中國離子注入機行業(yè)產(chǎn)量、市場規(guī)模、競爭格局分析

中國離子注入機行業(yè)產(chǎn)量、市場規(guī)模、競爭格局分析

1、離子注入機政策環(huán)境分析

離子注入機是高壓小型加速器中的一種，應用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子，經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等。

常用的生產(chǎn)型離子注入機主要有三種類型：低能大束流離子注入機、高能離子注入機和中低束離子注入機。這些離子注入機的運行原理基本相似，但是注入計量范圍和具體在工藝中的主要應用各有不同。

離子注入機是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量并注入至特定半導體材料中，離子注入機即是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。

從政策環(huán)境上來看，我國對于離子注入機行業(yè)較為重視。其主要表現(xiàn)在將離子注入機在多項政策中列為推薦發(fā)展的關(guān)鍵設(shè)備。如《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推薦綱要》中明確提出，要離子注入機作為關(guān)鍵設(shè)備進行研發(fā)；《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應用指導目錄》（2019年版）也將中束流、大束流、高能離子注入機等離子注入機列入了名錄。

高能離子注入機是離子注入機中技術(shù)難度最大的機型。長久以來，因其極大的研發(fā)難度和較高的行業(yè)競爭壁壘，被稱為離子注入機領(lǐng)域的“珠穆朗瑪峰”，是我國集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)鏈上亟待攻克的關(guān)鍵一環(huán)。

2、離子注入機產(chǎn)量、需求量、市場規(guī)模分析

《2021-2027年中國離子注入機行業(yè)市場發(fā)展現(xiàn)狀分析及供需格局預測報告》顯示：2020年我國離子注入機產(chǎn)量為26臺，2016年以來產(chǎn)量復合增長率為59.67%；2020年我國離子注入機需求為256臺，2016年以來需求復合增長率為13.00%。

近年來，隨著凱世通等國內(nèi)生產(chǎn)商研發(fā)生產(chǎn)能力的提升，我國光伏領(lǐng)域離子注入機基本實現(xiàn)進口替代，并逐步向集成電路領(lǐng)域滲透。2016年我國離子注入機市場規(guī)模為23.22億元，2020年我國離子注入機市場規(guī)模達到44.53億元，2016年以來我國離子注入機規(guī)模復合增速為17.68%。

2020年我國離子注入機市場規(guī)模達到了445315萬元，其中集成電路領(lǐng)域規(guī)模達到了432400萬元，同比增長54.10%，光伏及其他領(lǐng)域達到了12915萬元，同比增長24.13%，離子注入機行業(yè)兩大市場存在一定的分化，主要是由于下游行業(yè)景氣程度不一，投資規(guī)模變動較大導致，但總體呈現(xiàn)出明顯的增長態(tài)勢。

從細分領(lǐng)域來看，2020年離子注入機集成電路領(lǐng)域市場規(guī)模占比達97.1%，其他領(lǐng)域市場規(guī)模占比為2.9%。

3、離子注入機競爭格局

全球離子注入機的領(lǐng)先企業(yè)主要分布在美國、日本和中國，其中，中國大陸擁有中科信和凱世通兩家離子注入機行業(yè)的龍頭企業(yè)，其中凱世通在光伏離子注入機方面遙遙領(lǐng)先。而美國則擁有近乎壟斷IC離子注入機市場的應用材料，以及漢辰科技、Axcelis、intevac等企業(yè)。日本也擁有日新、日本真空、住友重工等離子注入機知名廠商。

隨著集成電路工藝技術(shù)的持續(xù)提升，晶體管不斷縮小，集成電路制程進一步向尖端工藝發(fā)展，這對相關(guān)生產(chǎn)制造設(shè)備也提出了