GB/T 16945-2009電子工業(yè)用氣體氬

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１６９４５—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７

電子工業(yè)用氣體氬

犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犃狉犵狅狀

２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書

犌犅／犜１６９４５—２００９

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７《電子工業(yè)用氣體氬》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７相比主要變化如下：

———修改氬的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的第１章，本版的第１章）；

———增加規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的第２章，本版的第２章）；

———修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容：增加一類純度和雜質(zhì)含量（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的第３章，本版的第３章）；

———修改瓶裝氬抽樣方法（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的４．１．１，本版的４．１．１）；

———增加集裝閣裝、大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶和杜瓦罐裝氬產(chǎn)品并規(guī)定檢驗(yàn)方法（見４．１．１）；

———修改管道輸送的氬抽樣方法（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的４．１．１，本版的４．１．２）；

———增加氬的采樣安全要求（見４．１．３）；

———修改氫、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的測定方法（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的４．３、４．４、４．５，本版的

４．３）；

———增加其他方法測定總烴；當(dāng)出現(xiàn)多種分析方法時(shí)，增加規(guī)定仲裁方法（見４．３、４．４、４．５）；

———修改水分的測定方法（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的４．７，本版的４．５）；

———修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的第５章，本版的第５章）。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分會(huì)歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：趙俊秀、周鵬云。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７。

Ⅰ

書

犌犅／犜１６９４５—２００９

電子工業(yè)用氣體氬

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氬的技術(shù)要求，試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態(tài)和氣態(tài)氬以及經(jīng)純化方法得到的氬。

氬用于系統(tǒng)的吹掃、保護(hù)和增壓，它還可以用于化學(xué)汽相淀積、濺射、等離子及活性離子刻蝕劑和退

火等不同工藝中。

分子式：Ａｒ。

相對分子質(zhì)量：３９．９４８（按２００５年國際相對原子質(zhì)量）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ／Ｔ４８４２—２００６氬

ＧＢ／Ｔ５８３２．１氣體中濕度的測定電解法

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y定氣相色譜法

３技術(shù)要求

３．１電子工業(yè)用氣體氬的質(zhì)量應(yīng)符合表１的要求。

表１技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

氬氣（Ａｒ）純度（體積分?jǐn)?shù)）／１０－２≥９９．９９９９９９．９９９２

－６

氫（Ｈ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．１１

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．５５

－６

氧（Ｏ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．２０．５

一氧化碳：０．１

－６

一氧化碳（ＣＯ）和二氧化碳（ＣＯ２）總含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．５

二氧化碳：０．１

總烴（以甲烷計(jì)）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６＜０．１０．５

－６

水分（Ｈ２Ｏ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．２０．５

雜質(zhì)總含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６≤１