TRACK安裝調(diào)試培訓資料課件

TRACK安裝調(diào)試培訓資料張先鋒2014.08.06創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越TRACK安裝調(diào)試培訓資料創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越培訓內(nèi)容：一、CLEANER安裝調(diào)試二、SB/HB/DB安裝調(diào)試三、DEVELOPER安裝調(diào)試創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越培訓內(nèi)容：一、CLEANER創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越TRACK線平面圖：流片方向流片方向流片方向創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越TRACK線平面圖：流片方向創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

所有設(shè)備SETUP完成之后，我們開始進入TRACK線，各個單元并不是按照流片的先后順序來調(diào)試的，很多時候是幾個單元同時作業(yè)，而為了培訓的方便，我們還是按照流片的順序依次講解各個單元。從整條TRACK線來說，分為INDEXER、CLEANER、DB、LC、SB、INTERFACE、EXP、TITLER、DEVELOPER、HB以及AOI，共11個單元，我們需要調(diào)試的是其中的5個單元：

CLEANER、DB、SB、DEVELOPER及HB。

本次調(diào)試的設(shè)備是B5TRACK9號線，名稱：SK-2200G，編號：750G25076A

創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越所有設(shè)備SETUP創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越CLEANER單元包括：入口CV、過渡CV、UV前CV、UV（UV屬于其他廠商調(diào)試）、RB+AAJET、A/K、NEUTRALCV以及出口CV。

確認所有供給閥門處于關(guān)閉狀態(tài)；

確認所有控制柜處于OFF狀態(tài)，開始投入電源（與DNS及客戶）；

蓋板類、AAJET、追加roller等拆除。

將入口CV和出口CV的整列關(guān)閉，中間各個UNITGuideroller調(diào)到最外側(cè)。1、CLEANER調(diào)試前準備2、川幅調(diào)整（初調(diào)）一、CLEANER安裝調(diào)整1231創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越CLEANER單元包創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越調(diào)整入口CV操作側(cè)第一個Guideroller，使其到側(cè)板內(nèi)側(cè)距離為50mm，調(diào)整出口CV操作側(cè)最后一個Guideroller，使其到側(cè)板內(nèi)側(cè)距離為20mm，（這兩個距離為經(jīng)驗值，視實際情況而定），用這兩個Guideroller拉線作為基準線，再調(diào)整操作側(cè)所有Guideroller，操作側(cè)Guideroller與基準線距離為0mm。反操作側(cè)的基準線做法與操作側(cè)相同，反操作側(cè)Guideroller與基準線距離分為兩種：a、整列roller與基準線距離為0.5mm；b、

單個Guideroller基準線距離為2mm。所用基板為2500mm*2200mm*0.5mm

此時的川幅調(diào)整是初調(diào)，目的是傳片，為DB、LC、SB、INTERFACE注意2創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越調(diào)整入口CV操作側(cè)第創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越以及HBrobotTeaching做準備。最終的川幅調(diào)整以COATER基臺為基準。

LCrobotTeaching完成后（Teaching基準為COATER基臺），用robot將基板放入出口CV中，以此基板的兩側(cè)邊為基準，首先調(diào)好兩側(cè)整列roller，再由兩側(cè)整列roller為基準拉線，最后調(diào)整CLEANER所有Guideroller。具體調(diào)整做法與川幅調(diào)整（初調(diào)）的相同。

再將Guideroller頂部到基板上表面的距離調(diào)整至4mm。

3、川幅調(diào)整（終調(diào)）創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越以及HBrobotTea創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

出口CV終調(diào)川幅調(diào)整基準線創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

出口CV終調(diào)川幅調(diào)整基準線創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

用隨機攜帶的扳手將CLEANER所有搬送roller擰緊。

4、搬送ROLLER擰緊確認創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越4、搬送ROLLER擰緊確認創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

在Sensor旁邊的搬送roller上放置一塊厚度為2mm的PVC板，放一直尺于板上，掃動直尺，

調(diào)整Sensor固定螺絲直到直尺稍微低于Sensor后鎖緊螺絲。Sensor的高度允許誤差為（0，+0.5），Sensor敏感度為小于0～5°時ON狀態(tài)，5°～10°時OFF狀態(tài)。

5、搖擺SENSOR調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越5、搖擺SENSOR調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

將操作側(cè)及反操作側(cè)所有固定螺釘擰緊。CLEANER除了入口CV與出口CV有立替部，其他unit都處于傾斜狀態(tài)，整體平面度需要調(diào)整。a、粗調(diào)，將兩塊基板分別放入貼合的兩個unit中，觀察兩塊基板的高度差，然后調(diào)節(jié)unit四個角的雙頭螺栓，使得兩基板趨于同一平面；b、細調(diào)，將一塊基板置于兩個unit交界處，調(diào)節(jié)C-roller，方法同A/K調(diào)整中的C-roller調(diào)整。

6、側(cè)板固定螺釘擰緊7、上下流平面度調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越6、側(cè)板固定螺釘擰緊7、上下創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

用張力計依次將同步帶的張力調(diào)整到標準值（標準值參照《各部分標準張力表），具體做法：首先用張力計測量同步帶當前張力，再與標準值比較，最后用扳手調(diào)節(jié)漲緊輪的松緊狀態(tài)，使得同步帶的張力在標準范圍內(nèi)。

8、同步帶張力調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越8、同步帶張力調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

將先前拆下來的追加roller重新安裝上，然后用0.2mm的塞尺測量上下搬送roller間的距離，允許誤差為±0.1mm。

在搬送roller旋轉(zhuǎn)過程中，目測滾軸與中心固定架圓孔的同軸情況，如有偏離，調(diào)節(jié)固定架高度。確認ManualSW動作是否正常；確認整列氣缸動作是否流暢，有無異常聲音；調(diào)整整列氣缸開閉速度，開閉時間相同：2.0±0.3s；

9、追加ROLLER安裝與調(diào)整10、搬送ROLLER中心變化確認11、入口CV調(diào)整213創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越9、追加ROLLER安裝與調(diào)創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越調(diào)整立替部氣缸升降速度，升降時間相同：5.0±0.3s；確認基板缺口Sensor高度：5.0±1.0mm。確認基板檢查Sensor高度：10.0±1.0mm。確認ManualSW動作是否正常；

確認基板檢查Sensor高度：10.0±1.0mm。確認ManualSW動作是否正常；

確認基板檢查Sensor高度：10.0±1.0mm。

12、過渡CV調(diào)整13、UV前CV調(diào)整6542112創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越調(diào)整立替部氣缸升降創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越UV屬于其他廠商調(diào)試，我們只需要調(diào)整Guideroller即可。

共四個RB，分為前后兩組，GOT面板上標記為：前上、前下、后上及后下（根據(jù)B5的工藝要求，前上RB及后上RB不需要安裝）。首先安裝前下RB和后下RB。前下RB原點復位：用直尺測量操作側(cè)和反操作側(cè)的前下RB到基板的距離，在GOT面板上調(diào)整RB的升降，直到所測距離為2mm，允許誤差控制在0.5mm內(nèi)。

14、UV調(diào)整15、RB安裝與TEACHING12創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越14、UV調(diào)整15、RB安裝創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越前下RB安裝RB電機Sensor創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越前下RB安裝RB電機Sens創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越RBTeachingGOT面板創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越RBTeachingGO創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越RBTeachingGOT操作創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越RBTeachingGO創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越后下RB原點復位方法同前下RB。調(diào)整四個RB電機Sensor。每個RB電機操作側(cè)與反操作側(cè)分別有3個Sensor，最外側(cè)為原點復位Sensor，中間為退避Sensor，最內(nèi)側(cè)為壓入Sensor。a、原點復位Sensor擋片為帶圓孔的長方形薄片，調(diào)整時將圓孔對準Sensor中間，Sensor指示燈處于常亮狀態(tài)；

b、退避Sensor擋片為長方形，調(diào)整擋片使其到Sensor中間距離為8mm，允許誤差控制在0.3mm內(nèi)，Sensor指示燈處于常亮狀態(tài)；c、壓入Sensor擋片為“C”形，調(diào)整擋片使其下側(cè)到Sensor中間距離為43創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越后下RB原點復位方創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越4mm，允許誤差控制在0.3mm內(nèi)，Sensor指示燈處于常亮狀態(tài)。將所有Cover裝上；檢查各閥門，將進液閥門打開，排液閥門關(guān)閉；投入純水，檢查Tank、Filter以及各管路是否有漏水。調(diào)整直接水洗TankSensor位置，RB側(cè)下限：370mm處(46L)，RB側(cè)定量：135mm處(112L)，RB側(cè)過多：118mm處(115L)；循環(huán)側(cè)下限：370mm處(46L)，循環(huán)側(cè)定量：110mm處(120L)，循環(huán)側(cè)瀑布：90mm處(126L)。

Tank中裝水放置8h以上，檢查有無漏水。

16、純水投入4321創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越4mm，允許誤差控制在0.3創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越純水投入Tank及管路檢查創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越純水投入Tank及管路檢查創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越安裝風切，調(diào)整風切，用直尺測量其到基板的距離為10.0±1.0mm。安裝中間部液切，上、下液刀到基板上下表面的距離相同：10.0±1.0mm。安裝出口液切，用直尺測量其到基板的距離10.0±1.0mm。安裝二流體，用直尺測量其到基板上表面的距離為5.0±0.5mm。

17、風切、液切及二流體安裝與調(diào)整1432創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越17、風切、液切及二流體安裝創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

先將filter頂部排氣管拆下，使用專用扳手將上蓋打開，裝入濾芯后將拆除件重新安裝，鎖緊。

18、FILTER濾芯安裝創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越18、FILTER濾芯安裝創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越將所有Nozzle接管取下，供給閥門打開；所有Nozzle接管取下目的：防止Tank或管路里的particle堵塞Nozzle。打開各個Filter回流閥門，將空氣排盡后關(guān)閉閥門；檢查常壓泵和高壓泵的旋向是否與泵體標示一致；（4）在GOT面板上查看各部分流量顯示，調(diào)整手動閥門，使得GOT面板顯示的流量達到標準值。a、RBrinse的所有Nozzle壓力0.1MPa；

注意19、流量調(diào)整1324創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越注意19、流量調(diào)整1324創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越手動閥門調(diào)整流量顯示創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越手動閥門調(diào)整流量顯示創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越GOT面板各部分當前流量顯示創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越GOT面板各部分當前流量顯示創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越b、兩端液切流量69L/min；c、二流體氣體流量3208L/min；d、二流體高壓液體壓力55MPa。（二流體高壓液體壓力的調(diào)整需要同時調(diào)節(jié)兩個手動閥：一個是回流到Tank中的BYPASS，另一個是通向二流體的高壓水管上的閥門）

將A/K安裝處開口部上、下不銹鋼擋板分別調(diào)至最上端和最下端，目的是將開口部間距調(diào)至最大；

首先將上、下風刀的調(diào)整塊安裝好，再將上、下風刀裝上，鎖緊

20、A/K安裝與調(diào)整21創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越b、兩端液切流量69L/mi創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越螺絲；從操作側(cè)到反操作側(cè)均勻測量5個點的上下風刀間距，調(diào)節(jié)調(diào)整塊，使得上下風刀間距為3.9mm～4.15mm，其中中間一點為3.9mm，其他為4.0mm～4.15mm。用兩個直尺測量上下風刀折線處到開口部直板的間距（測量5個點：兩側(cè)兩個點，中間三個調(diào)整塊三個點），比較數(shù)據(jù)分析上下風刀錯位情況，對比兩側(cè)兩個點的數(shù)據(jù)，選取合適的基準值，最后將五個點的間距都調(diào)整成基準值；先用整張基板調(diào)整最兩側(cè)的兩個C-roller，使基板上表面到風刀下表面距離為1.7mm，如果通過調(diào)整這兩個C-roller無法達到1.7mm，則需435創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越螺絲；435創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越要將上下風刀整體升降；剩余C-roller的調(diào)整，從反操作側(cè)第二個C-roller開始調(diào)整，一個接一個交錯調(diào)整；若其中一個C-roller調(diào)整完畢后，發(fā)現(xiàn)臨近的搬送roller偏高或偏低，還需要調(diào)整輥軸支架。

將整張基板中心置于開口部，測量基板上表面到開口部頂端的距離（均勻分布的三個點），測量基板下表面到開口部底端的距離（均勻分布的三個點），測量基板兩側(cè)面到開口部兩側(cè)面的距離，總共測量8個點。21、所有開口部尺寸確認76創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越要將上下風刀整體升降；21、創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越上下風刀錯位測量C-roller調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越上下風刀錯位測量C-roll創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越輥軸支架調(diào)整C-roller調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越輥軸支架調(diào)整C-roller創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越在GOT面板上打開閥門；打開A/K手動閥，流量調(diào)至2500L/min；打開排氣閥門，流量調(diào)至120L/min.打開控制箱中的FFU開關(guān)；確認FFU風扇旋轉(zhuǎn)方向與標記方向是否一致。從入口CV開始依次用轉(zhuǎn)速計測量各unit搬送roller的轉(zhuǎn)速，對照22、A/K流量調(diào)整23、FFU確認2132124、CLEANER各UNIT轉(zhuǎn)速調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越22、A/K流量調(diào)整23、F創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越標準轉(zhuǎn)速表，在GOT面板上調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速比，直到搬送roller達到標準值。

安裝電離器；調(diào)整電離器到基板上表面的距離：100±5mm；調(diào)整凈化空氣壓力：0.2MPa。確認ManualSW動作是否正常；確認基板檢查Sensor高度：10.0±1.0mm。26、NEUTRALCV調(diào)整25、電離器安裝與調(diào)整32121創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越標準轉(zhuǎn)速表，在GOT面板上調(diào)創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越Cleaner搬送roller轉(zhuǎn)速調(diào)整GOT操作創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越Cleaner搬送rolle創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

確認ManualSW動作是否正常；確認整列氣缸動作是否流暢，有無異常聲音；調(diào)整整列氣缸開閉速度，流向方向和幅度方向的開閉時間相同：

2.0±0.3s；調(diào)整減速Sensor與停止Sensor的距離：120mm；調(diào)整停止緩沖塊的位置：基板在到達停止Sensor后停止，將緩沖塊輕輕接觸到基板，輕微抬起基板，基板與緩沖塊沒有碰刮。調(diào)整立替部氣缸升降速度，升降時間相同：5.0±0.3s；確認基板檢查Sensor（柱狀）到基板兩側(cè)邊緣距離：5.0±1.0mm，到

324567127、出口CV調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越32創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越基板下表面的高度：10.0±1.0mm。

在調(diào)試過程中，設(shè)備不可避免地會發(fā)生警報，當警報發(fā)生時，首先在GOT面板上查看警報的位置及詳細信息，然后到對應(yīng)的位置進行排查和確認。28、警報的確認與解除創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越基板下表面的高度：10.0±創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越SB單元包括：ROBOT、HP、CP、入口CV以及BUFFER；HB單元包括：ROBOT、HP、BUFFER、IMC、TURNTABLE以及出口CV；DB單元包括：HAP、CP、BUFFER以及ROBOT。SB、HB以及DB功能大致相同，HP、CP、ROBOT等都是相同的設(shè)備，HP與HAP也只是細微差別，所以這三個單元調(diào)試過程也大致相似，這里主要講解SB單元的調(diào)試，而對于HB單元和DB單元，只對與SB單元不同的部分進行講解。二、

SB/HB/DB安裝調(diào)試創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越二、SB/HB/DB安裝調(diào)創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越1、ROBOT手臂安裝用T5扳手將上下hand安裝到robot本體上，注意區(qū)分上下hand，連接氣管時防止折彎。

為了節(jié)省ABS原點復位的時間，首先需要操作手柄將robot各部分移動到原點附近(包括Z軸、TH角等），然后再進行原點復位，原點復位完成以后，關(guān)閉伺服電源后再重啟以完成數(shù)據(jù)保存。2、ABS原點復位（一）SB安裝調(diào)試創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越1、ROBOT手臂安裝創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越3、HANDLEVELING將上hand（下hand）推進CP3中（CP3高度適中，便于測量），用直尺和L形尺測量4根Folk的8個點到CP3底板距離，如圖所示，記錄數(shù)據(jù)，參照評判標準，如果超出標準，在folk根部添減sim（sim按厚度分為：0.05mm、0.1mm、0.2mm及0.3mm），使得測量數(shù)據(jù)符合要求。前方部調(diào)整/測定後方部調(diào)整/測定創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越3、HANDLEVELIN創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越評判基準：上手臂①～④≦1.0mm下手臂⑤～⑧≦1.0mm①-⑤=A（5±0.5mm）②-⑥=B（5±0.5mm）

③-⑦=C（5±0.5mm）④-⑧=Ｄ（5±0.5mm）Folk到CP3底板距離測量創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越評判基準：上手臂①～④≦1創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越4、直徑度調(diào)整推動arm用L形尺測量如圖a、b位置的尺寸，松開hand固定螺絲，調(diào)整hand位置，使得︱a-b︱=0.5mm，鎖緊固定螺絲。創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越4、直徑度調(diào)整推動a創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越5、FOLK與手掌垂直度調(diào)整推動arm用卷尺測量靠近Z軸的folk前后兩端到Z2軸的距離，松開folk固定螺絲，調(diào)整folk使得前后距離相等，鎖緊螺絲。abZ軸Z軸創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越5、FOLK與手掌垂直度調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越6、FOLK間距調(diào)整用卷尺測量folk之間的距離，松開第2、3、4根folk固定螺絲，依次調(diào)整這三根folk，如圖所示，使得他們之間的距離達到標準值后鎖緊螺絲。標準：a=535±0.5mm，b=580±0.5mm，Total=1650±1mm。ａｂａ創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越6、FOLK間距調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越7、ROBOT位置DATA設(shè)定參照data設(shè)定表上的各POS參數(shù)，在robot操作手柄上一一設(shè)定。8、ROBOTHAND基板檢測SENSOR感應(yīng)度調(diào)整任意取一小塊玻璃基板，依次放置在folk5個sensor上方，觀察hand后側(cè)方sensor顯示器的數(shù)值（無基板時數(shù)值為0，有基板時數(shù)值為1000左右），確定中間值500為sensor感知基板的標準值。將500輸入sensor顯示器中。創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越7、ROBOT位置DATA設(shè)創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越hand后側(cè)方sensor顯示器創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越hand后側(cè)方sensor顯創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越9、ROBOT控制柜通信設(shè)定設(shè)定按鈕是位于控制柜后側(cè)的三個紅色圓柱形按鈕，按鈕上方對應(yīng)有標示，需要將BaudRate按鈕調(diào)為1，Station10×按鈕調(diào)為6，No.按鈕調(diào)為1。創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越9、ROBOT控制柜通信設(shè)定創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越10、HP頂部出口CVTEACHING上handTeaching。先用robot將整張基板放入HP上方的出口CV中，以靠近操作側(cè)和反操作側(cè)的兩排搬送roller為基準，輕輕拖動基板，使得基板兩側(cè)分別到上述兩排搬送roller的距離相等。

將上hand伸進基板下方，處于MID位置，拖動基板使其置于folk前后擋塊之間（在后續(xù)的調(diào)整中，將前后擋塊調(diào)至離基板邊緣2mm處），用油性筆在基板上離邊緣274mm處畫直線，且盡量靠近第一和第四根folk前后4個PIN，測量這四個PIN到所畫直線的距離，估算robot需要旋轉(zhuǎn)的TH角度（一般經(jīng)驗：1/0.016=△TH），上handlowerhome，操作手柄旋轉(zhuǎn)指定角度，12創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越10、HP頂部出口CVTE創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越再將上hand伸進基板下方，處于MID位置，同樣方法繼續(xù)測量，反復調(diào)整，直到PIN處于所畫直線的±0.5mm范圍內(nèi)。離邊緣274mm處畫線創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越再將上hand伸進基板下方，創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越調(diào)整高度Z。分別測量上hand在TOP位置和BTM位置相應(yīng)的高度，測量位置如圖所示，比較所測高度與基準值，在操作手柄上更改Z值，直到所測高3上handTOP位置測量點上handBTM位置測量點創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越調(diào)整高度Z。分別測量創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越度在允許范圍內(nèi)，并記下數(shù)據(jù)。調(diào)整前后擋塊，使其到基板邊緣的距離為2mm。

如果單靠調(diào)整前后擋塊，達不到要求的位置，則需測量前后擋塊到基板邊緣的距離，計算差值，在操作手柄上將X1值加減差值的一半。

4注意11、HP頂部CV整列調(diào)整

以前面Teaching基板為基準，首先調(diào)好兩側(cè)整列roller，手動轉(zhuǎn)動輥軸推動基板后退，調(diào)整沿途的Guideroller，一直調(diào)節(jié)到DP頂部CV，再將Guideroller頂部到基板上表面的距離調(diào)整至4mm。具體方法見第一章第3項，各CV上下流平面度調(diào)整見第一章第7項。創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越度在允許范圍內(nèi)，并記下數(shù)據(jù)創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越12、CP3TEACHING

CP1、CP2Teaching與CP3完全相同，所以這里只介紹CP3Teaching。

用上hand將buffer上的基板取出（先前預(yù)存在buffer中），測量第一和四根folk到基板邊緣距離274mm，在基板上用“×”標記第一和四根folk前后各兩個PIN的位置，目的是防止在Teaching過程中由于基板的移動而造成重復標記。12

手柄操作：checkmotion界面，motion下拉菜單選擇put(放片put，取片get)，station輸入12，slot默認為1，選擇checkstart，按住Enter。

抽出CP3chamber，測量基板邊緣到chamber四個拐角處PIN的x、y方向的距離，分析計算所測數(shù)據(jù)，相應(yīng)調(diào)整TH、X1，直到四個PIN到基板邊緣的3創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越12、CP3TEACHIN創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越CP3Teachingx方向距離一致，y方向距離一致。保存。創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越CP3Teachingx方創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越CP3Teaching手柄畫面創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越CP3Teaching手柄創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越調(diào)整高度Z。分別測量上hand在TOP位置和BTM位置相應(yīng)的高度，測量位置如圖所示，比較所測高度與基準值，在操作手柄上更改Z值，直到所測高度在允許范圍內(nèi)，并記下數(shù)據(jù)。4上handTOP位置測量點上handBTM位置測量點創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越調(diào)整高度Z。分別測量創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越13、HP4TEACHING

HP4Teaching與CP3Teaching大致相同，唯一不同的是基準值。HP1、HP2、HP3Teaching與HP4相同，這里不做重復介紹。上handTOP位置測量點創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越13、HP4TEACHIN創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越14、BF1、BF14TEACHINGBuffer共14層，slot設(shè)置時注意區(qū)分1～14；Teaching步驟同CP3，首先Teachingslot1，然后Teachingslot14；slot2～slot13不需要Teaching，只要將基板放進去確認間隙即可。Teachingslot14時，只用調(diào)整Z值。12上handBTM位置測量點注意創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越14、BF1、BF14TE創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越15、HPLIFTPIN調(diào)整Manual動作確認；Heater端子增緊；Liftpin調(diào)整；HP共有四層，Liftpin調(diào)整時逐一打開chamber，一人在chamber腔內(nèi)用L形尺（此時PIN處于上位置，在下位置時則用游標卡尺）測量PIN高度，另一人在chamber下方調(diào)整PIN固定螺絲的松緊。PIN分為上位置和下位置，PIN由外圈到內(nèi)圈的標準高度也不一樣。

a：上位置＝82.5±0.5mm、下位置＝-2.5±0.5mmmmb：上位置＝80±0.5mm、下位置＝-2.5±0.5mmmmc：上位置＝77.5±0.5mm、下位置＝-2.5±0.5mmmm123創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越15、HPLIFTPIN調(diào)創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越4

上overrunsensor在PIN的上位置增加7mm；下overrunsensor在PIN的下位置增加7mm；

上機械stopper與上overrunsensor位置增加3mm；下機械stopper與下overrunsensor位置減少3mm；創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越4上over創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越HPLiftpin高度分布圖HP3Liftpin上位置高度測量創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越HPLiftpin高度分布創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越16、HP3CHAMBER調(diào)整

chamber拉出sensor位置調(diào)整。chamber蓋板上下動作速度調(diào)整。chamber蓋板上下動作是由氣缸控制，總共8個氣缸，用秒表測量上升和下降的時間，調(diào)節(jié)氣缸手柄來縮短或延長氣缸伸縮的時間，上升和下降的標準時間相同：2±0.3s。chamber蓋板上下位置sensor調(diào)整。chamber蓋板抽出sensor位置調(diào)整。

確認chamber蓋板在動作時的平穩(wěn)度，有無異常聲音。

確認chamber間隙，一般目測。HP1、HP2、HP4chamber調(diào)整方法與HP3相同。

125436創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越16、HP3CHAMBER創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越chamber蓋板上下動作感應(yīng)sensorchamber拉出感應(yīng)Sensor創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越chamber蓋板上下動作感創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越17、HP3SHUTTER調(diào)整

shutter氣缸固定螺絲擰緊。shutter密封圈增緊確認。shutter開關(guān)sensor調(diào)整，將sensor放置在常亮范圍的中間位置。shutter開關(guān)速度調(diào)整。shutter開關(guān)是由氣缸控制，用秒表測量開啟和關(guān)閉的時間，調(diào)節(jié)氣缸手柄來縮短或延長氣缸伸縮的時間，開啟和關(guān)閉的標準時間相同：2±0.3s。

確認shutter在動作時的平穩(wěn)度，有無異常聲音。

確認shutter關(guān)閉時的間隙，一般目測。HP1、HP2、HP4shutter調(diào)整方法與HP3相同。

123456創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越17、HP3SHUTTER創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越18、HP排氣調(diào)整

每一個chamber都有主排和BYPASS。當shutter關(guān)閉時，向chamber里吹熱風，BYPASS開啟，主排關(guān)閉；當shutter打開后，BYPASS關(guān)閉，主排打開。調(diào)整時，參照標準參數(shù)表，調(diào)整BYPASS和主排的閥門大小。19、HPCHAMBER溫度設(shè)定Plate溫度設(shè)定為110℃，熱風溫度設(shè)定為130℃。

將HP1～HP4的breaker依次打開，確認與GOT畫面是否一致。創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越18、HP排氣調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越20、CPLIFTPIN調(diào)整CPLiftpin調(diào)整方法與HP相同；區(qū)別：CP共有三層，PIN的標準高度也不同。

a：上位置＝84±0.5mm、下位置＝-2.0±0.5mmmmb：上位置＝81.5±0.5mm、下位置＝-4.5±0.5mmmmc：上位置＝79±0.5mm、下位置＝-4.5±0.5mmmm創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越20、CPLIFTPIN調(diào)創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越CPLiftpin高度分布圖創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越CPLiftpin高度分布創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越21、CP冷卻水投入

檢查各個chamber進出水管是否接錯，檢查所有接頭有無漏水，檢查進水和出水是否正常，檢查漏液sensor是否正常。

冷卻水溫度設(shè)定為22.4℃。12創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越21、CP冷卻水投入創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越（二）DB安裝調(diào)試DB單元與SB單元基本相同，這里只介紹與SB單元不同的地方：HAPchamber溫度設(shè)定，Plate溫度設(shè)定為120±3℃。

基板在HAP

chamber中進行涂膠前的預(yù)處理：氮氣泵將HMDS打進chamber中，HMDS呈霧狀噴到基板上，這樣有利于涂膠。

12創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越（二）DB安裝調(diào)試創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越（三）HB安裝調(diào)試HB單元的HP與SB單元的相同，這里主要關(guān)注HB單元的IMC及TurnTable:

IMCPIN調(diào)整，標準高度為90mm；

基板感知sensor調(diào)整：基板下表面到sensor距離為10mm；

121、IMC調(diào)整2、TURNTABLE調(diào)整TurnTablePIN調(diào)整，標準高度為85mm；

回轉(zhuǎn)sensor位置調(diào)整：0°和90°位置sensor調(diào)節(jié)在感知范圍的中間位置。12創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越（三）HB安裝調(diào)試H創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越TurnTable升降速度調(diào)整。上升速度為4.0±0.5s，下降速度為4.0±0.5s。TurnTable升降sensor位置調(diào)整：將上升和下降sensor調(diào)節(jié)在感知范圍的中間位置。

343、HBROBOTTEACHING基準ROBOTTeaching基準為DEV出口CV。創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越TurnTab創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越三、DEVELOPER安裝調(diào)整Developer單元與Cleaner單元設(shè)備與調(diào)試方法基本相同，下面只列出與Cleaner單元不同的地方。

2、顯影槽中PUDDLENOZZLE高度調(diào)整PuddleNozzle1（傾斜狀）高度為：2±0.1mm；PuddleNozzle2（垂直狀）高度為：4±0.1mm；

1、顯影一至四槽搬送roller調(diào)整顯影一至四槽操作側(cè)與反操作側(cè)最邊緣搬送roller到基板邊緣距離調(diào)整為：2±0.5mm。

創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越三、DEVELOPER安裝調(diào)創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

安裝出口風切，調(diào)整風切，用直尺測量其到基板的距離為10.0±0.5mm。安裝出口液切，用直尺測量其到基板的距離5.0±0.5mm。23、顯影出口風切、液切安裝調(diào)整1124、直接水洗液切、高壓噴嘴安裝調(diào)整

安裝液切，用直尺測量其到基板的距離10.0±1.0mm；安裝高壓噴嘴，用直尺測量其邊緣到基板距離24.0±1.0mm；

創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越23、顯影出口風創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越5、置換/直接水洗立替部sensor調(diào)整

上位置OverRunsensor與上位置距離為20±1mm，機械限位與OverRunsensor距離為5±1mm；下位置OverRunsensor與下位置距離為20±1mm，機械限位與OverRunsensor距離為5±1mm；

12創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越5、置換/直接水洗立替部se創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越DEV純水投入與Cleaner的相同；唯一不同的是TankSensor位置。

顯影Tank1：上限427L，定量：380L，補充停止230L，補充開始212L，下限174L，溢出400L；

顯影Tank2：上限427L，定量：380L，補充停止230L，補充開始212L，下限174L，溢出400L；直接水洗Tank：下限64L，定量：142L，瀑布：147L；置換水洗Tank：下限75L，定量：146L。

6、純水投入1234創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越DEV純水投入與Clea創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越7、入口CV至清洗第一槽水平確認與調(diào)整

入口CV、顯影第一至四槽以及清洗第一槽，每個槽測9個點，測量所用的尺子應(yīng)放在搬送roller正上方的基板上，水準儀放在升降車上，升降車應(yīng)放在合適位置，在整個測量過程中確保升降車位置不動。

標準范圍：最大值與最小值的差值在2mm范圍內(nèi)。

如超出標準范圍很多，則需要協(xié)調(diào)SETUP廠商來調(diào)整。

注意

首先需要在前后兩個位置任意測量兩個點，比較所測得的高度，選取基準高度。

創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越7、入口CV至清洗第一槽水平創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越DEV水平確認與調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越DEV水平確認與調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越8、出口CVSENSOR調(diào)整確認基板檢查Sensor（柱狀）到基板兩側(cè)邊緣距離：5.0±1.0mm，到基板下表面的高度：13.0±1.0mm。創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越8、出口CVSENSOR調(diào)創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越9、TMAH投入

TMAH投入前各閥門的確認；TMAH投入后檢查Tank及各管路接頭是否泄漏；TMAH供給system動作確認；TMAH溫度由客戶決定，溫度的控制精度為±1℃之內(nèi)。

1234創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越9、TMAH投入TM創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越謝謝！

創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越謝謝！演講完畢，謝謝觀看！演講完畢，謝謝觀看！TRACK安裝調(diào)試培訓資料張先鋒2014.08.06創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越TRACK安裝調(diào)試培訓資料創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越培訓內(nèi)容：一、CLEANER安裝調(diào)試二、SB/HB/DB安裝調(diào)試三、DEVELOPER安裝調(diào)試創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越培訓內(nèi)容：一、CLEANER創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越TRACK線平面圖：流片方向流片方向流片方向創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越TRACK線平面圖：流片方向創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

所有設(shè)備SETUP完成之后，我們開始進入TRACK線，各個單元并不是按照流片的先后順序來調(diào)試的，很多時候是幾個單元同時作業(yè)，而為了培訓的方便，我們還是按照流片的順序依次講解各個單元。從整條TRACK線來說，分為INDEXER、CLEANER、DB、LC、SB、INTERFACE、EXP、TITLER、DEVELOPER、HB以及AOI，共11個單元，我們需要調(diào)試的是其中的5個單元：

CLEANER、DB、SB、DEVELOPER及HB。

本次調(diào)試的設(shè)備是B5TRACK9號線，名稱：SK-2200G，編號：750G25076A

創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越所有設(shè)備SETUP創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越CLEANER單元包括：入口CV、過渡CV、UV前CV、UV（UV屬于其他廠商調(diào)試）、RB+AAJET、A/K、NEUTRALCV以及出口CV。

確認所有供給閥門處于關(guān)閉狀態(tài)；

確認所有控制柜處于OFF狀態(tài)，開始投入電源（與DNS及客戶）；

蓋板類、AAJET、追加roller等拆除。

將入口CV和出口CV的整列關(guān)閉，中間各個UNITGuideroller調(diào)到最外側(cè)。1、CLEANER調(diào)試前準備2、川幅調(diào)整（初調(diào)）一、CLEANER安裝調(diào)整1231創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越CLEANER單元包創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越調(diào)整入口CV操作側(cè)第一個Guideroller，使其到側(cè)板內(nèi)側(cè)距離為50mm，調(diào)整出口CV操作側(cè)最后一個Guideroller，使其到側(cè)板內(nèi)側(cè)距離為20mm，（這兩個距離為經(jīng)驗值，視實際情況而定），用這兩個Guideroller拉線作為基準線，再調(diào)整操作側(cè)所有Guideroller，操作側(cè)Guideroller與基準線距離為0mm。反操作側(cè)的基準線做法與操作側(cè)相同，反操作側(cè)Guideroller與基準線距離分為兩種：a、整列roller與基準線距離為0.5mm；b、

單個Guideroller基準線距離為2mm。所用基板為2500mm*2200mm*0.5mm

此時的川幅調(diào)整是初調(diào)，目的是傳片，為DB、LC、SB、INTERFACE注意2創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越調(diào)整入口CV操作側(cè)第創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越以及HBrobotTeaching做準備。最終的川幅調(diào)整以COATER基臺為基準。

LCrobotTeaching完成后（Teaching基準為COATER基臺），用robot將基板放入出口CV中，以此基板的兩側(cè)邊為基準，首先調(diào)好兩側(cè)整列roller，再由兩側(cè)整列roller為基準拉線，最后調(diào)整CLEANER所有Guideroller。具體調(diào)整做法與川幅調(diào)整（初調(diào)）的相同。

再將Guideroller頂部到基板上表面的距離調(diào)整至4mm。

3、川幅調(diào)整（終調(diào)）創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越以及HBrobotTea創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

出口CV終調(diào)川幅調(diào)整基準線創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

出口CV終調(diào)川幅調(diào)整基準線創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

用隨機攜帶的扳手將CLEANER所有搬送roller擰緊。

4、搬送ROLLER擰緊確認創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越4、搬送ROLLER擰緊確認創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

在Sensor旁邊的搬送roller上放置一塊厚度為2mm的PVC板，放一直尺于板上，掃動直尺，

調(diào)整Sensor固定螺絲直到直尺稍微低于Sensor后鎖緊螺絲。Sensor的高度允許誤差為（0，+0.5），Sensor敏感度為小于0～5°時ON狀態(tài)，5°～10°時OFF狀態(tài)。

5、搖擺SENSOR調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越5、搖擺SENSOR調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

將操作側(cè)及反操作側(cè)所有固定螺釘擰緊。CLEANER除了入口CV與出口CV有立替部，其他unit都處于傾斜狀態(tài)，整體平面度需要調(diào)整。a、粗調(diào)，將兩塊基板分別放入貼合的兩個unit中，觀察兩塊基板的高度差，然后調(diào)節(jié)unit四個角的雙頭螺栓，使得兩基板趨于同一平面；b、細調(diào)，將一塊基板置于兩個unit交界處，調(diào)節(jié)C-roller，方法同A/K調(diào)整中的C-roller調(diào)整。

6、側(cè)板固定螺釘擰緊7、上下流平面度調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越6、側(cè)板固定螺釘擰緊7、上下創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

用張力計依次將同步帶的張力調(diào)整到標準值（標準值參照《各部分標準張力表），具體做法：首先用張力計測量同步帶當前張力，再與標準值比較，最后用扳手調(diào)節(jié)漲緊輪的松緊狀態(tài)，使得同步帶的張力在標準范圍內(nèi)。

8、同步帶張力調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越8、同步帶張力調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

將先前拆下來的追加roller重新安裝上，然后用0.2mm的塞尺測量上下搬送roller間的距離，允許誤差為±0.1mm。

在搬送roller旋轉(zhuǎn)過程中，目測滾軸與中心固定架圓孔的同軸情況，如有偏離，調(diào)節(jié)固定架高度。確認ManualSW動作是否正常；確認整列氣缸動作是否流暢，有無異常聲音；調(diào)整整列氣缸開閉速度，開閉時間相同：2.0±0.3s；

9、追加ROLLER安裝與調(diào)整10、搬送ROLLER中心變化確認11、入口CV調(diào)整213創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越9、追加ROLLER安裝與調(diào)創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越調(diào)整立替部氣缸升降速度，升降時間相同：5.0±0.3s；確認基板缺口Sensor高度：5.0±1.0mm。確認基板檢查Sensor高度：10.0±1.0mm。確認ManualSW動作是否正常；

確認基板檢查Sensor高度：10.0±1.0mm。確認ManualSW動作是否正常；

確認基板檢查Sensor高度：10.0±1.0mm。

12、過渡CV調(diào)整13、UV前CV調(diào)整6542112創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越調(diào)整立替部氣缸升降創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越UV屬于其他廠商調(diào)試，我們只需要調(diào)整Guideroller即可。

共四個RB，分為前后兩組，GOT面板上標記為：前上、前下、后上及后下（根據(jù)B5的工藝要求，前上RB及后上RB不需要安裝）。首先安裝前下RB和后下RB。前下RB原點復位：用直尺測量操作側(cè)和反操作側(cè)的前下RB到基板的距離，在GOT面板上調(diào)整RB的升降，直到所測距離為2mm，允許誤差控制在0.5mm內(nèi)。

14、UV調(diào)整15、RB安裝與TEACHING12創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越14、UV調(diào)整15、RB安裝創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越前下RB安裝RB電機Sensor創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越前下RB安裝RB電機Sens創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越RBTeachingGOT面板創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越RBTeachingGO創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越RBTeachingGOT操作創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越RBTeachingGO創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越后下RB原點復位方法同前下RB。調(diào)整四個RB電機Sensor。每個RB電機操作側(cè)與反操作側(cè)分別有3個Sensor，最外側(cè)為原點復位Sensor，中間為退避Sensor，最內(nèi)側(cè)為壓入Sensor。a、原點復位Sensor擋片為帶圓孔的長方形薄片，調(diào)整時將圓孔對準Sensor中間，Sensor指示燈處于常亮狀態(tài)；

b、退避Sensor擋片為長方形，調(diào)整擋片使其到Sensor中間距離為8mm，允許誤差控制在0.3mm內(nèi)，Sensor指示燈處于常亮狀態(tài)；c、壓入Sensor擋片為“C”形，調(diào)整擋片使其下側(cè)到Sensor中間距離為43創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越后下RB原點復位方創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越4mm，允許誤差控制在0.3mm內(nèi)，Sensor指示燈處于常亮狀態(tài)。將所有Cover裝上；檢查各閥門，將進液閥門打開，排液閥門關(guān)閉；投入純水，檢查Tank、Filter以及各管路是否有漏水。調(diào)整直接水洗TankSensor位置，RB側(cè)下限：370mm處(46L)，RB側(cè)定量：135mm處(112L)，RB側(cè)過多：118mm處(115L)；循環(huán)側(cè)下限：370mm處(46L)，循環(huán)側(cè)定量：110mm處(120L)，循環(huán)側(cè)瀑布：90mm處(126L)。

Tank中裝水放置8h以上，檢查有無漏水。

16、純水投入4321創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越4mm，允許誤差控制在0.3創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越純水投入Tank及管路檢查創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越純水投入Tank及管路檢查創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越安裝風切，調(diào)整風切，用直尺測量其到基板的距離為10.0±1.0mm。安裝中間部液切，上、下液刀到基板上下表面的距離相同：10.0±1.0mm。安裝出口液切，用直尺測量其到基板的距離10.0±1.0mm。安裝二流體，用直尺測量其到基板上表面的距離為5.0±0.5mm。

17、風切、液切及二流體安裝與調(diào)整1432創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越17、風切、液切及二流體安裝創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

先將filter頂部排氣管拆下，使用專用扳手將上蓋打開，裝入濾芯后將拆除件重新安裝，鎖緊。

18、FILTER濾芯安裝創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越18、FILTER濾芯安裝創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越將所有Nozzle接管取下，供給閥門打開；所有Nozzle接管取下目的：防止Tank或管路里的particle堵塞Nozzle。打開各個Filter回流閥門，將空氣排盡后關(guān)閉閥門；檢查常壓泵和高壓泵的旋向是否與泵體標示一致；（4）在GOT面板上查看各部分流量顯示，調(diào)整手動閥門，使得GOT面板顯示的流量達到標準值。a、RBrinse的所有Nozzle壓力0.1MPa；

注意19、流量調(diào)整1324創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越注意19、流量調(diào)整1324創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越手動閥門調(diào)整流量顯示創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越手動閥門調(diào)整流量顯示創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越GOT面板各部分當前流量顯示創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越GOT面板各部分當前流量顯示創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越b、兩端液切流量69L/min；c、二流體氣體流量3208L/min；d、二流體高壓液體壓力55MPa。（二流體高壓液體壓力的調(diào)整需要同時調(diào)節(jié)兩個手動閥：一個是回流到Tank中的BYPASS，另一個是通向二流體的高壓水管上的閥門）

將A/K安裝處開口部上、下不銹鋼擋板分別調(diào)至最上端和最下端，目的是將開口部間距調(diào)至最大；

首先將上、下風刀的調(diào)整塊安裝好，再將上、下風刀裝上，鎖緊

20、A/K安裝與調(diào)整21創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越b、兩端液切流量69L/mi創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越螺絲；從操作側(cè)到反操作側(cè)均勻測量5個點的上下風刀間距，調(diào)節(jié)調(diào)整塊，使得上下風刀間距為3.9mm～4.15mm，其中中間一點為3.9mm，其他為4.0mm～4.15mm。用兩個直尺測量上下風刀折線處到開口部直板的間距（測量5個點：兩側(cè)兩個點，中間三個調(diào)整塊三個點），比較數(shù)據(jù)分析上下風刀錯位情況，對比兩側(cè)兩個點的數(shù)據(jù)，選取合適的基準值，最后將五個點的間距都調(diào)整成基準值；先用整張基板調(diào)整最兩側(cè)的兩個C-roller，使基板上表面到風刀下表面距離為1.7mm，如果通過調(diào)整這兩個C-roller無法達到1.7mm，則需435創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越螺絲；435創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越要將上下風刀整體升降；剩余C-roller的調(diào)整，從反操作側(cè)第二個C-roller開始調(diào)整，一個接一個交錯調(diào)整；若其中一個C-roller調(diào)整完畢后，發(fā)現(xiàn)臨近的搬送roller偏高或偏低，還需要調(diào)整輥軸支架。

將整張基板中心置于開口部，測量基板上表面到開口部頂端的距離（均勻分布的三個點），測量基板下表面到開口部底端的距離（均勻分布的三個點），測量基板兩側(cè)面到開口部兩側(cè)面的距離，總共測量8個點。21、所有開口部尺寸確認76創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越要將上下風刀整體升降；21、創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越上下風刀錯位測量C-roller調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越上下風刀錯位測量C-roll創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越輥軸支架調(diào)整C-roller調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越輥軸支架調(diào)整C-roller創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越在GOT面板上打開閥門；打開A/K手動閥，流量調(diào)至2500L/min；打開排氣閥門，流量調(diào)至120L/min.打開控制箱中的FFU開關(guān)；確認FFU風扇旋轉(zhuǎn)方向與標記方向是否一致。從入口CV開始依次用轉(zhuǎn)速計測量各unit搬送roller的轉(zhuǎn)速，對照22、A/K流量調(diào)整23、FFU確認2132124、CLEANER各UNIT轉(zhuǎn)速調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越22、A/K流量調(diào)整23、F創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越標準轉(zhuǎn)速表，在GOT面板上調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速比，直到搬送roller達到標準值。

安裝電離器；調(diào)整電離器到基板上表面的距離：100±5mm；調(diào)整凈化空氣壓力：0.2MPa。確認ManualSW動作是否正常；確認基板檢查Sensor高度：10.0±1.0mm。26、NEUTRALCV調(diào)整25、電離器安裝與調(diào)整32121創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越標準轉(zhuǎn)速表，在GOT面板上調(diào)創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越Cleaner搬送roller轉(zhuǎn)速調(diào)整GOT操作創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越Cleaner搬送rolle創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越

確認ManualSW動作是否正常；確認整列氣缸動作是否流暢，有無異常聲音；調(diào)整整列氣缸開閉速度，流向方向和幅度方向的開閉時間相同：

2.0±0.3s；調(diào)整減速Sensor與停止Sensor的距離：120mm；調(diào)整停止緩沖塊的位置：基板在到達停止Sensor后停止，將緩沖塊輕輕接觸到基板，輕微抬起基板，基板與緩沖塊沒有碰刮。調(diào)整立替部氣缸升降速度，升降時間相同：5.0±0.3s；確認基板檢查Sensor（柱狀）到基板兩側(cè)邊緣距離：5.0±1.0mm，到

324567127、出口CV調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越32創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越基板下表面的高度：10.0±1.0mm。

在調(diào)試過程中，設(shè)備不可避免地會發(fā)生警報，當警報發(fā)生時，首先在GOT面板上查看警報的位置及詳細信息，然后到對應(yīng)的位置進行排查和確認。28、警報的確認與解除創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越基板下表面的高度：10.0±創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越SB單元包括：ROBOT、HP、CP、入口CV以及BUFFER；HB單元包括：ROBOT、HP、BUFFER、IMC、TURNTABLE以及出口CV；DB單元包括：HAP、CP、BUFFER以及ROBOT。SB、HB以及DB功能大致相同，HP、CP、ROBOT等都是相同的設(shè)備，HP與HAP也只是細微差別，所以這三個單元調(diào)試過程也大致相似，這里主要講解SB單元的調(diào)試，而對于HB單元和DB單元，只對與SB單元不同的部分進行講解。二、

SB/HB/DB安裝調(diào)試創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越二、SB/HB/DB安裝調(diào)創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越1、ROBOT手臂安裝用T5扳手將上下hand安裝到robot本體上，注意區(qū)分上下hand，連接氣管時防止折彎。

為了節(jié)省ABS原點復位的時間，首先需要操作手柄將robot各部分移動到原點附近(包括Z軸、TH角等），然后再進行原點復位，原點復位完成以后，關(guān)閉伺服電源后再重啟以完成數(shù)據(jù)保存。2、ABS原點復位（一）SB安裝調(diào)試創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越1、ROBOT手臂安裝創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越3、HANDLEVELING將上hand（下hand）推進CP3中（CP3高度適中，便于測量），用直尺和L形尺測量4根Folk的8個點到CP3底板距離，如圖所示，記錄數(shù)據(jù)，參照評判標準，如果超出標準，在folk根部添減sim（sim按厚度分為：0.05mm、0.1mm、0.2mm及0.3mm），使得測量數(shù)據(jù)符合要求。前方部調(diào)整/測定後方部調(diào)整/測定創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越3、HANDLEVELIN創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越評判基準：上手臂①～④≦1.0mm下手臂⑤～⑧≦1.0mm①-⑤=A（5±0.5mm）②-⑥=B（5±0.5mm）

③-⑦=C（5±0.5mm）④-⑧=Ｄ（5±0.5mm）Folk到CP3底板距離測量創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越評判基準：上手臂①～④≦1創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越4、直徑度調(diào)整推動arm用L形尺測量如圖a、b位置的尺寸，松開hand固定螺絲，調(diào)整hand位置，使得︱a-b︱=0.5mm，鎖緊固定螺絲。創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越4、直徑度調(diào)整推動a創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越5、FOLK與手掌垂直度調(diào)整推動arm用卷尺測量靠近Z軸的folk前后兩端到Z2軸的距離，松開folk固定螺絲，調(diào)整folk使得前后距離相等，鎖緊螺絲。abZ軸Z軸創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越5、FOLK與手掌垂直度調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越6、FOLK間距調(diào)整用卷尺測量folk之間的距離，松開第2、3、4根folk固定螺絲，依次調(diào)整這三根folk，如圖所示，使得他們之間的距離達到標準值后鎖緊螺絲。標準：a=535±0.5mm，b=580±0.5mm，Total=1650±1mm。ａｂａ創(chuàng)新進取正道經(jīng)營追求卓越6、FOLK間距調(diào)整創(chuàng)新進取正道經(jīng)營