拋光清洗學(xué)習(xí)經(jīng)驗之總結(jié)

2023/1/161LiDingChun深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/162拋光清洗工藝流程ADE厚度分組一步擦洗一步拋光二步拋光AOI全檢二步清洗Candela測量SPCSPCLiDingChun深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/163拋光清洗檢測原理◆拋光的切削原理:使用一定的壓力，通過拋光機上／下盤相對于盤片的運動，在拋光液顆粒的機械作

用和化學(xué)物質(zhì)的化學(xué)作用下，對盤片表面進行切削，使盤片產(chǎn)生一定的去除量◆OL的清洗原理:

利用清洗劑的化學(xué)作用和PVA海綿刷的機械作用再結(jié)合超聲波兆聲波的作用將盤片表

面的臟污進行去除,最后借助烘干倉內(nèi)DI水與盤片在高速轉(zhuǎn)動的相對速度下,會產(chǎn)生

較大的沖擊力達到清除吸附雜質(zhì)的目的,并在高速旋轉(zhuǎn)時,增大離心力,使盤片表面

很快脫水進行烘干◆AOI的檢測原理:主要是利用激光對盤片表面進行照射，根據(jù)光反射回的強度將其轉(zhuǎn)換成電壓值從而

判斷和檢測出盤片的表面缺陷并分類(不同形狀的缺陷反射的電壓值不一樣)深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/164厚度分組工藝簡介◆厚度分組的目的:

測量盤片厚度，根據(jù)厚度進行分組，將厚度接近的盤片歸為一組(一盤)◆厚度分組的作用:

使每一個盤片在拋光過程中所受的壓力均等,有利于控制各種工藝參數(shù)◆厚度分組的程序:根據(jù)工藝要求設(shè)定分組程序,目前我們SAH料每一個組別內(nèi)的間距是0.05,比如說我們

現(xiàn)在的四組物料的厚度是在69.97-69.02之間,該四組物料最小值減0.05等于3組,該

四組物料最大值加0.05等于5組,根據(jù)該間距依次類推即可算出其它組別物料的厚度◆厚度分組的要求:

根據(jù)要求拋光每盤料厚度間距(Range)要求控制在0.1之內(nèi),那么分組時4組跟5組物料

是可以放在一起做為一盤給拋光進行拋光,如果沒按0.1來控制的話,可能會影響合格

率,因為當(dāng)一盤料有的特別厚而有的特別薄在拋光時不利于控制各項數(shù)據(jù)深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/165拋光一步工藝簡介◆一步拋光的目的:

大量去除電鍍后盤片表面上的研磨劃痕,鎳磷層和各種缺陷等◆一步拋光的程序:

◆一步拋光的作用:

對鍍鎳片的表面質(zhì)量進行初步控制為二步精拋做準備程序目的作用5#做料做料程序,主副拋時間壓力設(shè)置為1.3*2+1+240+180**干壓換好新PAD后運行干壓程序,使其新PAD更好的粘在上下盤間,新PAD壓力設(shè)置在36KG±2左右8#磨盤換好新PAD后使用該程序進行開PAD磨盤,新PAD需磨4次8#,主副拋時間壓力設(shè)置為10.0*2+1+280+1809#磨盤換好新PAD后使用該程序進行開PAD磨盤,新PAD需磨1次9#,主副拋時間壓力設(shè)置為8.0*2+1+250+18051#壓盤當(dāng)待料停機時運行此程序,此程序無轉(zhuǎn)速,但會自動加水55#洗盤當(dāng)機器每做六盤料或磨一次盤后都需要利用洗盤刷對PAD進行一次清潔洗盤工作深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/166拋光一步工藝簡介◆一步拋光的拋光液:名稱原液配比作用SLURRY1F7702F7702:DI水:540X:H202=1:3:0.001925:0.079在一步拋光過程中起到主拋作用，原液顆粒大，去除率高，大量去除盤片表面研磨劃痕和電鍍?nèi)毕荩勘P料大概使用160秒左右）SLURRY2M1701M1701:DI水:H202=1:3:0.0792在一步拋光過程中起到副拋作用，原液顆粒小，去除率低，幫助去除盤片上的細小劃痕（每盤料固定使用60秒）◆一步拋光的輔料:名稱作用使用要求拋光墊結(jié)合拋光液拋掉盤片表面上的缺陷正常的拋光墊使用800次到1200次及為到期（1次等于一盤料）齒輪片固定盤片在盤里的位置1.0MM的齒輪片可以使用6500到7500次及為到期（1次等于一盤料）拋光液結(jié)合拋光墊拋掉盤片表面上的缺陷一步配制一桶SLURRY1或SLURRY2必須在12小時內(nèi)用完，使用過程中必須要用50的過濾袋進行過濾，過濾袋每月（30天）需更換一次◆一步拋光的外圍環(huán)境:名稱作用使用要求水槽放置和浸泡盤片已拋水箱12H換一次水，換水后需加入400ML1806清洗劑，已拋水箱的盤片每盤最少要浸泡3分鐘才能轉(zhuǎn)入下一工序，目的是去除盤片表面臟污有利于后工工序清洗，未拋水箱12H換一次水深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/167拋光一步工藝簡介◆一步拋光做料步驟(新PAD):◆一步拋光做料步驟(舊PAD但停機2小時):◆一步拋光做料步驟(舊PAD但停機超過2小時):◆一步拋光做料講解:深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/168一步擦洗工藝簡介◆一步擦洗的目的:對盤片進行清洗為后工序做準備◆一步擦洗的作用:對盤片進行清洗提高和便于后工序的工藝控制◆一步擦洗的步驟:◆一步擦洗的輔料:名稱作用使用要求海綿清洗刷清洗盤片每一個月更換一次，每24小時在機床上利用高轉(zhuǎn)速清洗一次，注意前倉和后倉刷子不能混用，因為一個有清洗劑一個則沒有過濾芯過濾DI水機床所使用的DI水需經(jīng)過0.45的過濾芯進行過濾，每月需更換一次過濾芯水槽浸泡盤片待洗水槽每12H換一水，已洗水槽每12H換一次水，已洗水槽需留意不能有清洗劑在里面深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/169拋光二步工藝簡介◆二步拋光的目的:

去除一步拋光后盤片表面殘留的細小劃痕和電鍍?nèi)毕荨舳綊伖獾淖饔?

對盤片表面進行高精度的拋光,達到相關(guān)的控制參數(shù)◆二步拋光的程序:程序目的作用1#做料正常做料程序，主副拋時間壓力設(shè)置6分30秒+3分+1分+250+250+1802#做料正常做料程序，主副拋時間壓力設(shè)置6分30秒+3分+1分+250+250+1803#加拋光液加拋光液程序，每洗一次盤后需運行此程序加拋光液有一次4#加水加水程序，當(dāng)待料停機時運行此程序，此程序無轉(zhuǎn)速，但每隔20分種會自動給機床加水30秒5#磨金剛砂新PAD磨金剛砂程序，新PAD表面很光滑，PAD的毛囊是封閉狀態(tài)，需借助金剛砂運行此程序開PAD打開毛囊6#磨金剛砂舊PAD磨金剛砂程序，舊PAD表面很光滑，需借助金剛砂運行此程序?qū)AD進行修復(fù)7#干壓新PAD干壓程序，運行此程序使其新PAD更好的粘合在上下盤上面8#磨盤磨盤程序，新舊PAD開機前都需要磨盤，以便讓PAD達到最佳狀態(tài)9#洗盤當(dāng)機器每組四盤料或磨一次盤后都需要對PAD利用洗盤刷進行一次洗盤清潔工作深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/1610拋光二步工藝簡介◆二步拋光的拋光液:名稱別名配比作用SLURRY1K2320KAO2P-2320A:DI:B:C1:6.5:0.5:0.5在二步拋光過程中起到主拋作用，原液顆粒較細，去除率低,重點拋掉盤片表面上的一步后的輕微劃痕SLURRY2K2320-LBKAO2P-2320LBA:DI:B:C=1:6.8:0.2:0.5在二步拋光過程中起到副拋作用，重點是拋掉電鍍Pit，盤片經(jīng)過二步拋光后在顯微鏡下幾乎再很難看到劃痕◆二步拋光的輔料:名稱作用使用要求拋光墊結(jié)合拋光液拋掉盤片表面上的缺陷正常的拋光墊使用60H到70H及到期，需要洗機床更換新的拋光墊齒輪片固定盤片在盤里的位置1.5MM的齒輪片使用期限為165H到175H及到期，需更換新的齒輪片拋光液結(jié)合拋光墊拋掉盤片表面上的缺陷二步配置一桶SLURRY1或SLURRY2必須在8小時內(nèi)用完，使用過程中需要用0.2的過濾器進行過濾，過濾器每一個星期需更換一次，如果中途堵塞需提前更換深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/1611拋光二步工藝簡介◆二步拋光的外圍環(huán)境:名稱作用使用要求水槽浸泡盤片待拋水箱每6小時換一次水，待轉(zhuǎn)水箱每12小時換一次水（流動水24小時打開），浸泡水槽每12小時換一次水，每次換水后加入750ML1806清洗劑，并且揀完料后盤片需在浸泡水槽浸泡8分鐘±3分鐘左右洗盤刷浸泡洗盤刷二步洗盤刷每12小時需換一次水，洗盤刷和二步水槽每半個月殺菌一次工裝揀料一步，二步揀料工裝每班沖洗一次，工裝杯每班換一次水，每半月殺一次菌◆二步拋光的工作要點:

二步拋光是拋光過程中的重中之中，所以對二步的拋光要求比較嚴格，因此在二步

拋光過程我們要做到以下幾點一、時刻保持著機床的干凈整潔，避免因臟污帶入盤而造成劃痕二、機床水槽每次換水時必須用凈化布擦洗一遍再沖洗，并時刻保持著干凈狀態(tài)三、手套要保持干凈狀態(tài)，要做到多沖洗四、總而嚴之一定要保持二步的所有物品，輔料24小時都是在干凈、整潔的狀態(tài)中深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/1612拋光二步工藝簡介◆二步拋光做料步驟(新PAD):◆二步拋光做料步驟(舊PAD停機超過30分鐘):◆二步拋光做料講解:深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/1613二步清洗工藝簡介◆二步清洗的作用:

清洗盤片表面臟污并甩干◆二步清洗的目的:

對盤片表面的臟污進行高規(guī)格的清洗并甩干,以達到客戶的要求◆二步清洗各模塊簡介:模塊作用加料倉通過傳送帶將物料準確分開內(nèi)外軌，并對物料進行簡單噴洗再送到超聲波槽超聲波超聲波發(fā)生器發(fā)出的高頻振蕩信號，通過換能器轉(zhuǎn)換成高頻機械振蕩而傳播到介質(zhì)，在清洗溶劑中產(chǎn)生的氣泡沖擊波能破壞不溶性的污物，使其分散脫落于溶液中，從而達到清洗件表面凈化的目的擦洗倉利用清少劑的化學(xué)作用和PVA海綿刷的機械作用將盤片表面的臟污進行去除兆聲波由高能頻振效應(yīng)對盤片進行清洗的，以高速的流體波連續(xù)沖擊盤片表面,使盤片表面附著的污染物和微粒被強制除去并進入到清洗DI水中烘干倉通過DI水與盤片有較高的相對速度運動,會產(chǎn)生較大的沖擊力達到清除吸附雜質(zhì)的目的，并通過旋轉(zhuǎn)速度,增大離心力,使盤片表面很快脫水深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/1614二步清洗工藝簡介◆二步清洗的清洗流程:◆二步清洗的輔料:模塊作用使用要求0.1過濾芯過濾DI水烘干倉使用一個0.1過濾芯，每兩個月更換一次，兆聲波使用三個0.1過濾芯，每一個月更換一次，機床總進水使用一個0.1過濾芯，每一個月更換一次0.45過濾芯過濾DI水超聲波使用2個0.45過濾芯，每半個月更換一次（15天）海綿清洗刷清洗盤片清洗海綿刷每一個月更換一次（以前按產(chǎn)量更換，現(xiàn)機床開開停停不再按產(chǎn)量來更換），海綿刷每２４小時必須利用６００轉(zhuǎn)每分的高轉(zhuǎn)速進行清洗雙氧水殺菌清洗殺菌時使用，殺菌使用要求為超聲波加兩瓶雙氧水進行１５分鐘循環(huán)，兆聲波加兩瓶雙氧水進行１５分鐘循環(huán)，殺菌罐子加兩瓶雙氧水利用ＣＤＡ壓縮氣對機床內(nèi)部管道進行進行噴洗殺菌，噴完后再噴１５分鐘的ＤＩ水，加料倉，擦洗模塊，烘干倉直接將雙氧水噴在機床內(nèi)壁，死角后靜止１５分鐘，各模塊殺完菌后利用大量清水沖洗２遍后再用酒精擦洗機床內(nèi)壁，然后再用大量清水沖洗后對超聲兆聲波各槽最少加排水七次以上，隨后即可廢品試機運行ＯＫＲＣ清洗劑清洗盤片超聲波槽每次換水后需要每個槽各加２５０ＭＬ１８０６清洗劑，機床后方的清洗劑罐則每次用完后重新按１：１的比例加入５００ＭＬ１８０６清洗劑和５００ＭＬＤＩ水深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/1615二步清洗工藝簡介◆清洗崗位工作重點要求:◆清洗崗位維修要求:深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/1616AOI測量簡介◆AOI測量的目的:

對盤片的表面質(zhì)量進行檢測◆AOI測量的作用:

對盤片的表面質(zhì)量進行監(jiān)控并分類,利于控制產(chǎn)品的質(zhì)量和為改善提供依據(jù)◆AOI測量流程:◆AOI測量要求:深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/1617Candela測量簡介◆Candela測量的目的:

對盤片的表面質(zhì)量進行檢測◆Candela測量的作用:

對盤片的表面質(zhì)量進行監(jiān)控并分類,利于控制產(chǎn)品的質(zhì)量和為改善提供依據(jù)◆Candela測量流程:◆Candela測量和AOI測量的比較:深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/1618AOI缺陷分析與改善◆AOI缺陷主要種類:◆AOI缺陷初步分析與改善:缺陷名原因及改善措施Par%主要產(chǎn)生于清洗線，二步拋后物料在清洗劑水槽浸泡時間短，車間環(huán)境不好，二步拋光墊狀態(tài)不佳等，如果出現(xiàn)高Par%應(yīng)檢查清洗機床狀態(tài)，安排ＯＫＲＣ看合格率怎么樣，如果不可以則安排洗刷換水或殺菌并安排ＯＫＲＴ監(jiān)控凈化間環(huán)境，如果換水后ＯＫＲＣ還是不行則應(yīng)檢查機床氣壓，過濾芯，刷子是否過期等，或是機床原因因開單維修，如果ＯＫＲＴ也不行，則應(yīng)對機床用酒精凈化布擦拭一遍并重新安排ＯＫＲＴ，如果還不行應(yīng)請ＱＡ幫忙測量凈化間環(huán)境，如果ＯＫＲＣ合格率可以則問題很有可能出現(xiàn)在二步，查看二步拋光墊的狀態(tài)是否良好，如果表面光滑或有輕微劃痕打磨中間金剛砂并更換二步水箱的水，如果劃痕嚴重且其它不可修復(fù)的原因應(yīng)及時更換拋光墊，或者是拋光液沒有按要求去配導(dǎo)致里面的比例失調(diào)，如果確認是應(yīng)該重新配置，也可檢查擦機床是否有清洗劑，刷子是否有轉(zhuǎn)動，因為當(dāng)物料沒有擦洗干凈時會直接影響二步數(shù)據(jù)，除環(huán)境影響外Par%重點出現(xiàn)在清洗身上，其次是二步，因此當(dāng)Par%異常時應(yīng)重點檢查此兩個工序的生產(chǎn)狀態(tài)Sha%主要產(chǎn)生于一步，如果出現(xiàn)高Sha%應(yīng)檢查一步拋光墊是否粗糙，去除率是否低，拋光液是否有問題，拋光液流量是否正常,員工操作,ADE厚度分組等，如果拋光墊粗糙則直接更換新的，正常情況下如果去除率低的話大半是拋光液太清淡，原液顆粒少造成的則應(yīng)直接重新配制，如果流量低或造成去除率低應(yīng)及時調(diào)整流量,員工操作應(yīng)該以輕拿輕放為原則，同時工藝洗盤和工藝磨盤也是有效果的深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/1619AOI常見缺陷分析與改善◆AOI缺陷初步分析與改善:缺陷名原因及改善措施Scr%主要產(chǎn)生二步，當(dāng)Scr%高時應(yīng)檢查機床是否干凈，是否按要求洗盤，擦內(nèi)外圈等，因為當(dāng)臟污落入盤里后直接在盤片表面上摩擦，重而造成劃痕，以上原因引起的劃痕都歸類為人為不當(dāng)造成的劃痕，簡稱人為劃痕，因此當(dāng)出現(xiàn)高Scr%時應(yīng)加強培訓(xùn)員工的操作，清潔意識等MicroPit%＼Micro%主要產(chǎn)生清洗擦洗模塊，當(dāng)MicroPit%＼Micro%高時應(yīng)檢查清洗的刷子是否過期，是否破損，是否清洗干凈，拋光齒輪片是否卷邊等，但也不排除電鍍的原因，刷子到期或是破損應(yīng)更換新的，如果沒洗干凈應(yīng)該重新洗刷換水，齒輪片出現(xiàn)卷邊應(yīng)用８００＃紗紙打磨Pit/Bump%主要產(chǎn)生二步揀放料，當(dāng)Pit/Bump%高時，應(yīng)檢查員工的揀放料動作是否隨意，如果過重或隨意應(yīng)及時糾正，因為當(dāng)揀料隨意時容易導(dǎo)致盤片互相相撞，或是放料時盤片與齒輪片相撞摩擦等，因此當(dāng)出現(xiàn)該缺陷時應(yīng)該及時培訓(xùn)員工的操作Droplet/C4%多半是環(huán)境影響導(dǎo)致盤片有臟污，當(dāng)Droplet/C4%高時應(yīng)檢查清洗，AOI環(huán)境，重點檢查烘干倉是否有水蒸汽，空氣是否污染等，因為該缺陷幾乎全部都可以返洗掉Overflow%主要產(chǎn)生二步拋光液斷留，當(dāng)Overflow%高時應(yīng)檢查拋光液是否段流，如果斷流直接導(dǎo)致盤片干磨從而導(dǎo)致缺陷太多無法檢測分類Cluster%主要產(chǎn)生清洗，當(dāng)Cluster%高時應(yīng)該是盤片沒洗干凈，因為該缺陷表示的是盤片表面缺陷較多，但該缺陷出現(xiàn)的較少，因此我的分析經(jīng)驗不多，所以具體產(chǎn)生原因不詳uDefect%主要產(chǎn)生清洗烘干倉，當(dāng)uDefect%高時應(yīng)檢查烘干倉的氣壓，溫度是否在正常范圍內(nèi)，或者空槽太久導(dǎo)致烘干倉溫度下降，因此當(dāng)空槽太多時應(yīng)該加廢品在正常料前面，以便讓烘干倉溫度達到正常后再烘正常料深圳長城開發(fā)鋁基片有限公司2023/1/1620FA常見缺陷分析與改善缺陷名中文名產(chǎn)生原因及改善措施Fungus細菌多半產(chǎn)生在清洗,出現(xiàn)該缺陷應(yīng)及時對清洗線進行全線殺菌換水,其次是拋光各水槽,輔助用品進行殺菌,重點還是清洗線要按工藝要求每半個月之內(nèi)必須要進行一次全線殺菌處理Droplet水滴主要產(chǎn)生清洗烘干倉和凈化間的環(huán)境,因為該缺陷是在烘干后外來的顆粒粘附在盤片表面的,可以通過返洗給洗掉的Scr-Ni-H人為劃痕該缺陷出現(xiàn)的比例也是及高的,主要產(chǎn)生二步的機床環(huán)境,因此出現(xiàn)該缺陷應(yīng)檢查二步機床上是否有拋光液顆粒結(jié)晶,員工手