中國(guó)離子注入機(jī)行業(yè)產(chǎn)量、市場(chǎng)規(guī)模、競(jìng)爭(zhēng)格局分析

中國(guó)離子注入機(jī)行業(yè)產(chǎn)量、市場(chǎng)規(guī)模、競(jìng)爭(zhēng)格局分析

1、離子注入機(jī)政策環(huán)境分析

離子注入機(jī)是高壓小型加速器中的一種，應(yīng)用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子，經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等。

常用的生產(chǎn)型離子注入機(jī)主要有三種類型：低能大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)和中低束離子注入機(jī)。這些離子注入機(jī)的運(yùn)行原理基本相似，但是注入計(jì)量范圍和具體在工藝中的主要應(yīng)用各有不同。

離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中，離子注入機(jī)即是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。

從政策環(huán)境上來看，我國(guó)對(duì)于離子注入機(jī)行業(yè)較為重視。其主要表現(xiàn)在將離子注入機(jī)在多項(xiàng)政策中列為推薦發(fā)展的關(guān)鍵設(shè)備。如《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推薦綱要》中明確提出，要離子注入機(jī)作為關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)行研發(fā)；《首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄》（2019年版）也將中束流、大束流、高能離子注入機(jī)等離子注入機(jī)列入了名錄。

高能離子注入機(jī)是離子注入機(jī)中技術(shù)難度最大的機(jī)型。長(zhǎng)久以來，因其極大的研發(fā)難度和較高的行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)壁壘，被稱為離子注入機(jī)領(lǐng)域的“珠穆朗瑪峰”，是我國(guó)集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)鏈上亟待攻克的關(guān)鍵一環(huán)。

2、離子注入機(jī)產(chǎn)量、需求量、市場(chǎng)規(guī)模分析

《2021-2027年中國(guó)離子注入機(jī)行業(yè)市場(chǎng)發(fā)展現(xiàn)狀分析及供需格局預(yù)測(cè)報(bào)告》顯示：2020年我國(guó)離子注入機(jī)產(chǎn)量為26臺(tái)，2016年以來產(chǎn)量復(fù)合增長(zhǎng)率為59.67%；2020年我國(guó)離子注入機(jī)需求為256臺(tái)，2016年以來需求復(fù)合增長(zhǎng)率為13.00%。

近年來，隨著凱世通等國(guó)內(nèi)生產(chǎn)商研發(fā)生產(chǎn)能力的提升，我國(guó)光伏領(lǐng)域離子注入機(jī)基本實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，并逐步向集成電路領(lǐng)域滲透。2016年我國(guó)離子注入機(jī)市場(chǎng)規(guī)模為23.22億元，2020年我國(guó)離子注入機(jī)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到44.53億元，2016年以來我國(guó)離子注入機(jī)規(guī)模復(fù)合增速為17.68%。

2020年我國(guó)離子注入機(jī)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到了445315萬(wàn)元，其中集成電路領(lǐng)域規(guī)模達(dá)到了432400萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)54.10%，光伏及其他領(lǐng)域達(dá)到了12915萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)24.13%，離子注入機(jī)行業(yè)兩大市場(chǎng)存在一定的分化，主要是由于下游行業(yè)景氣程度不一，投資規(guī)模變動(dòng)較大導(dǎo)致，但總體呈現(xiàn)出明顯的增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。

從細(xì)分領(lǐng)域來看，2020年離子注入機(jī)集成電路領(lǐng)域市場(chǎng)規(guī)模占比達(dá)97.1%，其他領(lǐng)域市場(chǎng)規(guī)模占比為2.9%。

3、離子注入機(jī)競(jìng)爭(zhēng)格局

全球離子注入機(jī)的領(lǐng)先企業(yè)主要分布在美國(guó)、日本和中國(guó)，其中，中國(guó)大陸擁有中科信和凱世通兩家離子注入機(jī)行業(yè)的龍頭企業(yè)，其中凱世通在光伏離子注入機(jī)方面遙遙領(lǐng)先。而美國(guó)則擁有近乎壟斷IC離子注入機(jī)市場(chǎng)的應(yīng)用材料，以及漢辰科技、Axcelis、intevac等企業(yè)。日本也擁有日新、日本真空、住友重工等離子注入機(jī)知名廠商。

隨著集成電路工藝技術(shù)的持續(xù)提升，晶體管不斷縮小，集成電路制程進(jìn)一步向尖端工藝發(fā)展，這對(duì)相關(guān)生產(chǎn)制造設(shè)備也提出了