中國濺射靶材市場規(guī)模、應(yīng)用結(jié)構(gòu)及企業(yè)格局發(fā)展現(xiàn)狀分析

中國濺射靶材市場規(guī)模、應(yīng)用結(jié)構(gòu)及企業(yè)格局發(fā)展現(xiàn)狀分析

濺射薄膜制備的源頭材料，又稱濺射靶材，特別是高純度濺射靶材應(yīng)用于電子元器件制造的物理氣相沉積（PVD）工藝，是制備晶圓、面板、太陽能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。真空狀態(tài)下，用加速的離子轟擊固體表面，離子和固體表面原子交換動量，使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面形成所需要的薄膜，這一過程稱為濺射。被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的源材料，通常稱為靶材。

靶材產(chǎn)業(yè)鏈：濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應(yīng)用等環(huán)節(jié)。其中，靶材制造和濺射鍍膜位于中游，是整個濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

《2020-2026年中國濺射靶材行業(yè)市場經(jīng)營管理及競爭策略建議報告》指出：半導體領(lǐng)域?qū)Π胁囊笞罡?。WSTS（全球半導體貿(mào)易統(tǒng)計組織）數(shù)據(jù)顯示，濺射靶材主要應(yīng)用在平板顯示、記錄媒體、光伏電池、半導體等領(lǐng)域。其中，在濺射靶材應(yīng)用領(lǐng)域中，半導體芯片對濺射靶材的金屬材料純度、內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)等方面都設(shè)定了極其苛刻的標準，需要掌握生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵技術(shù)并經(jīng)過長期實踐才能制成符合工藝要求的產(chǎn)品。因此，半導體芯片對濺射靶材的要求是最高的，價格也最為昂貴。

當前，全球靶材制造業(yè)，特別是高純度靶材市場，基本被寡頭壟斷，主要由日本三井礦業(yè)、日礦金屬、日本東曹、住友化學、日本愛發(fā)科，以及美國霍尼韋爾、普萊克斯等美日大型企業(yè)主導。根據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)，日礦金屬是全球最大的靶材生產(chǎn)企業(yè)，其靶材銷售額全球占比約30%，霍尼韋爾在收購JohnsonMattey后約占全球市場的20%，此外，東曹和普萊克斯市占率分別為20%、10%。這些企業(yè)在掌握了濺射靶材的核心生產(chǎn)技術(shù)后，實施極其嚴格保密措施，限制技術(shù)外泄，同時，不斷進行橫向擴張和縱向整合，積極將業(yè)務(wù)觸角伸向濺射鍍膜的各個領(lǐng)域，牢牢把握全球濺射靶材市場的主動權(quán)，引領(lǐng)全球濺射靶材產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進步。

目前，國內(nèi)靶材企業(yè)發(fā)展重點集中在低端產(chǎn)品領(lǐng)域，在半導體、平板顯示器和太陽能電池等市場無法與國際巨頭充分競爭，而是依靠巨大的國內(nèi)市場潛力和有利的產(chǎn)業(yè)政策，以及產(chǎn)品價格優(yōu)勢，占據(jù)國內(nèi)市場的一定市場份額，逐步搶占個別細分地區(qū)一些國際大型工廠的市場空間。近年來，我國政府制定了863計劃、02專項基金等一系列產(chǎn)業(yè)政策，以加快靶材供應(yīng)的本土化進程，推動國內(nèi)靶材實現(xiàn)多種應(yīng)用領(lǐng)域的跨越。這些都從國家戰(zhàn)略的高度支持和促進飛濺靶材產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

為促進飛濺靶材本土企業(yè)的發(fā)展，提高產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力和國際競爭力，促進傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型和產(chǎn)品升級，中國出臺了一系列扶持飛濺靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展的政策。

半導體芯片用靶材市場分析

半導體是金屬濺射靶的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一，也是對靶材組成、結(jié)構(gòu)和性能要求最高的領(lǐng)域。半導體芯片的制造過程可分為三個部分：硅片制造、晶圓制造和芯片封裝。

半導體芯片的金屬濺射靶的作用是制造金屬線，將信息傳輸?shù)叫酒＞唧w濺射過程：首先，利用高速電束流，在高真空條件下分別對不同金屬濺射靶材的表面進行轟擊，使各種靶材表面的原子層層沉積在半導體芯片表面，然后通過特殊加工工藝，將沉積在芯片表面的金屬薄膜蝕刻成納米級金屬線，芯片內(nèi)數(shù)以億計的微型晶體管相互連接，從而起到傳輸信號的作用。

SEMI統(tǒng)計，濺射靶材占半導體密封材料市場的2.7%左右，2018年中國半導體密封材料銷售額為197億美元，濺射靶材市場約為5.31億美元。綜合計算，2019年半導體靶材市場約48億元。

平板顯示用靶材市場分析

鍍膜是平板顯示行業(yè)不可或缺環(huán)節(jié)之一。平板顯示使用的PVD涂層材料主要是濺射靶材，其特性，如分辨率和透射性，與薄膜的特性密切相關(guān)。面板生產(chǎn)過程中，玻璃基板需要多次濺出和涂覆才能形成ITO玻璃，然后對液晶顯示器（LCD）、等離子顯示器（PDP）、有機發(fā)光二極管顯示器（OLED）等進行涂層處理。平板顯示器還包括基于LCD開發(fā)的觸摸（TP）顯示產(chǎn)品。產(chǎn)品具有厚度薄、重量輕、能耗低、輻射低、無閃爍、壽命長等特點，已成為顯示行業(yè)的主流。

平板顯示面板行業(yè)的快速增長為靶材制造商提供了廣闊的增長空間。圖形顯示行業(yè)靶材市場增長明顯，呈現(xiàn)爆炸式增長?；诋a(chǎn)品價格、采購本地化等考慮，面板