標(biāo)準(zhǔn)解讀
GB/T 16945-1997 是一項中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn),全稱為《電子工業(yè)用氣體 氬》。這項標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)應(yīng)用中氬氣的質(zhì)量要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲存要求,旨在確保提供給電子工業(yè)使用的氬氣品質(zhì)符合統(tǒng)一且嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn),以保障電子產(chǎn)品制造過程中的質(zhì)量與可靠性。
標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽:
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范圍:明確了該標(biāo)準(zhǔn)適用于以液態(tài)或氣態(tài)形式供應(yīng),用于電子工業(yè)生產(chǎn)過程中的氬氣。
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規(guī)范性引用文件:列出了實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)時所依據(jù)的其他相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)文獻(xiàn),這些文獻(xiàn)對于理解和執(zhí)行GB/T 16945-1997的具體要求至關(guān)重要。
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術(shù)語和定義:對標(biāo)準(zhǔn)中使用的一些關(guān)鍵術(shù)語給出了明確的定義,幫助讀者準(zhǔn)確理解標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容。
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要求:
- 純度:詳細(xì)規(guī)定了氬氣的純度要求,通常要求極高純度,以避免雜質(zhì)影響電子元件的性能和壽命。
- 雜質(zhì)含量:限定了氬氣中可能含有的各種雜質(zhì)元素(如氧、氮、氫等)的最大允許含量,這些限制非常嚴(yán)格,以滿足電子器件制造的高純凈度需求。
- 水分含量:設(shè)定了氬氣中水分的最大容許量,過高的水分會損害電子元器件的性能。
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試驗(yàn)方法:描述了如何通過科學(xué)的檢測手段來測定氬氣的純度、雜質(zhì)含量及水分含量等指標(biāo),確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。
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檢驗(yàn)規(guī)則:規(guī)定了產(chǎn)品出廠前應(yīng)遵循的檢驗(yàn)程序、取樣方法及合格判定準(zhǔn)則,以保證每批產(chǎn)品的質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)要求。
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包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲存:說明了氬氣在不同形態(tài)下的適當(dāng)包裝方式、標(biāo)識信息要求,以及在運(yùn)輸和儲存過程中需遵守的安全措施,以防污染或物理損壞。
實(shí)施意義:
該標(biāo)準(zhǔn)的制定與實(shí)施,為電子工業(yè)用氬氣的生產(chǎn)、檢驗(yàn)和應(yīng)用提供了統(tǒng)一的技術(shù)規(guī)范,有助于提升我國電子工業(yè)原材料的質(zhì)量控制水平,促進(jìn)電子產(chǎn)品的可靠性和國際競爭力。通過遵循這一標(biāo)準(zhǔn),供應(yīng)商能夠確保所提供的氬氣滿足電子制造業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)需求,進(jìn)而支持半導(dǎo)體、液晶顯示、太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展。
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- 被代替
- 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替,建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 16945-2009
- 1997-08-13 頒布
- 1998-05-01 實(shí)施
文檔簡介
6102中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T16945-1997電子工業(yè)用氣體氬Gasesforelectronicindustry-Argon1997-08-13發(fā)布1998-05-01實(shí)施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布
GB/T16945-1997本標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)SEMIC3.46—93《99.9992%質(zhì)量的散裝液氮標(biāo)準(zhǔn)》95年版)制定的,在技術(shù)要求上與之等同,試驗(yàn)方法與之等效。在將SEMIC3.46—93轉(zhuǎn)化為國家標(biāo)準(zhǔn)時,結(jié)合我國實(shí)際情況,將適用范圍擴(kuò)大至瓶裝氬氣和管道輸送的氫氣,刪去SEMIC3.46—93中僅作為參考的說明、物理常數(shù)及注釋等內(nèi)容,試驗(yàn)方法中增加抽樣和氣純度兩條,除氫、氮含量的測定采用SEMIC3.46—93的方法外,其余各項雜質(zhì)含量的測定分別采用我國相應(yīng)的通用試驗(yàn)方法國家標(biāo)準(zhǔn),同時對檢測限和標(biāo)樣要求按SEMIC3.46—93的規(guī)定進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。以上變動與SEMIC3.46—93無實(shí)質(zhì)性差異,使標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)內(nèi)容更加完整。本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國化學(xué)工業(yè)部提出。本標(biāo)準(zhǔn)由化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院歸口本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院、上海BOC氣體工業(yè)有限公司、武鋼氧氣廠、洛陽單品硅廠。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:顏伯舉、王少楠。
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)電子工業(yè)用氣體GB/T16945-1997Gasesforelectronicindustry-Argon范園本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氬的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法和包裝、標(biāo)志。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從空氣、合成氮尾氣中提取的液態(tài)氮和氣態(tài)氬電子工業(yè)用氬氣用于系統(tǒng)的吹掃、保護(hù)和增壓,它還可用于化學(xué)氣相淀積、獄射,等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。分子式:Ar相對分子質(zhì)量:39.948(按1991年國際相對原子質(zhì)量)2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文,通過在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。本標(biāo)準(zhǔn)出版時,所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會被修訂,使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。GB/T4842-1995氮?dú)釭B/T5832.1—86氣體中微量水分的測定電解法GB/T5832.2—86氣體中微量水分的測定露點(diǎn)法GB/T6285—86氣體中微量氧的測定電化學(xué)法GB/T8984.1一1997氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法GB/T8984.3—1997氣體中總烴的測定氣相色譜法GB14193—1993液化氣體氣瓶充裝規(guī)定JB/TQ503—86低溫液體槽車JB/T6897-93低溫液體容器JB/T6898—93低溫液體儲運(yùn)設(shè)備使用安全規(guī)則3要求電子工業(yè)用氬技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定表1技術(shù)要求V/v指氬純度,10-99.9992氫含量,10-敘合量,10-氧含量.10-一氧化碳和二氧化碳含量,10-2s總烴(以甲
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