RENA清洗設(shè)備操作規(guī)

RENA清洗設(shè)備操作規(guī)程

確認(rèn)外圍電力供應(yīng)到位后，將電力控制柜前的紅色送電旋鈕從OFF旋到ON

設(shè)備供電后再在將冷卻器的旋鈕開關(guān)從OFF旋到ON

確認(rèn)所有紅色急停按鈕拉出后到設(shè)備前方操作區(qū)域?qū)@示器下方的綠色ON按鈕按下

用鑰匙打開顯示器后面的門，將顯示器電源開關(guān)POWER打開

計算機系統(tǒng)啟動后將自動進入生產(chǎn)操作界面，點擊Login進入登陸界面，輸入用戶名及密碼，點擊ok進入,確認(rèn)界面各模塊單元上方顯示黃色“Manual”狀態(tài)，且滾輪顯示藍色即滾動狀態(tài)

確認(rèn)監(jiān)測屏幕上顯示各模塊溶液均滿槽（即FullDI、FullChem)和設(shè)備門窗均關(guān)閉。EtchBath顯示NotReady，Dryer1Dryer2顯示Ready確認(rèn)各模塊有無報警信息，若有任何異常，通知當(dāng)班工藝工程師和設(shè)備工程師點擊Manual按鈕進入Drives菜單點擊AllConveyor，點擊Stop停止?jié)L輪，點F10退回主界面。

點擊ModeAuto按鈕，設(shè)備進入自動模式，在界面上所有操作單元下方從黃色“Manual”轉(zhuǎn)變成綠色“Auto”設(shè)備將自動開始從Tank中向Etchbath添加腐蝕液，界面上Etchbath單元下方顯示為黃色“Fillingchemie”和黃色“notready”,等待Etchbath添加完成，等待堿槽和酸槽溫度顯示穩(wěn)定，下方顯示為綠色“Fullchemie”和綠色“Ready”。隨后點擊“start”按鈕各模塊自動運行。界面顯示各模塊均為綠色“Ready”和綠色＂inprocess＂．即設(shè)備進入正常生產(chǎn)狀態(tài)

關(guān)機步驟確認(rèn)各模塊均停止工作，點擊“Modemanual”按鈕進入手動模式點擊manual進入Drives菜單點擊AllConveyor，點擊Start啟動滾輪，點擊F10退回主界面進入“Manual”選單中“Etchbath”點擊“DrainBath”,即把Etchbath中的反應(yīng)液排到Tank內(nèi)，點擊F10退回主菜單，確認(rèn)EtchBath模塊顯示黃色＂notready"和黃色＂draining"。等待Etchbath排液完成，在Etchbath模塊上只顯示為黃色“notready”，表明液體排完

用水槍沖洗KOH的噴淋管和槽體，并清潔設(shè)備表面檢查各門的位置，正確地調(diào)整好它們擊右上角的“Logoff”，跳出一個對話框。點擊對話框中“Logoff”，門將被密封。若生產(chǎn)區(qū)域的門未正確地調(diào)整好位置，Alert警報會出現(xiàn)。再次登錄，調(diào)整好門的位置，按F1消除警報，再登出關(guān)掉設(shè)備的顯示器，關(guān)閉電力控制柜電源開關(guān)

生產(chǎn)準(zhǔn)備

穿上工作服，戴上PVC/昵絨手套，清洗操作人員需要戴上安全眼鏡、防護面具、防酸堿圍裙、長袖防酸手套確保手套沒有粘有油脂性物質(zhì)，嚴(yán)禁直接接觸硅片的正反面，只允許接觸硅片的兩側(cè)，在插片過程。中禁止用手套接觸皮膚，如接觸過皮膚、頭發(fā)或者是帶有油脂的物品，請更換手套確認(rèn)廠務(wù)配套各項目是否正常藥液更換蝕刻槽（etchbath）選擇菜單Manual，然后點擊etchbath在確定需要更換藥液后點擊屏幕左邊操作菜單上的BATHCHANGE，系統(tǒng)將自動將液體排空，再依工藝設(shè)定的清洗次數(shù)進行槽和罐的清洗，最后按照工藝設(shè)定補充相應(yīng)量的藥液到儲液罐內(nèi)，至此蝕刻槽的換藥結(jié)束

堿洗槽（alkalinebath）先確認(rèn)機器處于手動狀態(tài)，點擊控制面板上的ManualMode選擇菜單Manual,然后點擊alkaline按下draining將堿槽的化學(xué)品排掉，等待直到圖表顯示為“Empty”(黃色)堿槽的沖洗，按下“rinsing”沖洗(屏幕的左邊)。堿槽將充滿水和開始循環(huán)?？赏ㄟ^程序設(shè)定沖洗次數(shù)。清洗完成之后，系統(tǒng)自動將水排掉，堿槽內(nèi)狀態(tài)保持空的在排空槽內(nèi)液體并清洗完畢后按下fillingchemie,系統(tǒng)將按工藝設(shè)定配比容積加入藥液

酸洗槽（acidicbath）先確認(rèn)機器處于手動狀態(tài)，點擊控制面板上的ManualMode選擇菜單Manual，然后點擊acidic按下draining將酸槽的化學(xué)品排掉，等待直到圖表顯示為“Empty”(黃色)酸槽的沖洗，按下“rinsing”沖洗(屏幕的左邊)。酸槽將充滿水和開始循環(huán)?？赏ㄟ^程序設(shè)定沖洗次數(shù)。清洗完成之后，系統(tǒng)自動將水排掉，酸槽內(nèi)狀態(tài)保持空的在排空槽內(nèi)液體并清洗完畢后按下fillingchemie,系統(tǒng)將按工藝設(shè)定配比容積加入藥液其他要求在正常生產(chǎn)過程中，不要出現(xiàn)半小時的停產(chǎn)。若出現(xiàn)停產(chǎn)半小時以上情況，請將刻蝕槽溶液排至Tank，以保證溶液濃度穩(wěn)定。若出現(xiàn)停產(chǎn)半小時以上，清洗操作人員帶好防護用品，打開KOH槽的上蓋用水槍沖洗KOH槽噴淋管，沖洗完畢后，蓋上蓋子進入正常生產(chǎn)無論設(shè)備是否在生產(chǎn)過