交接文件-技術協(xié)議顯影機

顯影機技術協(xié)甲方：西安微電子技術乙方：沈陽芯源微電子設備還須滿足招標文件及投標文件的全部要求，并承諾所提供的設備必須滿足甲方正常生產(chǎn)需求。1、設備名稱：顯影2、設備數(shù)量：13、設備型號：KS-S300-4、設備性能指設備適用范設備適用于TSV晶圓級先進封裝中8英寸和12英寸晶圓、玻璃片、晶圓與設備基本功設備可兼容8英寸（200mm）和12英寸（300mm）晶圓、玻璃片、晶圓與配備上下料單元、預對準單元、顯影單元，3212FOUP8Cassette具備FOUP及Cassette中晶圓狀態(tài)掃描功能能夠識別插斜缺失等問題，設備能夠在操作界面顯示每一片晶圓的具置；；顯影具有溫度控制功能，保證顯影的穩(wěn)定性，溫控精度可達到N2particle0.1μm以particle0.2μm以下，且入顯影腔體單元的DIW管路裝有超聲波流量計有功能并可設置，SEMISII標準進行規(guī)劃設計，配有雙屏：1.Robot區(qū)域、各涂膠腔室顯影腔室各配置1臺機進行實時畫面并實時顯示在屏；2.具備翹曲片作業(yè)能力不需要更換部件即可滿足最大翹曲度5mm的即并蜂鳴，機臺上部燈閃爍，提示用戶。用戶可忽略該，或根據(jù)報基于IPC控制系統(tǒng)Tcp/ip連接服務器，上傳數(shù)據(jù)SECS/GEM設備的log功能：設備有自動記錄任何操作信息、信息功能，并可設USB接口導配置要上料、下料單配置12英寸FOUPLOADPORT2能夠兼容8英寸CASSETTE，128AdaptorAdaptor；晶圓傳片方式為機械自動傳送，機械品牌為機械采用真空吸附方式進行傳片機械采用進流伺服馬達進行運動控制，馬達品牌為具備FOUP中晶圓數(shù)量的能力晶圓預對準單顯影單121~30μm正性光刻膠、1~120μm2套顯影液罐和顯影噴嘴：1套用于堿性顯影液、1套用于有機顯影DIW；配置1個BSR液罐和2個BSR噴嘴：液罐用于BSR有機液、噴嘴分別用于有機液和DIW；3套：111套顯影方式：噴淋式3000rpm，精度±1rpm及警，并立即停止作業(yè)；配置顯影液A/B罐自動供給系統(tǒng)，當機臺內(nèi)顯影液不足時，如檢測A罐A中；及排放，廢液桶具有液位檢測功能以及廢液桶功能。集成控制系軟件具備機臺參數(shù)實時功能工藝過程中的重要數(shù)據(jù)可通過軟件記錄軟件能夠?qū)χ匾考M行統(tǒng)計管理，當達到使用時可提示動UP（15min證軟件系統(tǒng)對數(shù)據(jù)進行保存在緊急停水停氣的情況下，設備。警報系機臺警報系統(tǒng)包含蜂鳴器及指示燈用戶可以根據(jù)需要選擇的處理方式，可以對歷史進行查詢。指示燈意義：紅燈：技術參基本參0~999s正膠：CD開口片內(nèi)均勻性：≤3%（最大-最?。?（2平均值CD開口片間均勻性：≤5%（單片平均值的最大-單片平均值的最?。?（2單片平均值總和的平均值）100%；負膠：CD開口片內(nèi)均勻性：≤5%（最大-最?。?（2平均值CD開口片間均勻性：≤8%（單片平均值的最大-單片平均值的最?。?（2單片平均值總和的平均值）100%；1μm光刻膠：CD開口片內(nèi)均勻性：≤1.5%（最大-最?。?（2CD開口片間均勻性：≤3%（單片平均值的最大-單片平均值的最?。?（2單片平均值總和的平均值）100%；WPH指單個顯影腔室每小時可顯影的片數(shù)，其中走完進料————顯影——出料整個流程算顯影112英寸晶圓顯影AZ系列正膠(400cp，12μm)為例。WPH：11破片upUptime≥95%（總時間-障時間）/100%設備表現(xiàn)能動力條件要主機：1800×2200×2350mm（W×D×H400+400*7%V400-400*10%V，50HZ有特殊電源制式時，其它重點要廠家所提供的設備為全新設備（包含主機、輔機和附件乙方提供設備操作和維修工具5、安全保設備提供和安全互鎖功能，保證人員和設備的安全，對某些有潛在災等、運動部件、電壓、氣壓差等。對于有互鎖限制的操作，只有當互鎖緊急情況發(fā)生時，可以通過EMO回路緊急停止設備，減少人員設備。EMO按鈕為黃色背景紅色蘑菇頭形狀，在設備明顯位置。當按下任意一個按鈕時，EMO回路就會切斷機臺供電。在斷電情況下，系統(tǒng)主電源會自動關斷，恢設備的高溫、高壓、強腐蝕部分都貼有提醒標記；設備高溫部件均需要6、備件及資料要隨機免費附件（不包含機器自帶的標準配置備件11212813451246880M-471序號182339445真空電封363721房；（光盤）兩套合同簽訂后 乙方向甲方提供簽署蓋章的設備安裝資料，包括水、電7、其它要設備所有零部件和各種儀表的計量單位全部采用國際單位標準（SI標準觀，好。等國家強制性；8、包裝要，包裝箱采用木箱包裝防水膜進行全包覆并符合ISO14001環(huán)保要，包裝可滿足長途、防潮、防震、防塵、防裝卸包裝外部標志清楚，包裝木箱堅固可靠，符合的要求9、交貨期限及地41號西安微電子技術10、服務要乙方負責設備的包裝、（至甲方指定地點、機臺的安裝（設備主11、安裝培1030日內(nèi)具備生；師組織進行，所有培訓過程中所涉及的工具等必要物品由乙方提供；12、設備試機和驗主要驗收方法（驗收包含但不限于以下內(nèi)容設備驗收時所用工具和特殊耗材由乙方提前說明并在驗收時自帶CD開口片內(nèi)均勻性：≤3%；CD開口片間均勻性：≤5%；CD開口片內(nèi)均勻性：≤5%；CD開口片間均勻性：≤8%；1μmCDCD開口片間均勻性：≤3%CD開口片內(nèi)均勻性：≤3%；CD開口片間均勻性：≤5%；CD開口片內(nèi)均勻性：≤5%；CD開口片間均勻性：≤8%；1μmCDCD開口片間均勻性：≤3%（1.5002.設備驗收完成后形成由甲乙雙方代表共同簽字驗收生效13內(nèi)免費保修，維修；機臺安裝版本的軟件，提供設備所需軟件的免費升級服務（144遇到的各種問題駐廠工程師后保證支持設備發(fā)生故障后設4小時內(nèi)響應，24小時內(nèi)到場進行故障排除。14、設備易損易耗件等要提供易損易耗件，