RENA設(shè)備SO操作流程更換隔膜泵

RENA設(shè)備SOP操作流程更換隔膜泵1制作:劉國柱楊輝審核:2009.08.17---2009.08.22首先設(shè)備停止進(jìn)料，點(diǎn)擊STOP鍵停止設(shè)備運(yùn)行

2以更換HNO3供液隔膜泵為例點(diǎn)擊MODEMANUAL進(jìn)入手動(dòng)模式3以更換HNO3供液隔膜泵為例

點(diǎn)擊MANUAL進(jìn)入手動(dòng)操作界面4以更換HNO3供液隔膜泵為例

5以更換HNO3供液隔膜泵為例

點(diǎn)擊etchbath，選擇MODEMAN,然后按按鈕”systemdraining把etchbath的化學(xué)品排空以更換HNO3供液隔膜泵為例刻蝕槽以及tank沖洗，按下”systemrinsing“沖洗（熒幕的左邊）.刻蝕槽以及tank將被充滿水開始循環(huán)，這個(gè)過程可以設(shè)定沖洗的次數(shù)（參數(shù)》第二參數(shù)，第三檔位，位于熒幕的下邊。之后將水排掉，刻蝕槽和tank將是空的（建議沖洗兩次，每次循環(huán)10分鐘）。6以更換HNO3供液隔膜泵為例7沖洗結(jié)束后來到外圍酸房并防護(hù)用品穿好以更換HNO3供液隔膜泵為例8

先關(guān)閉藥罐壓縮空氣總進(jìn)氣閥以更換HNO3供液隔膜泵為例9然后關(guān)閉隔膜泵進(jìn)藥端閥門和隔膜泵出藥端閥門，拆下隔膜泵與各閥門處的接頭，壓縮空氣管接頭出藥控制閥進(jìn)藥控制閥CDA接頭泵接口泵接口以更換HNO3供液隔膜泵為例10

在拆下各零接頭以后應(yīng)該使用水槍對(duì)隔膜泵的外面和管道周邊進(jìn)行清洗，以免藥液的殘留造成危險(xiǎn)，更換新的隔膜泵，打開接頭閥門及總壓縮空氣控制閥，并手動(dòng)加液測試是否正常。更換過程總總結(jié)11因更換隔膜膜泵是危險(xiǎn)險(xiǎn)工作，必必須兩人作作業(yè)，全部部穿戴防護(hù)護(hù)用品，更更換過程不不可野蠻操操作，拆開開接頭必須須橫向推離離，不可上上下晃動(dòng)拔拔出，避免免藥液飛濺濺傷到自己己及他人。。清洗拆下下的隔膜泵泵時(shí)也必須須穿戴好防防護(hù)用品，，清洗過后后，必須用用事先準(zhǔn)備備好的防化化袋包裝好好。此泵泵更更換換過過程程是是根根據(jù)據(jù)泵泵使使用用壽壽命命提提前前更更換換，，如如泵泵未未到到使使用用壽壽命命而而出出現(xiàn)現(xiàn)故故障障，，必必須須先先判判是是否否為為斷斷隔隔膜膜泵泵本本身身問問題題，，再再進(jìn)進(jìn)行行處處理理，，是是否否需需要要更更換換。。判斷斷過過程程：：1.首先先確確認(rèn)認(rèn)外外圍圍藥藥房房是是否否有有藥藥液液。。2.手動(dòng)動(dòng)加加液液檢檢查查控控制制泵泵的的電電磁磁閥閥及及氣氣動(dòng)動(dòng)閥閥是是否否工工作作。。3.檢查查控控制制控控制制壓壓控控是是