標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 11446.9-2013 電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法》相比于其前版《GB/T 11446.9-1997 電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法》，主要在以下幾個(gè)方面進(jìn)行了更新與完善：

  1. 技術(shù)內(nèi)容的更新：2013版標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)近年來電子級(jí)水質(zhì)檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展，對(duì)測(cè)試方法的準(zhǔn)確度、靈敏度及適用范圍進(jìn)行了調(diào)整和優(yōu)化，以適應(yīng)更高純度水樣中微粒檢測(cè)的需求。

  2. 測(cè)試儀器與技術(shù)的進(jìn)步：新標(biāo)準(zhǔn)引入了更先進(jìn)的微粒計(jì)數(shù)器技術(shù)和激光散射原理，提高了對(duì)微小顆粒物的識(shí)別能力和定量分析精度，同時(shí)對(duì)儀器的校準(zhǔn)方法和性能要求也給出了更詳細(xì)的規(guī)定。

  3. 采樣與預(yù)處理方法的改進(jìn)：為了減少測(cè)試過程中的污染風(fēng)險(xiǎn)，2013版標(biāo)準(zhǔn)對(duì)樣品的采集、儲(chǔ)存、轉(zhuǎn)移以及預(yù)處理步驟進(jìn)行了更加嚴(yán)格的規(guī)定，確保測(cè)試結(jié)果的可靠性。

  4. 質(zhì)量控制與數(shù)據(jù)處理：增加了關(guān)于測(cè)試過程中質(zhì)量控制的要求，如空白試驗(yàn)、重復(fù)性試驗(yàn)和再現(xiàn)性試驗(yàn)的具體操作指導(dǎo)，以及對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析的方法進(jìn)行了細(xì)化，確保測(cè)試結(jié)果的科學(xué)性和可比性。

  5. 環(huán)境條件與操作規(guī)范：明確了進(jìn)行微粒測(cè)試時(shí)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境應(yīng)滿足的條件，包括溫濕度控制、靜電防護(hù)等，同時(shí)對(duì)操作人員的技能要求和操作程序進(jìn)行了標(biāo)準(zhǔn)化，以減少外部因素對(duì)測(cè)試結(jié)果的干擾。

  6. 標(biāo)準(zhǔn)適用范圍的擴(kuò)展：新標(biāo)準(zhǔn)不僅適用于傳統(tǒng)意義上的電子級(jí)純水，還考慮到了隨著半導(dǎo)體、集成電路等行業(yè)進(jìn)步而產(chǎn)生的對(duì)更高純度水的新要求，擴(kuò)大了標(biāo)準(zhǔn)的適用范圍。


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....

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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2013-12-31 頒布
  • 2014-08-15 實(shí)施
?正版授權(quán)
GB/T 11446.9-2013電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法_第1頁
GB/T 11446.9-2013電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法_第2頁
GB/T 11446.9-2013電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法_第3頁
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文檔簡(jiǎn)介

ICS31030

L90-

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T11446.9—2013

代替

GB/T11446.9—1997

電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法

Testmethodforparticlesinelectronicgradewaterbyinstrument

2013-12-31發(fā)布2014-08-15實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T114469—2013

.

前言

預(yù)計(jì)結(jié)構(gòu)如下

GB/T11446:

電子級(jí)水

———GB/T11446.1;

待定

———GB/T11446.2();

電子級(jí)水測(cè)試方法通則

———GB/T11446.3;

電子級(jí)水電阻率的測(cè)試方法

———GB/T11446.4;

電子級(jí)水中痕量金屬的原子吸收分光光度測(cè)試方法

———GB/T11446.5;

電子級(jí)水中二氧化硅的分光光度測(cè)試方法

———GB/T11446.6;

電子級(jí)水中痕量陰離子的離子色譜測(cè)試方法

———GB/T11446.7;

電子級(jí)水中總有機(jī)碳的測(cè)試方法

———GB/T11446.8;

電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法

———GB/T11446.9;

電子級(jí)水中細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測(cè)試方法

———GB/T11446.10。

本部分為的第部分

GB/T114469。

本部分按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本部分代替電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法

GB/T11446.9—1997《》。

本部分與相比主要有下列變化

GB/T11446.9—1997,:

重新對(duì)微粒進(jìn)行了定義見第章

———“3.1”(3);

增加了干擾因素見第章

———“5”(5);

刪除了注意事項(xiàng)見年版的第章

———“11”(199711);

修訂了Pi的定義

———。

本部分由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出

。

本部分由中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院歸口

。

本部分起草單位信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所中國電子技

:、、

術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所

、。

本部分主要起草人王奕褚連青何秀坤段曙光提劉旺劉筠

:、、、、、。

本部分所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T11446.9—1989、GB/T11446.9—1997。

Ⅰ

GB/T114469—2013

.

電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法

1范圍

的本部分規(guī)定了電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)定方法

GB/T11446。

本部分適用于電子級(jí)水中微粒的連續(xù)式或單次檢測(cè)計(jì)數(shù)測(cè)定的微粒粒徑不小于微粒的

,0.05μm,

濃度范圍為個(gè)

0~10000/mL。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

電子級(jí)水

GB/T11446.1—2013

電子級(jí)水測(cè)試方法通則

GB/T11446.3—2013

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T11446.3—2013。

31

.

微粒particle

粒狀物除去氣體非均勻地分散在水中的非液態(tài)物質(zhì)

,,。

4方法原理

一束經(jīng)聚焦的激光垂直于水樣流向方向入射水中的微粒將產(chǎn)生光散射效應(yīng)散射光的強(qiáng)度與微粒

,,

的大小具有一定的關(guān)系散射光經(jīng)聚光鏡會(huì)聚到光電倍增管將光信號(hào)變成電脈沖電脈沖的數(shù)目和幅

,,,

度分別與水中微粒的數(shù)目和直徑成正比電脈沖信號(hào)經(jīng)放大輸入計(jì)算機(jī)處理后可直

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