O(jiān)D)(則3.15mm-------3mm)約+5mm(3/8”O(jiān)D)18通常在配管分岐點(diǎn)實(shí)施熔接很多,茲以下圖表示之。至中心點(diǎn)之長(zhǎng)

使用TUBEBENDER來(lái)加以彎曲之中心點(diǎn)大約彎曲15R與直角彎曲比較,配管全長(zhǎng)變短,亦即圖面上所配尺寸相加長(zhǎng)度比實(shí)際配管長(zhǎng)度長(zhǎng)。19使用TUBEBENDER來(lái)加以彎曲之中心點(diǎn)大約彎曲180度彎曲(R彎曲),每一彎曲,其SETBACK為14.6mm其計(jì)算如下:管長(zhǎng)=(50+30+90+120)-14.6-6.4=269mm[1/4”O(jiān)D]又3/8”時(shí)R彎曲SetBack為23.6mm依上圖原理可得(50+30+90+120)-23.6-10.5=255.9mm[3/8”O(jiān)D]20180度彎曲(R彎曲),每一彎曲,其SETBACK為14.0~75度範(fàn)圍角度彎苗,其SetBack為0例如:其管長(zhǎng)=(50+53.94+40)-6.4=137.5其長(zhǎng)度差即所謂SetBack,在1/4”O(jiān)D配管,每一彎曲可短小6.4mm(6.35mm)下面有1/4”、3/8”各種埸合之SetBack之表。彎曲次數(shù)SetBack1/4”3/8”1/8”16.4mm10.5mm6.0mm212.721.012319.131.518425.442.024531.863.030638.163.036744.573.542850.884.048210~75度範(fàn)圍角度彎苗,其SetBack為0其管長(zhǎng)=(50例:必要管長(zhǎng)=(50+70+80)-12.7=187.33mm2次彎曲SetBack

因此準(zhǔn)備187.3mm長(zhǎng)度配管就可進(jìn)入作業(yè)。3、配管切割

配管切割使用TubeCutter(PipeCutter)工具RIDGIDNO.105,配管開(kāi)始切割時(shí),必須前後旋轉(zhuǎn)3~4次半周,使配管軸部方向不致造成直角,溝才開(kāi)始進(jìn)行。配管之切斷處,事先用紅筆做記號(hào)。切割深度一次切割過(guò)深會(huì)使切口未能成立真圓,慢慢進(jìn)行,而把手旋轉(zhuǎn)角度保持約30度就可。切割完畢,管內(nèi)面產(chǎn)生突屑會(huì)致使內(nèi)徑縮小,須用銑面Cutter清除。最後用銑面Cutter將突屑、粉屑清除。4、配管彎曲作業(yè)應(yīng)注意之原則

配管開(kāi)始彎曲作業(yè)應(yīng)注意原則※比較圖面上兩端、由短方面先開(kāi)始彎曲,將較短尺寸配管上作記號(hào)、此部

份應(yīng)放在Bender左側(cè)Set之?!鶗r(shí)時(shí)檢查Bender之狀態(tài)是否會(huì)造成管子受傷或變形?!鶅啥艘环綇澢?80度(R彎曲)時(shí),必須從180度彎曲方向作業(yè)。這個(gè)時(shí)候R彎

曲尺寸在配管上做記號(hào),而將此處置在Bender左側(cè)予以Set之。22例:必要管長(zhǎng)=(50+70+80)-12.7=187.5、尺寸固定(劃線器劃線方法)※從配管量尺寸用普通量尺就可,再用紅鉛筆作記號(hào)?!咽╈稄澢淮蔚呐涔?,則使用T型特別量尺,由配管中心劃線。※實(shí)施90度以?xún)?nèi)彎曲後再做第二次彎曲劃尺寸,依下列方法實(shí)行。6、熔接部份注意事項(xiàng)※使用ArgonArc分岐部份,使用專(zhuān)用冶具,並使用Bord板開(kāi)孔。※開(kāi)孔後配管內(nèi)部產(chǎn)生突起屑,粉屑用Reamer工具清除?!┬卸鄶?shù)彎曲作業(yè)其中有熔接分岐時(shí),彎曲作業(yè)中途須要有開(kāi)孔或清除

粉屑的作業(yè),因?yàn)榈鹊綇澢鳂I(yè)完成後已經(jīng)沒(méi)有方法通進(jìn)開(kāi)孔或清除粉

屑作業(yè)之工具。235、尺寸固定(劃線器劃線方法)23熔接規(guī)範(fàn)

1、電源(1)使用Tester確認(rèn)電壓(2)使用220V的場(chǎng)合要確認(rèn)結(jié)線。(3)使用110V電源時(shí),為保護(hù)配線,要使用附有漏電Breaker之插座。(4)接地線要用熔接機(jī)單獨(dú)使用者。2、氬氣(1)Argongas純度達(dá)99.999以上才予使用。(2)原則上使用液化ArgonGas。(3)熔接時(shí)氧化膜無(wú)法去除時(shí)要檢查Gas及輸氣管路。3、鎢Tungsten(1)研磨時(shí)不能偏頗。(2)產(chǎn)生熔接聯(lián)珠或蛇行是鎢研偏所致,要重磨。研磨時(shí)使用研磨專(zhuān)用機(jī)。(3)Taper角度請(qǐng)參考下記圖面。24熔接規(guī)範(fàn)1、電源24

熔接產(chǎn)生Gap時(shí),用GapGauge來(lái)修正。4、同心圓之確認(rèn)(1)確認(rèn)pipe規(guī)格及材料,然後參考Data表設(shè)定之。(2)Set直管接住熔接機(jī)頭用Vis調(diào)整。(3)Set短管用同心圓打圓圈確認(rèn)之。(4)不是同心圓時(shí),先考慮是否熔接機(jī)頭之焊接頭有歪曲就要更換Head。5、熔接條件確認(rèn)(1)使用BackSealedGas,Purge30分程度,清除之流量為5l/min。(2)使用Date表確認(rèn)ArcGasSealedGas流量,並記入Data表。25熔接產(chǎn)生Gap時(shí),用GapGauge來(lái)修正。256、Test熔接(1)使用對(duì)焊熔接物做樣品熔接,製作CutSample。(2)熔接面聯(lián)結(jié)、熔接程度、氧化膜產(chǎn)生程度都須確認(rèn)。(3)確認(rèn)後,無(wú)問(wèn)題才正式進(jìn)行熔接。(4)為防止表面氧化用噴槍ArGas。7、熔接作業(yè)重要事項(xiàng)(1)防止中心點(diǎn)偏移:鎢與熔接面位置。鎢之研磨角度未出來(lái)。(2)熔接聯(lián)珠不均:切割面90度未出來(lái)。切割面有突起物。

鎢的消秏。(3).防止熔化不足:盡可能觀察熔接時(shí)之熔接內(nèi)面。(4)防止過(guò)熔低陷:利用控制內(nèi)壓之專(zhuān)用治具。(5)防止膨脹熔接作業(yè)前,再確認(rèn)熔接條件。(6)熔接技術(shù)者,熔接完了後,確認(rèn)熔接部份。266、Test熔接268、氧化膜除去作業(yè)基準(zhǔn)(1)氧化膜除去,使用StainlessBrushScotchBrush。(2)使用StainBright除去作業(yè)後,充分用純水洗淨(jìng)。(3)水洗後,用氮?dú)馇宄儆肐PA洗淨(jìng)。(4)進(jìn)行除去作業(yè)時(shí),配管末端用盲Cap套住。(5)除去作業(yè)完成後,其外部用氮?dú)馇宄龎m埃。(6)收尾工程,配管內(nèi)部用氮?dú)馇宄?。清除用氮?dú)猓ㄟ^(guò)0.05um以上,具有除去性能之Ceramic或StainlessFilter,並在8kg/cm2的氮?dú)鈮毫ο聦⒐軆?nèi)清除。278、氧化膜除去作業(yè)基準(zhǔn)27測(cè)試規(guī)範(fàn)

今依據(jù)各項(xiàng)執(zhí)行順序可分為七大部份:第一部份外觀之檢驗(yàn)。第二部份為管路的氣密試驗(yàn)。第三部份為管路流程的檢查。第四部份為HE測(cè)試。第五部份為微粒子測(cè)試、PARTICLE。第六部份為露點(diǎn)測(cè)試。第七部份含氧量測(cè)試。28測(cè)試規(guī)範(fàn)今依據(jù)各項(xiàng)執(zhí)行順序可分為七大部份:1、外觀檢驗(yàn):

半導(dǎo)體於管線組裝成後,須做管路之外觀檢驗(yàn),其檢驗(yàn)項(xiàng)目為:☆所有管線是否依設(shè)計(jì)排列施工,並予標(biāo)示氣體種類(lèi)。☆所有使用之材料是否符合規(guī)定之材料。☆管線之焊接是否有角度不正、傾斜、歪曲。☆管線是否有污物殘留。☆管線是否有凹陷、龜裂等不良缺陷。2、管路氣密試驗(yàn):

在氣密試驗(yàn)中,所採(cǎi)用測(cè)試方法均是採(cǎi)用通入高於各管路正常使用壓力的1.1倍氣體或1.5倍水的壓力於管路中,再觀察已安裝好之壓力計(jì),判斷其是否有漏氣現(xiàn)象。但有些的管路受限於二段式的壓力調(diào)節(jié)計(jì),需另安裝壓力計(jì),並由管路末端處灌壓方式。當(dāng)氣密試驗(yàn)中,任一管路有了漏氣現(xiàn)象。就必須進(jìn)行查漏步驟。一般而言,在管路的查漏均均是採(cǎi)用snoop對(duì)漏氣管路所有接點(diǎn)作泡沬測(cè)試(foamingtesting),其可偵測(cè)漏氣率約為1*10-4atmcc/sec。291、外觀檢驗(yàn):29

但是有一點(diǎn)必須注意是當(dāng)壓力計(jì)上有明顯變化時(shí)其漏氣已達(dá)1*10-4atmcc/sec的標(biāo)準(zhǔn)以上,故使用snoop查漏是相當(dāng)可靠。當(dāng)然能有更精密儀器測(cè)是最好的方式;但是精密測(cè)漏儀器使用較為不便,若對(duì)寬廣空間當(dāng)然沒(méi)有問(wèn)題,但對(duì)狹窄及較高地點(diǎn)便不能安裝,所以目前為止查漏必須有系統(tǒng)規(guī)劃執(zhí)行,否再有精密儀器也找不出漏氣處,就以GN2管路查漏為例,就可證明確實(shí)是如此。

3、壓力及氣密之檢驗(yàn)方法(1)使用0.01um過(guò)濾器過(guò)濾的氮?dú)饣驈S內(nèi)PN2系統(tǒng)做壓力測(cè)試。(2)壓力測(cè)試時(shí)所需壓力大小及加壓時(shí)間,設(shè)計(jì)值如附表所示。

測(cè)試項(xiàng)目規(guī)定氣體測(cè)試壓力測(cè)試時(shí)間氣體測(cè)試N210kg/cm2(或依業(yè)主規(guī)定)30分鐘(3)管路充入規(guī)定的壓力氣體後,檢查所有被聯(lián)接和焊接的部份,並用試漏

液做探漏,維持管內(nèi)充有壓力並做記錄。(4)記錄任何被發(fā)現(xiàn)的異常點(diǎn)。(5)記錄使用中的壓力錶讀得有關(guān)資料。(6)從完成壓力測(cè)試開(kāi)始做氣密測(cè)試,設(shè)計(jì)值、時(shí)間如附表30但是有一點(diǎn)必須注意是當(dāng)壓力計(jì)上有明顯變化時(shí)其漏氣已達(dá)1*測(cè)試項(xiàng)目規(guī)定氣體測(cè)試壓力測(cè)試時(shí)間氣體測(cè)試N28kg/cm2(或依業(yè)主規(guī)定)24小時(shí)(7)做次測(cè)試時(shí),首先計(jì)值充入管線中以10分鐘或更久些,然後才開(kāi)始做記錄,

以避免產(chǎn)生誤差。(8)做氣密記錄測(cè)試時(shí),必須使用讀出型壓力計(jì)做資料記錄。在規(guī)定的壓力

和規(guī)定的保持時(shí)間後,管線上的壓力沒(méi)有顯示下降,亦即從試壓開(kāi)始測(cè)試

的壓力和完成測(cè)試時(shí)的室溫亦不同時(shí),無(wú)論如,必須使下列式子做溫度係

數(shù)的校正,來(lái)決定測(cè)試完成時(shí),壓力錶所獲得之?dāng)?shù)值能保持在開(kāi)始時(shí)所記

錄的98%以上,則此測(cè)試值被認(rèn)可為通過(guò)測(cè)試。(9)未接受試壓部份,如安全閥、控制閥、壓力計(jì)等,均應(yīng)接受氣密試驗(yàn)。氣密試驗(yàn)的壓力以不超過(guò)該組件的最大許可操作壓為限。31測(cè)試項(xiàng)目規(guī)定氣體測(cè)試壓力測(cè)試時(shí)間氣體測(cè)試N28kg/cm2(4、氣體管路流程檢查

此項(xiàng)目之測(cè)試依下列步驟為之:(1)將所有氣體管路的末端閥打開(kāi)。(2)列出(各種特殊氣體管路應(yīng)到遠(yuǎn)的末端閥的歸納表)關(guān)閉所試特殊氣體

管路的末端閥。(3)由所欲測(cè)特殊氣體以N2充壓該管路至一定壓力,並觀察五分鐘,視壓力

計(jì)是否有下降現(xiàn)象。(4)若壓力計(jì)無(wú)下降,即代表管路無(wú)錯(cuò)接現(xiàn)象。若無(wú)下降現(xiàn)象打開(kāi)欲測(cè)特

氣體管路末端閥,判斷壓力計(jì)是否會(huì)下降至零,若降至零代表壓力計(jì)無(wú)

問(wèn)題。5、測(cè)漏檢驗(yàn)(1)特殊氣體配管,管做完上述測(cè)試後將管路抽真空,以HE氣做測(cè)漏率的測(cè)

試。(2)本公司使用為BALZERHLT160HELIUMLEAKDETECTOR設(shè)備。(3)本公司設(shè)備測(cè)漏率可達(dá)到-1*10-11atm.cc/sec。324、氣體管路流程檢查32(4)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)1*10-8mBarL/S<2*10-9atm.cc/secInboard或業(yè)主規(guī)定(5)本公司有支援設(shè)備相同機(jī)型的提供廠商—漢疆股份有限公司。操作說(shuō)明及注意事項(xiàng):(1)在開(kāi)機(jī)前,應(yīng)先平穩(wěn)放置不得傾斜。(2)開(kāi)機(jī)後,不得隨意移動(dòng)。(3)關(guān)機(jī)後,必須聽(tīng)到VENT氣聲或3-5分鐘後,方可移動(dòng)或重新開(kāi)機(jī)。(4)在開(kāi)機(jī)前,須確定電壓是否正確(110V/220V)(5)電壓頻率選擇於60HZ。(6)本機(jī)係屬於精密電子儀器,故必須使用有接地的插頭。33(4)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)1*10-8mBarL/S<2*10-6、微氧分析

測(cè)試程序注意事項(xiàng)選用氣體測(cè)試設(shè)備熱機(jī)清淨(jìng)管路測(cè)試結(jié)束YESNOa、使用氣體氧分純度必須50PPB以下或經(jīng)過(guò)純化器濾過(guò)氮?dú)?/p>

或同等純度之氣體。

a、微氧分析儀開(kāi)機(jī)後,必須熱機(jī)20分鐘才可銜接管路測(cè)試。a、將測(cè)試管路或盤(pán)面進(jìn)氣孔接上氣源。b、將測(cè)試管路盤(pán)面上,所有閥件全部打開(kāi)。c、使用設(shè)計(jì)壓力之氣源來(lái)Purge所要測(cè)試之管路。d、此Purge程序需維持30分鐘以上。a、氣體於接上設(shè)備前必須將銜接測(cè)試管路Purge5分鐘。b、經(jīng)過(guò)Purge的銜接測(cè)試管路,銜接上微氧分析測(cè)試儀後,打

開(kāi)微氧分析儀後,打開(kāi)微氧分析儀電源進(jìn)行測(cè)試。c、測(cè)試時(shí)依微氧分析儀測(cè)試數(shù)值的狀況,同時(shí)進(jìn)行測(cè)試與

Purge直到測(cè)試值達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值(50PPB)以下,才合格。a、需測(cè)試姞果記錄於微氧分析測(cè)試記錄表,以作日後追

溯與識(shí)別用的。346、微氧分析測(cè)試程序7、水份分析測(cè)試程序注意事項(xiàng)選用氣體清淨(jìng)管路測(cè)試結(jié)束YESNOa、使用氣體氧分純度必須50PPB以下或經(jīng)過(guò)純化器濾過(guò)

氮?dú)饣蛲燃兌戎畾怏w。a、將測(cè)試管路或盤(pán)面進(jìn)氣孔接上氣源,將測(cè)試管路或盤(pán)面

所有,所有閥件全部打開(kāi)。b、使用設(shè)計(jì)壓力氣源來(lái)Purge測(cè)試之盤(pán)面管路。c、此Purge程序需維持30分鐘以上。a、氣體管路於銜接水份分析儀SENSOR前,必須將銜接測(cè)試

管路Purge5分鐘,讓銜接測(cè)試管路內(nèi)之水份隨Purge氣體流

出。b、並聯(lián)氣體管路之出氣口至水份分析儀SENSOR樣品取樣

進(jìn)氣口。(注意:氣體管路之出氣口銜接水份分析儀

SENSOR時(shí),Purge氣體必須在流通的狀況下,且水份分析

儀必須在開(kāi)機(jī)的狀況下)c、測(cè)試時(shí)依水份分析儀測(cè)試數(shù)值的狀況,同時(shí)進(jìn)行測(cè)試與

Purge直到水份分析儀測(cè)試值達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值(10PPB)以下。a、需將測(cè)試結(jié)果記錄於水份分析測(cè)試記錄表上,以作

日後追溯與識(shí)別用。357、水份分析測(cè)試程序工安規(guī)範(fàn)

一般守則a、請(qǐng)於施工前五天向工安部申請(qǐng)施工許可。b、不可將逃指示燈及緊急照明燈取下使用。c、工作中不可穿拖鞋、高跟鞋及赤腳。d、遇停電時(shí),不得亂跑或喧嚷,應(yīng)先立於原地不動(dòng);再依規(guī)定方法離開(kāi)現(xiàn)埸。e、地上濺有油漬應(yīng)立即除去。f、電器開(kāi)關(guān)、消防設(shè)施附近不可擺放物品。g、攀爬過(guò)程中禁止踐踏管線以免管線破裂。h、工作時(shí)要配戴個(gè)人必須之安全防護(hù)具,並選擇最安全之工作方法。i、各項(xiàng)作業(yè)應(yīng)依循標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序,不可擅自更改作業(yè)程序。j、對(duì)於施工環(huán)境認(rèn)知不足或工作執(zhí)行有困難、疑問(wèn)時(shí)應(yīng)先請(qǐng)示工程監(jiān)督單位。k、施工許可/動(dòng)火許可單應(yīng)留置工作現(xiàn)場(chǎng)隨時(shí)備查。l、進(jìn)入廠區(qū)工作應(yīng)配戴工作證m、進(jìn)入無(wú)塵室內(nèi)應(yīng)依工程監(jiān)督單位穿戴潔淨(jìng)服,在FAB一樓應(yīng)穿鞋套。36工安規(guī)範(fàn)一般守則a、請(qǐng)於施工前五天向工1、吊裝作業(yè)注意事項(xiàng)a、工作區(qū)域應(yīng)標(biāo)示禁止人員通過(guò),並有專(zhuān)人在現(xiàn)場(chǎng)指揮作業(yè)。b、吊掛作業(yè)人員應(yīng)具法定合格執(zhí)照。c、作業(yè)前應(yīng)對(duì)吊索、吊鍊、吊環(huán)、吊鉤等進(jìn)行檢查,確定正常方可開(kāi)始作業(yè)。d、起吊物不得越過(guò)人員上方。e、起吊物不可超過(guò)負(fù)載。f、吊鉤應(yīng)盡量移掛於起重物重心之上。g、不可以單索吊等不穩(wěn)定方法起吊。h、起吊長(zhǎng)形物或不安定物料時(shí),應(yīng)使用導(dǎo)引索,並以安全的方法操作。2、高空作業(yè)注意事項(xiàng)a、高處作業(yè)應(yīng)使用安全帶、安全索、安全鞋、安全帽及其它必需之安全防護(hù)具。b、高處作業(yè)應(yīng)防止工具、材料落下傷人。c、不可將兩架梯連接當(dāng)長(zhǎng)梯使用。d、上下梯子應(yīng)面向梯子,以雙手扶梯。e、梯子應(yīng)避免置於入口,否則門(mén)應(yīng)加鎖。f、金屬梯不可靠近電氣設(shè)施以防止漏電。371、吊裝作業(yè)注意事項(xiàng)37g、使用架空板、鷹架及梯子應(yīng)先檢查確定安全後方可使用。h、遇有大雨等惡劣天候應(yīng)停止工作。i、施工區(qū)域應(yīng)作標(biāo)示,並注意地面行人安全。

3、動(dòng)火作業(yè)注意事項(xiàng)a、需於施工前三天向工安部申請(qǐng)動(dòng)火許可。b、應(yīng)於施工現(xiàn)場(chǎng)備妥滅火器方可正式動(dòng)火。c、搬運(yùn)電焊機(jī)應(yīng)切斷電源。d、在高處電焊時(shí)應(yīng)設(shè)置防制他人從下方通過(guò)。e、不得在易燃易爆物附進(jìn)近從事電焊作業(yè)。f、在潮濕地點(diǎn)從事電焊作業(yè)時(shí),應(yīng)穿著絕緣良好之安全鞋。g、應(yīng)穿著防護(hù)衣、手套及護(hù)目鏡。h、搬運(yùn)氣體鋼瓶應(yīng)將瓶閥關(guān)閉,並用鐵鍊條繫牢,嚴(yán)禁棄置地面。i、按照正常程操作,防止回火現(xiàn)象。j、所有動(dòng)火作須已具廠商動(dòng)火作業(yè)令核可後始可施工。k、電焊機(jī)應(yīng)接地,但不得搭接在機(jī)械設(shè)備、欄桿或鐵梯上。

l、嚴(yán)禁在高壓氣體容器上打火。m、電焊作業(yè)應(yīng)遠(yuǎn)離高壓設(shè)備。

38g、使用架空板、鷹架及梯子應(yīng)先檢查確定安全後方可使用。38監(jiān)工人員工地監(jiān)工準(zhǔn)則

監(jiān)工人員主要工作-監(jiān)督、協(xié)調(diào)與配合以期〝確實(shí)掌握進(jìn)度〞及〝確保工程品質(zhì)〞。1、準(zhǔn)備工作:(1)提出購(gòu)料、進(jìn)料之進(jìn)度表(2)準(zhǔn)備進(jìn)場(chǎng)人力物力之協(xié)調(diào)造冊(cè)送業(yè)主審核(3)協(xié)調(diào)施工場(chǎng)地存放材料與材料管理2、對(duì)工程施工及負(fù)責(zé)範(fàn)圍內(nèi)容應(yīng)非常瞭解:

合約內(nèi)容包括:a)、施工圖面(施工詳圖及流程圖)

b)、施工說(shuō)明書(shū)

c)、機(jī)器設(shè)備材料規(guī)格3、提出週、月報(bào)表進(jìn)度表:(1)依業(yè)主MOVEIN設(shè)備進(jìn)度安排工程進(jìn)度表(2)工程進(jìn)度掌控,工程進(jìn)度執(zhí)行(3)每日審核工程進(jìn)度,評(píng)估工程進(jìn)度,回報(bào)工地安全報(bào)告39監(jiān)工人員工地監(jiān)工準(zhǔn)則監(jiān)工人員主要工作-監(jiān)督、協(xié)調(diào)與4、對(duì)各設(shè)備氣體管路配管規(guī)範(fàn):(1)充份了解工程現(xiàn)場(chǎng)及每一設(shè)備工程進(jìn)度(2)對(duì)設(shè)備完成真空管路配管向業(yè)主提出完工報(bào)告(3)同本公司相同承包貴公司其它工程廠商及公司,協(xié)調(diào)工程會(huì)議,材料管

理,現(xiàn)場(chǎng)勘察,執(zhí)行工作(4)對(duì)施工技術(shù)、用料、施工人員監(jiān)督工作5、施工時(shí)要求事項(xiàng):(1)施工時(shí)絕對(duì)禁止用手或物品觸碰過(guò)濾網(wǎng)及其支架,並應(yīng)避免站於機(jī)臺(tái)上

施工。(2)施工時(shí)搬運(yùn)長(zhǎng)物品時(shí)(例如管子)需留意四方,尤需注意不可誤傷人員及

設(shè)施,應(yīng)有至少二人同時(shí)搬運(yùn),以防意外發(fā)生或萬(wàn)一意外發(fā)生時(shí)可相互

支援。(3)如需於C/R(以下C/R代表潔淨(jìng)室),鉆孔、磨平、切割等,易產(chǎn)生污染之

動(dòng)作,必須於高架地板下舖膠布收集,並於施工處用C/R專(zhuān)用吸塵器邊

施工邊收集殘屑,如可攜出C/R施工時(shí),應(yīng)儘可能先行量好尺寸至C/R外

施工。404、對(duì)各設(shè)備氣體管路配管規(guī)範(fàn):40(4)架設(shè)SUPPORT來(lái)支撐管路,以進(jìn)行焊接,並可避免管材置放地板即產(chǎn)

生之污染。

(5)施工時(shí)機(jī)臺(tái)負(fù)責(zé)人需留於現(xiàn)場(chǎng),施工承商必須依照同業(yè)主認(rèn)可圖面施

工,如需作修改,需取得各負(fù)責(zé)人之允許。(6)各機(jī)臺(tái)負(fù)責(zé)人必須正確指引承商設(shè)備位置及泵位置。(7)真空管路進(jìn)出之RC樓板,負(fù)責(zé)人須先查看現(xiàn)場(chǎng),事先協(xié)調(diào)鉆孔,以利

施工。(8)各項(xiàng)工程完工後,須將洞用矽膠封住。(9)施工時(shí)切勿任意破壞C/R之結(jié)構(gòu),物品設(shè)施。(10)於RAP施工時(shí),要求同於C/R。

6、施工品質(zhì)管制(1)施工人員於領(lǐng)料時(shí),必須先確認(rèn)各項(xiàng)材料之廠牌與等級(jí)必須符合規(guī)範(fàn)所

訂。(2)嚴(yán)格要求施工人員依施工規(guī)範(fàn)施工。(3)施工完成,工地經(jīng)理先依附件表三之表格進(jìn)行品質(zhì)管制,不合格者立即

改善,合格者則請(qǐng)業(yè)主共同會(huì)驗(yàn)簽收。

41(4)架設(shè)SUPPORT來(lái)支撐管路,以進(jìn)行焊接,並可避免管施工品質(zhì)管制之具體作法如下:(1)依業(yè)主之施工規(guī)範(fàn)對(duì)現(xiàn)場(chǎng)施工人員做施工前之講解與訓(xùn)練。(2)舉凡有安全與品質(zhì)考量之施工必須由具有檢覆合格執(zhí)照之人員且經(jīng)業(yè)主確

認(rèn)者才能施工。(3)現(xiàn)場(chǎng)之施工一律遵照施工規(guī)範(fàn)規(guī)定執(zhí)行。(4)任何材料與設(shè)備之規(guī)格和廠牌之選定一律按施工規(guī)範(fàn)所定送請(qǐng)業(yè)主審查。(5)施工完成後依規(guī)定進(jìn)行管路之試壓試漏及氣體管路之不純物含量測(cè)試,以

確認(rèn)施工之品質(zhì)無(wú)誤。42施工品質(zhì)管制之具體作法如下:42特殊氣體管路暨高潔淨(jìng)度管路

施工規(guī)範(fàn)43特殊氣體管路暨高潔淨(jìng)度管路

施工規(guī)範(fàn)1目錄

1、無(wú)塵室作業(yè)安全規(guī)範(fàn)………………P32、pipinginstallation管路架設(shè)…………P83、彎管作業(yè)規(guī)範(fàn)………P174、熔接規(guī)範(fàn)……………P245、測(cè)試規(guī)範(fàn)……………P286、工安規(guī)範(fàn)……………P367、監(jiān)工人員工地監(jiān)工準(zhǔn)則……………P3944目錄1、無(wú)塵室作業(yè)安全規(guī)範(fàn)……無(wú)

業(yè)

規(guī)

範(fàn)

1、一般清潔區(qū)工作條件(廠務(wù)機(jī)房)(1)進(jìn)入工作區(qū)前,鞋子必須清理乾淨(jìng)。(2)最好每天擦拭有類(lèi)似金屬碎屑等東西的地方。(3)有規(guī)則的存放材料。(4)禁止於工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。(5)所有工作區(qū)必須有垃圾筒,收集廢料等東西。(6)材料人員進(jìn)出必須清潔一次。(7)所有人員及設(shè)備每週必須清潔一次。(8)產(chǎn)生污染的工作必須個(gè)隔離。(噴漆、磨砂輪機(jī)等)2、非常乾淨(jìng)區(qū)工作條件(潔淨(jìng)室地下回風(fēng)區(qū))(1)必須換穿專(zhuān)用的鞋子或鞋套。(2)使用真空吸塵器清除髒東西。(3)有規(guī)則的存放材料。45無(wú)塵室作業(yè)安全規(guī)範(fàn)3(4)禁止於工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。(5)所有使用過(guò)的材料、殘餘剩料等必須每日清除。(6)所有工作區(qū)內(nèi)必須有密封式垃圾筒,收集廢料等東西。(7)材料人員進(jìn)出必須管制。(8)所有人員及設(shè)備每週必須清潔一次。(9)產(chǎn)生污染的工作必須隔離(如噴漆、磨砂輪機(jī)等)。(10)進(jìn)出工作區(qū)內(nèi)的全部材料必須清理乾淨(jìng),才可進(jìn)入。(11)所有工作區(qū)必須換穿乾淨(jìng)工作服。(12)工作區(qū)的管線設(shè)備禁止勾攀、踐踏、吊掛東西。3、絕對(duì)乾淨(jìng)區(qū)工作條件(潔淨(jìng)室生產(chǎn)區(qū))(1)必須換穿無(wú)塵專(zhuān)用的鞋子或鞋套。(2)使用中央系統(tǒng)真空或特別過(guò)濾裝置的手提真空吸塵器清除作業(yè)時(shí)產(chǎn)生的

金屬等粉屑。(3)有規(guī)則的存放使用材料。(4)禁止於工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。(5)所有使用過(guò)的材料、殘餘剩料等必須每日清除。46(4)禁止於工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。4(6)所工作區(qū)內(nèi)須有密封式垃圾筒,收集廢料東西。(7)材料人員進(jìn)出必須管制。(8)所有工作人員及業(yè)主人員每日必須清潔乾淨(jìng)。(9)產(chǎn)生污染的工作必須於進(jìn)入無(wú)塵室前完成。(10)進(jìn)入工作區(qū)內(nèi)的全部材料和工具必須用水清洗乾淨(jìng),才可進(jìn)入。(11)除入無(wú)塵室應(yīng)換穿無(wú)塵依及尼龍手套外,餘均應(yīng)穿著乾淨(jìng)之工作服。(12)禁止木質(zhì)或瓦愣紙材料所做的紙箱進(jìn)入無(wú)塵室。(13)禁止觸碰任何液體和你不知道的任何器物。(14)含有油品的工具禁止攜入。4、清淨(jìng)室施工安全規(guī)則(1)指定專(zhuān)人辦理安全事宜。(2)勿雇用童工。(3)工作區(qū)域內(nèi)禁止抽煙。(4)必須準(zhǔn)備安全眼鏡。(5)在清潔室須戴安全帽,特別是有震動(dòng)時(shí)。(6)任何時(shí)間內(nèi),均不得堵塞通道及出入口。

47(6)所工作區(qū)內(nèi)須有密封式垃圾筒,收集廢料東西。5(7)在工作區(qū)域工作,必須保持乾淨(jìng);如有產(chǎn)生垃圾,必須隨時(shí)準(zhǔn)備垃圾

袋,於每日收工時(shí)攜出清淨(jìng)室。(8)如有意外發(fā)生,須立刻告知監(jiān)工。(9)特殊危險(xiǎn)工作區(qū),須有安全圍籬及警告標(biāo)誌。(10)地板開(kāi)口處,須有安全圍籬及警告標(biāo)誌,以防止人員掉入。(11)須備有滅火器以防火災(zāi)。(12)滅火器僅可使用泡沫滅火器,不可使用乾粉滅火器。(13)工作架在超出地面2M以上時(shí),須使用鷹架,人員須繫安全帶(索)。(14)鷹架、樓梯及工具,須保持良好狀況。(15)在超出地面2M以上時(shí),工具須放置工具袋(箱)內(nèi)。(16)同時(shí)有兩組人員在不同高度工作時(shí),須有良好之連繫。(17)在工作區(qū)域工作,必須保持乾淨(jìng);如有產(chǎn)生垃圾,必須隨時(shí)準(zhǔn)備垃圾

袋,於每日收工時(shí)攜出清淨(jìng)室。(18)如有意外發(fā)生,須立刻告知監(jiān)工。(19)特殊危險(xiǎn)工作區(qū),須有安全圍籬及警告標(biāo)誌。(20)地板開(kāi)口處,須有安全圍籬及警告標(biāo)誌,以防止人員掉入。48(7)在工作區(qū)域工作,必須保持乾淨(jìng);如有產(chǎn)生垃圾,必須隨(21)須備有滅火器以防火災(zāi)。(22)滅火器僅可使用泡沫滅火器,不可使用乾粉滅火器。(23)工作架在超出地面2M以上時(shí),須使用鷹架,人員須繫安全帶(索)。(24)鷹架、樓梯及工具,須保持良好狀況。(25)在超出地面2M以上時(shí),工具須放置工具袋(箱)內(nèi)。(26)同時(shí)有兩組人員在不同高度工作時(shí),須有良好之連繫。(27)易燃物品如無(wú)人照料,不可置放於工作區(qū)域內(nèi)。(28)化學(xué)物品如有洩漏,必須馬上處理。(29)易燃物品須放置於有蓋容器內(nèi)。(30)任何閥、開(kāi)關(guān)插座、電源插座,不可隨意開(kāi)、關(guān)、拔除(機(jī)臺(tái)管線)。(31)任何配管配線、材料,非經(jīng)過(guò)監(jiān)工人員同意,不可擅自任意更改。49(21)須備有滅火器以防火災(zāi)。7Pipinginstallation管路架設(shè)

在無(wú)塵室或簡(jiǎn)易潔淨(jìng)室執(zhí)行高潔淨(jìng)度配管工作時(shí),必須遵循下列的規(guī)定。1、現(xiàn)場(chǎng)工作規(guī)定

※攜入

材料必須置於特定的貯藏間,在工地現(xiàn)場(chǎng)或在材料間要提供暫時(shí)性的簡(jiǎn)易潔淨(jìng)室,所有材料要存放整齊。在存放材料時(shí),有電子拋光的管件必須和未經(jīng)電子拋光的管件分開(kāi)。在尚未使用管件之前都不要將塑膠封套打開(kāi)直到現(xiàn)埸要使用時(shí)方可打開(kāi),並且不要將材料直接放在地上。

※切管

切管時(shí),使用的自動(dòng)切割機(jī)或手動(dòng)切管器必須是專(zhuān)門(mén)為半導(dǎo)體廠工作所設(shè)計(jì)的。切管器的刀片與管件成垂直方向,當(dāng)使用自動(dòng)切割機(jī)時(shí),放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一層未切斷,藉以防止切割時(shí)的碎屑進(jìn)入管內(nèi)。

50Pipinginstallation管路架設(shè)在無(wú)塵室※倒角

原則上,在使用倒角機(jī)(TUBESIZE用)或銼刀(PIPESIZE用)時(shí),小心地移開(kāi)切割面。如果切割面歪斜未成垂直,焊口鬆或管子彎曲等狀況發(fā)生時(shí),這種管路是不合規(guī)定,必須重新切割及配置。當(dāng)?shù)菇菚r(shí),在管的另一端必須用高潔淨(jìng)度的氮?dú)鉀_吹(氮?dú)庖?jīng)0.02um的過(guò)濾器過(guò)濾)。

※N2沖吹

將管內(nèi)的微粒沖吹出來(lái)。

※工作後的清潔

檢視切割機(jī)的潔淨(jìng)度,保持機(jī)具不受油污,如果仍然看得見(jiàn)有油污或切割的碎屑?xì)堭N,按照下列的方法清潔之。用GN2沖吹使用的N2必須經(jīng)-80℃或更低的露點(diǎn),經(jīng)0.02um的過(guò)濾器乾燥。

※預(yù)製工作(在簡(jiǎn)易潔淨(jìng)室cleanbooth)

在現(xiàn)場(chǎng)的焊接工作降至最低量是必需的。配管區(qū)必須在有潔淨(jìng)氣的地方,在工作時(shí)維持風(fēng)扇正常運(yùn)轉(zhuǎn),於早、中、晚用CO2檢視器檢查CO2的濃度。51※倒角9

◆點(diǎn)焊

點(diǎn)焊使用TIG焊接,點(diǎn)焊的點(diǎn)數(shù)按照下列規(guī)定。

(CAJON的焊機(jī)必需保証管子確實(shí)牢固,從完成的觀點(diǎn)來(lái)看,最好不要使用

手動(dòng)的TIG焊接,因此點(diǎn)焊被省略)。

3/4”到15A到80A:3~4點(diǎn)。

◆沖吹氣體(Backsealgas)

使用氬氣,露點(diǎn)-80℃或更低,氧含量在0.1ppm以下,微粒(0.1um以上)含量

為零?!魶_吹用管套

連接沖吹氣體管路與架設(shè)管路,使用(Backsealjig)

如圖(一)所示圖(一)(參考用)

52◆點(diǎn)焊圖(一)(參考用)10◆架設(shè)程序(圖二)

將工作管路兩端套上管套,連接沖吹氣體及閥。圖(二)53◆架設(shè)程序(圖二)圖(二)11

◆裝封(在Cleanbooth內(nèi)進(jìn)行)

完成焊接之後,在管內(nèi)充滿(mǎn)Ar氣,而且用無(wú)塵的塑膠紙?jiān)谀┒税鼉蓪印?/p>

如果末端的閥已經(jīng)連接好了,把閥也用塑膠紙裹起來(lái)。2、現(xiàn)場(chǎng)施工

現(xiàn)埸焊接的人員必須有受過(guò)高潔淨(jìng)度配管技術(shù)檢定通過(guò)。

焊接工作54◆裝封(在Cleanbooth內(nèi)進(jìn)行)12Ⅰ原封至現(xiàn)埸。Ⅱ先拆卸一端封套,並連接Backsealgas。Ⅲ拆卸要焊接端封套,並沖吹乾淨(jìng)。Ⅳ連接後將一端之Backsealgas拆掉使成出氣端,並開(kāi)始焊接。

◆管路維持條件

即使焊接結(jié)束,也要維持小量的N2或Ar在管內(nèi)沖吹以防止空氣流入管內(nèi)。

無(wú)論如何也要想辦法把管內(nèi)的空氣及微粒弄出來(lái),如果無(wú)法繼續(xù)沖吹。

※焊機(jī)電源

供給電源的電壓的變動(dòng),對(duì)於管路焊接的品質(zhì)影響甚巨。使用自動(dòng)焊接機(jī)的電源必需使用特定的整流器。容許的電壓波動(dòng)AC100V±10%,AC200V±10%,在焊接進(jìn)行時(shí)電壓警報(bào)器一直監(jiān)視著電壓,如果電壓超過(guò)可容許的範(fàn)圍時(shí),警報(bào)器就會(huì)發(fā)出聲音。3、其他注意事項(xiàng)

下述的工作是在架設(shè)高潔淨(jìng)度的管路時(shí)必需要執(zhí)行的。55Ⅰ原封至現(xiàn)埸。13

※控制氬氣沖吹◆用壓力計(jì)或液位計(jì)察看尚餘有多少氬氣。

◆看流量計(jì)的刻度檢查沖吹氣體的容量。◆使用採(cǎi)樣品閥從鋼瓶或氣體來(lái)源收集氬氣,測(cè)量氬氣純度確定露點(diǎn)是在

-80℃以下,殘餘氧氣低於0.1ppm,微粒含量為0(0.1um以上的微粒)。

◆在工作處測(cè)量架設(shè)管路末端的氬氣純度,確定露點(diǎn)在-70℃以下殘餘氧氣

低於2ppm,測(cè)量地點(diǎn)必須在監(jiān)工及焊接都同意的地方。

◆前4項(xiàng)規(guī)定的工作前在每天開(kāi)始工作由監(jiān)工或工作人員執(zhí)行以控制品質(zhì)符

合要求。

◆若氣體容量未達(dá)標(biāo)準(zhǔn),通知監(jiān)工,暫停工作,但是沖吹必須持續(xù)進(jìn)行,

或使用預(yù)留的LN2,當(dāng)要使用預(yù)留LN2時(shí),必定要做分析供給氣體純度的

工作。

※簡(jiǎn)易潔淨(jìng)室(Cleanbooth)的潔淨(jìng)度的控制

◆在Cleanbooth內(nèi)測(cè)量焊接處的微粒數(shù)量(0.1um以上)不能超過(guò)100個(gè)/c.f,

class10000是用作貯藏用,class1000是組裝用。

◆在正常使用中測(cè)量微粒的工作一天至少進(jìn)行1次。56※控制氬氣沖吹14※潔淨(jìng)衣物的管制◆在Cleanbooth內(nèi)使用的潔淨(jìng)衣、潔淨(jìng)鞋、潔淨(jìng)手套及其他設(shè)備必需在使

用前檢查其潔淨(jìng)度。◆使用的潔淨(jìng)衣物等,必需一個(gè)星期清洗一次,不論有否弄髒。

※潔淨(jìng)室

依據(jù)潔淨(jìng)室人員管制規(guī)定的管制細(xì)則,所有的工作人員皆需致力於工作在一個(gè)高潔淨(jìng)空氣環(huán)境中。

※焊接狀況的檢查(由個(gè)人或監(jiān)工)

當(dāng)自動(dòng)焊接機(jī)的工作條件改變時(shí),必須確定焊接數(shù)據(jù)與工作條件一致。

※鎢棒的保養(yǎng)及管制◆要時(shí)時(shí)注意鎢棒是否變形。◆磨鎢棒的工作必須是由監(jiān)工認(rèn)可之專(zhuān)業(yè)人員使用特定的設(shè)備來(lái)執(zhí)行。※樣品製作及焊接條件的檢查(焊接者或監(jiān)工)◆每日早上在上工前要製作數(shù)個(gè)同樣大小的樣品?!舯O(jiān)工切開(kāi)樣品,檢查管內(nèi)部焊接情況,用目視確定焊接的地方?jīng)]有不規(guī)

則的孔、裂縫、氣孔或沒(méi)有完全焊透等缺點(diǎn)存在。57※潔淨(jìng)衣物的管制15◆若有焊接缺陷發(fā)現(xiàn)時(shí),檢查焊接條件、更換鎢棒、檢查沖吹氣體純度、

品質(zhì)及沖吹的方法,直到結(jié)果令人滿(mǎn)意,方可進(jìn)行配管工作?!魳悠芳昂附訑?shù)據(jù)必須同時(shí)保存。4、要求

※機(jī)器攜入及架設(shè)◆從側(cè)邊帶入機(jī)器要在事先申請(qǐng)同意路線,並且使用的拖車(chē)放在特定的地

方。◆在水泥地板上使用鐵錨類(lèi)之固定機(jī)器?!艚?jīng)縱、橫的方向確定無(wú)誤後,固定機(jī)器?!魴C(jī)器必須在地板的防塵油漆塗上之前裝上?!苈窐?biāo)記◆至少每5M要有標(biāo)簽貼在管路上,標(biāo)明氣體名稱(chēng)流向號(hào)碼

※開(kāi)/關(guān)顯示

除了球閥外,所有的閥都要有開(kāi)/關(guān)的標(biāo)示。58◆若有焊接缺陷發(fā)現(xiàn)時(shí),檢查焊接條件、更換鎢棒、檢查沖吹彎管

業(yè)

規(guī)

範(fàn)1、說(shuō)明

本項(xiàng)說(shuō)明GasSystem作成時(shí),如何使用手工具PIPEBENDER來(lái)進(jìn)行彎曲作業(yè)。主要對(duì)象

SUS316BA管,外徑1/4”

(6.53φ)使用工具R1NO.394LEVER型TUBEBENDER。2、.配管圖看法與管長(zhǎng)之決定

配管圖尺寸是表示配管中心之尺寸或中心配管末端之長(zhǎng)之謂。59彎管作業(yè)規(guī)範(fàn)1、說(shuō)明17通常在配管分岐點(diǎn)實(shí)施熔接很多,茲以下圖表示之。至中心點(diǎn)之長(zhǎng)度約+3mm(1/4”O(jiān)D)(則3.15mm-------3mm)約+5mm(3/8”O(jiān)D)60通常在配管分岐點(diǎn)實(shí)施熔接很多,茲以下圖表示之。至中心點(diǎn)之長(zhǎng)

使用TUBEBENDER來(lái)加以彎曲之中心點(diǎn)大約彎曲15R與直角彎曲比較,配管全長(zhǎng)變短,亦即圖面上所配尺寸相加長(zhǎng)度比實(shí)際配管長(zhǎng)度長(zhǎng)。61使用TUBEBENDER來(lái)加以彎曲之中心點(diǎn)大約彎曲180度彎曲(R彎曲),每一彎曲,其SETBACK為14.6mm其計(jì)算如下:管長(zhǎng)=(50+30+90+120)-14.6-6.4=269mm[1/4”O(jiān)D]又3/8”時(shí)R彎曲SetBack為23.6mm依上圖原理可得(50+30+90+120)-23.6-10.5=255.9mm[3/8”O(jiān)D]62180度彎曲(R彎曲),每一彎曲,其SETBACK為14.0~75度範(fàn)圍角度彎苗,其SetBack為0例如:其管長(zhǎng)=(50+53.94+40)-6.4=137.5其長(zhǎng)度差即所謂SetBack,在1/4”O(jiān)D配管,每一彎曲可短小6.4mm(6.35mm)下面有1/4”、3/8”各種埸合之SetBack之表。彎曲次數(shù)SetBack1/4”3/8”1/8”16.4mm10.5mm6.0mm212.721.012319.131.518425.442.024531.863.030638.163.036744.573.542850.884.048630~75度範(fàn)圍角度彎苗,其SetBack為0其管長(zhǎng)=(50例:必要管長(zhǎng)=(50+70+80)-12.7=187.33mm2次彎曲SetBack

因此準(zhǔn)備187.3mm長(zhǎng)度配管就可進(jìn)入作業(yè)。3、配管切割

配管切割使用TubeCutter(PipeCutter)工具RIDGIDNO.105,配管開(kāi)始切割時(shí),必須前後旋轉(zhuǎn)3~4次半周,使配管軸部方向不致造成直角,溝才開(kāi)始進(jìn)行。配管之切斷處,事先用紅筆做記號(hào)。切割深度一次切割過(guò)深會(huì)使切口未能成立真圓,慢慢進(jìn)行,而把手旋轉(zhuǎn)角度保持約30度就可。切割完畢,管內(nèi)面產(chǎn)生突屑會(huì)致使內(nèi)徑縮小,須用銑面Cutter清除。最後用銑面Cutter將突屑、粉屑清除。4、配管彎曲作業(yè)應(yīng)注意之原則

配管開(kāi)始彎曲作業(yè)應(yīng)注意原則※比較圖面上兩端、由短方面先開(kāi)始彎曲,將較短尺寸配管上作記號(hào)、此部

份應(yīng)放在Bender左側(cè)Set之?!鶗r(shí)時(shí)檢查Bender之狀態(tài)是否會(huì)造成管子受傷或變形。※兩端一方彎曲180度(R彎曲)時(shí),必須從180度彎曲方向作業(yè)。這個(gè)時(shí)候R彎

曲尺寸在配管上做記號(hào),而將此處置在Bender左側(cè)予以Set之。64例:必要管長(zhǎng)=(50+70+80)-12.7=187.5、尺寸固定(劃線器劃線方法)※從配管量尺寸用普通量尺就可,再用紅鉛筆作記號(hào)?!咽╈稄澢淮蔚呐涔?,則使用T型特別量尺,由配管中心劃線?!鶎?shí)施90度以?xún)?nèi)彎曲後再做第二次彎曲劃尺寸,依下列方法實(shí)行。6、熔接部份注意事項(xiàng)※使用ArgonArc分岐部份,使用專(zhuān)用冶具,並使用Bord板開(kāi)孔?!_(kāi)孔後配管內(nèi)部產(chǎn)生突起屑,粉屑用Reamer工具清除?!┬卸鄶?shù)彎曲作業(yè)其中有熔接分岐時(shí),彎曲作業(yè)中途須要有開(kāi)孔或清除

粉屑的作業(yè),因?yàn)榈鹊綇澢鳂I(yè)完成後已經(jīng)沒(méi)有方法通進(jìn)開(kāi)孔或清除粉

屑作業(yè)之工具。655、尺寸固定(劃線器劃線方法)23熔接規(guī)範(fàn)

1、電源(1)使用Tester確認(rèn)電壓(2)使用220V的場(chǎng)合要確認(rèn)結(jié)線。(3)使用110V電源時(shí),為保護(hù)配線,要使用附有漏電Breaker之插座。(4)接地線要用熔接機(jī)單獨(dú)使用者。2、氬氣(1)Argongas純度達(dá)99.999以上才予使用。(2)原則上使用液化ArgonGas。(3)熔接時(shí)氧化膜無(wú)法去除時(shí)要檢查Gas及輸氣管路。3、鎢Tungsten(1)研磨時(shí)不能偏頗。(2)產(chǎn)生熔接聯(lián)珠或蛇行是鎢研偏所致,要重磨。研磨時(shí)使用研磨專(zhuān)用機(jī)。(3)Taper角度請(qǐng)參考下記圖面。66熔接規(guī)範(fàn)1、電源24

熔接產(chǎn)生Gap時(shí),用GapGauge來(lái)修正。4、同心圓之確認(rèn)(1)確認(rèn)pipe規(guī)格及材料,然後參考Data表設(shè)定之。(2)Set直管接住熔接機(jī)頭用Vis調(diào)整。(3)Set短管用同心圓打圓圈確認(rèn)之。(4)不是同心圓時(shí),先考慮是否熔接機(jī)頭之焊接頭有歪曲就要更換Head。5、熔接條件確認(rèn)(1)使用BackSealedGas,Purge30分程度,清除之流量為5l/min。(2)使用Date表確認(rèn)ArcGasSealedGas流量,並記入Data表。67熔接產(chǎn)生Gap時(shí),用GapGauge來(lái)修正。256、Test熔接(1)使用對(duì)焊熔接物做樣品熔接,製作CutSample。(2)熔接面聯(lián)結(jié)、熔接程度、氧化膜產(chǎn)生程度都須確認(rèn)。(3)確認(rèn)後,無(wú)問(wèn)題才正式進(jìn)行熔接。(4)為防止表面氧化用噴槍ArGas。7、熔接作業(yè)重要事項(xiàng)(1)防止中心點(diǎn)偏移:鎢與熔接面位置。鎢之研磨角度未出來(lái)。(2)熔接聯(lián)珠不均:切割面90度未出來(lái)。切割面有突起物。

鎢的消秏。(3).防止熔化不足:盡可能觀察熔接時(shí)之熔接內(nèi)面。(4)防止過(guò)熔低陷:利用控制內(nèi)壓之專(zhuān)用治具。(5)防止膨脹熔接作業(yè)前,再確認(rèn)熔接條件。(6)熔接技術(shù)者,熔接完了後,確認(rèn)熔接部份。686、Test熔接268、氧化膜除去作業(yè)基準(zhǔn)(1)氧化膜除去,使用StainlessBrushScotchBrush。(2)使用StainBright除去作業(yè)後,充分用純水洗淨(jìng)。(3)水洗後,用氮?dú)馇宄儆肐PA洗淨(jìng)。(4)進(jìn)行除去作業(yè)時(shí),配管末端用盲Cap套住。(5)除去作業(yè)完成後,其外部用氮?dú)馇宄龎m埃。(6)收尾工程,配管內(nèi)部用氮?dú)馇宄G宄玫獨(dú)?,通過(guò)0.05um以上,具有除去性能之Ceramic或StainlessFilter,並在8kg/cm2的氮?dú)鈮毫ο聦⒐軆?nèi)清除。698、氧化膜除去作業(yè)基準(zhǔn)27測(cè)試規(guī)範(fàn)

今依據(jù)各項(xiàng)執(zhí)行順序可分為七大部份:第一部份外觀之檢驗(yàn)。第二部份為管路的氣密試驗(yàn)。第三部份為管路流程的檢查。第四部份為HE測(cè)試。第五部份為微粒子測(cè)試、PARTICLE。第六部份為露點(diǎn)測(cè)試。第七部份含氧量測(cè)試。70測(cè)試規(guī)範(fàn)今依據(jù)各項(xiàng)執(zhí)行順序可分為七大部份:1、外觀檢驗(yàn):

半導(dǎo)體於管線組裝成後,須做管路之外觀檢驗(yàn),其檢驗(yàn)項(xiàng)目為:☆所有管線是否依設(shè)計(jì)排列施工,並予標(biāo)示氣體種類(lèi)。☆所有使用之材料是否符合規(guī)定之材料。☆管線之焊接是否有角度不正、傾斜、歪曲?!罟芫€是否有污物殘留?!罟芫€是否有凹陷、龜裂等不良缺陷。2、管路氣密試驗(yàn):

在氣密試驗(yàn)中,所採(cǎi)用測(cè)試方法均是採(cǎi)用通入高於各管路正常使用壓力的1.1倍氣體或1.5倍水的壓力於管路中,再觀察已安裝好之壓力計(jì),判斷其是否有漏氣現(xiàn)象。但有些的管路受限於二段式的壓力調(diào)節(jié)計(jì),需另安裝壓力計(jì),並由管路末端處灌壓方式。當(dāng)氣密試驗(yàn)中,任一管路有了漏氣現(xiàn)象。就必須進(jìn)行查漏步驟。一般而言,在管路的查漏均均是採(cǎi)用snoop對(duì)漏氣管路所有接點(diǎn)作泡沬測(cè)試(foamingtesting),其可偵測(cè)漏氣率約為1*10-4atmcc/sec。711、外觀檢驗(yàn):29

但是有一點(diǎn)必須注意是當(dāng)壓力計(jì)上有明顯變化時(shí)其漏氣已達(dá)1*10-4atmcc/sec的標(biāo)準(zhǔn)以上,故使用snoop查漏是相當(dāng)可靠。當(dāng)然能有更精密儀器測(cè)是最好的方式;但是精密測(cè)漏儀器使用較為不便,若對(duì)寬廣空間當(dāng)然沒(méi)有問(wèn)題,但對(duì)狹窄及較高地點(diǎn)便不能安裝,所以目前為止查漏必須有系統(tǒng)規(guī)劃執(zhí)行,否再有精密儀器也找不出漏氣處,就以GN2管路查漏為例,就可證明確實(shí)是如此。

3、壓力及氣密之檢驗(yàn)方法(1)使用0.01um過(guò)濾器過(guò)濾的氮?dú)饣驈S內(nèi)PN2系統(tǒng)做壓力測(cè)試。(2)壓力測(cè)試時(shí)所需壓力大小及加壓時(shí)間,設(shè)計(jì)值如附表所示。

測(cè)試項(xiàng)目規(guī)定氣體測(cè)試壓力測(cè)試時(shí)間氣體測(cè)試N210kg/cm2(或依業(yè)主規(guī)定)30分鐘(3)管路充入規(guī)定的壓力氣體後,檢查所有被聯(lián)接和焊接的部份,並用試漏

液做探漏,維持管內(nèi)充有壓力並做記錄。(4)記錄任何被發(fā)現(xiàn)的異常點(diǎn)。(5)記錄使用中的壓力錶讀得有關(guān)資料。(6)從完成壓力測(cè)試開(kāi)始做氣密測(cè)試,設(shè)計(jì)值、時(shí)間如附表72但是有一點(diǎn)必須注意是當(dāng)壓力計(jì)上有明顯變化時(shí)其漏氣已達(dá)1*測(cè)試項(xiàng)目規(guī)定氣體測(cè)試壓力測(cè)試時(shí)間氣體測(cè)試N28kg/cm2(或依業(yè)主規(guī)定)24小時(shí)(7)做次測(cè)試時(shí),首先計(jì)值充入管線中以10分鐘或更久些,然後才開(kāi)始做記錄,

以避免產(chǎn)生誤差。(8)做氣密記錄測(cè)試時(shí),必須使用讀出型壓力計(jì)做資料記錄。在規(guī)定的壓力

和規(guī)定的保持時(shí)間後,管線上的壓力沒(méi)有顯示下降,亦即從試壓開(kāi)始測(cè)試

的壓力和完成測(cè)試時(shí)的室溫亦不同時(shí),無(wú)論如,必須使下列式子做溫度係

數(shù)的校正,來(lái)決定測(cè)試完成時(shí),壓力錶所獲得之?dāng)?shù)值能保持在開(kāi)始時(shí)所記

錄的98%以上,則此測(cè)試值被認(rèn)可為通過(guò)測(cè)試。(9)未接受試壓部份,如安全閥、控制閥、壓力計(jì)等,均應(yīng)接受氣密試驗(yàn)。氣密試驗(yàn)的壓力以不超過(guò)該組件的最大許可操作壓為限。73測(cè)試項(xiàng)目規(guī)定氣體測(cè)試壓力測(cè)試時(shí)間氣體測(cè)試N28kg/cm2(4、氣體管路流程檢查

此項(xiàng)目之測(cè)試依下列步驟為之:(1)將所有氣體管路的末端閥打開(kāi)。(2)列出(各種特殊氣體管路應(yīng)到遠(yuǎn)的末端閥的歸納表)關(guān)閉所試特殊氣體

管路的末端閥。(3)由所欲測(cè)特殊氣體以N2充壓該管路至一定壓力,並觀察五分鐘,視壓力

計(jì)是否有下降現(xiàn)象。(4)若壓力計(jì)無(wú)下降,即代表管路無(wú)錯(cuò)接現(xiàn)象。若無(wú)下降現(xiàn)象打開(kāi)欲測(cè)特

氣體管路末端閥,判斷壓力計(jì)是否會(huì)下降至零,若降至零代表壓力計(jì)無(wú)

問(wèn)題。5、測(cè)漏檢驗(yàn)(1)特殊氣體配管,管做完上述測(cè)試後將管路抽真空,以HE氣做測(cè)漏率的測(cè)

試。(2)本公司使用為BALZERHLT160HELIUMLEAKDETECTOR設(shè)備。(3)本公司設(shè)備測(cè)漏率可達(dá)到-1*10-11atm.cc/sec。744、氣體管路流程檢查32(4)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)1*10-8mBarL/S<2*10-9atm.cc/secInboard或業(yè)主規(guī)定(5)本公司有支援設(shè)備相同機(jī)型的提供廠商—漢疆股份有限公司。操作說(shuō)明及注意事項(xiàng):(1)在開(kāi)機(jī)前,應(yīng)先平穩(wěn)放置不得傾斜。(2)開(kāi)機(jī)後,不得隨意移動(dòng)。(3)關(guān)機(jī)後,必須聽(tīng)到VENT氣聲或3-5分鐘後,方可移動(dòng)或重新開(kāi)機(jī)。(4)在開(kāi)機(jī)前,須確定電壓是否正確(110V/220V)(5)電壓頻率選擇於60HZ。(6)本機(jī)係屬於精密電子儀器,故必須使用有接地的插頭。75(4)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)1*10-8mBarL/S<2*10-6、微氧分析

測(cè)試程序注意事項(xiàng)選用氣體測(cè)試設(shè)備熱機(jī)清淨(jìng)管路測(cè)試結(jié)束YESNOa、使用氣體氧分純度必須50PPB以下或經(jīng)過(guò)純化器濾過(guò)氮?dú)?/p>

或同等純度之氣體。

a、微氧分析儀開(kāi)機(jī)後,必須熱機(jī)20分鐘才可銜接管路測(cè)試。a、將測(cè)試管路或盤(pán)面進(jìn)氣孔接上氣源。b、將測(cè)試管路盤(pán)面上,所有閥件全部打開(kāi)。c、使用設(shè)計(jì)壓力之氣源來(lái)Purge所要測(cè)試之管路。d、此Purge程序需維持30分鐘以上。a、氣體於接上設(shè)備前必須將銜接測(cè)試管路Purge5分鐘。b、經(jīng)過(guò)Purge的銜接測(cè)試管路,銜接上微氧分析測(cè)試儀後,打

開(kāi)微氧分析儀後,打開(kāi)微氧分析儀電源進(jìn)行測(cè)試。c、測(cè)試時(shí)依微氧分析儀測(cè)試數(shù)值的狀況,同時(shí)進(jìn)行測(cè)試與

Purge直到測(cè)試值達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值(50PPB)以下,才合格。a、需測(cè)試姞果記錄於微氧分析測(cè)試記錄表,以作日後追

溯與識(shí)別用的。766、微氧分析測(cè)試程序7、水份分析測(cè)試程序注意事項(xiàng)選用氣體清淨(jìng)管路測(cè)試結(jié)束YESNOa、使用氣體氧分純度必須50PPB以下或經(jīng)過(guò)純化器濾過(guò)

氮?dú)饣蛲燃兌戎畾怏w。a、將測(cè)試管路或盤(pán)面進(jìn)氣孔接上氣源,將測(cè)試管路或盤(pán)面

所有,所有閥件全部打開(kāi)。b、使用設(shè)計(jì)壓力氣源來(lái)Purge測(cè)試之盤(pán)面管路。c、此Purge程序需維持30分鐘以上。a、氣體管路於銜接水份分析儀SENSOR前,必須將銜接測(cè)試

管路Purge5分鐘,讓銜接測(cè)試管路內(nèi)之水份隨Purge氣體流

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶(hù)所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫(kù)網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶(hù)上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶(hù)上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶(hù)因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論