第五章、傳感器技術(shù)

第五章、傳感器技術(shù)及機(jī)械量檢測(cè)第一節(jié)、傳感器概述一、傳感器的定義及分類傳感器是一種能按照一定規(guī)律將被測(cè)量轉(zhuǎn)變成可以輸出電信號(hào)的裝置。現(xiàn)代控制技術(shù)的三大基礎(chǔ)：信息采集，傳輸、處理。傳感器是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)和控制的首要環(huán)節(jié)，其作用相當(dāng)于人的五官。從外界獲得信息，并從中提取有用信息的過(guò)程稱為檢測(cè)。一、傳感器的定義及分類（一）、按照被測(cè)量進(jìn)行分類溫度壓力流量位移速度加速度一、傳感器的定義及分類（二）、按照工作原理應(yīng)變式壓電式熱電式（三）、按照能量關(guān)系有源傳感器無(wú)源傳感器（四）、按技術(shù)階段結(jié)構(gòu)型物性型智能型一、傳感器的定義及分類按輸出信號(hào)的性質(zhì)：開(kāi)關(guān)型

模擬型

數(shù)字型

開(kāi)關(guān)型

傳感器輸入物理量達(dá)到某個(gè)值以上，其輸出為“1”(ON)，模擬型

輸出是與輸入量變化相對(duì)應(yīng)的連續(xù)變化的電量。數(shù)字型

有計(jì)數(shù)型和代碼型兩類。計(jì)數(shù)型又稱為脈沖數(shù)字型，實(shí)際上是一種脈沖發(fā)生器，所發(fā)出的脈沖數(shù)與輸入量成正比，加上計(jì)數(shù)器就可對(duì)輸入量進(jìn)行計(jì)數(shù)。如，檢測(cè)傳送帶上產(chǎn)品的個(gè)數(shù)，或檢測(cè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的位置。代碼型傳感器又稱編碼器，輸入量按照某種規(guī)律變化時(shí)，輸出量根據(jù)輸入的變化規(guī)律，輸出相應(yīng)的數(shù)字代碼。計(jì)數(shù)型代碼型如圖，當(dāng)輸入為k1時(shí)，輸出為1010，當(dāng)輸入為k2時(shí)，輸出為1011。二、傳感器的轉(zhuǎn)換原理1.光-電轉(zhuǎn)換2.熱-電轉(zhuǎn)換3.力-電壓轉(zhuǎn)換4.力-電荷轉(zhuǎn)換5.磁-電轉(zhuǎn)換6.氣體-電阻轉(zhuǎn)換7.溫度-電阻轉(zhuǎn)換三、幾種主要傳感器工作原理1.光傳感器光電效應(yīng)所謂光電效應(yīng)是指在光的照射下一些金屬、金屬氧化物或半導(dǎo)體材料釋放電子的現(xiàn)象。光電效應(yīng)分為內(nèi)光電效應(yīng)和外光電效應(yīng)。當(dāng)物體在光的作用下所釋放的電子沒(méi)有逸出物體表面，而只在物體的內(nèi)部運(yùn)動(dòng)并使物體的電學(xué)特性發(fā)生變化的現(xiàn)象叫做內(nèi)光電效應(yīng)，內(nèi)光電效應(yīng)多產(chǎn)生于半導(dǎo)體材料內(nèi)。15內(nèi)光電效應(yīng)器件(1).光敏電阻光敏電阻又稱光導(dǎo)管，是一種均質(zhì)半導(dǎo)體光電元件。它具有靈敏度高、光譜響應(yīng)范圍寬、體積小、重量輕、機(jī)械強(qiáng)度高、耐沖擊、耐振動(dòng)、抗過(guò)載能力強(qiáng)和壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)2023/2/316光敏電阻的原理和結(jié)構(gòu)。光敏電阻受到光照時(shí)，由于內(nèi)光電效應(yīng)，因而其導(dǎo)電性能增強(qiáng)而電阻R0值下降，所以流過(guò)負(fù)載電阻RL的電流及其兩端電壓會(huì)發(fā)生變化。一般而言，光線越強(qiáng)，電流越大。當(dāng)光照停止時(shí)，光電效應(yīng)會(huì)立即消失，電阻又恢復(fù)原值。2023/2/317光敏電阻

當(dāng)光敏電阻受到光照時(shí)，阻值減小。2023/2/318光敏電阻的基本特性和主要參數(shù)光敏電阻的伏安特性。光敏電阻的伏安特性暗電阻、亮電阻與光電流。光敏電阻在受到光照射時(shí)的電阻稱為亮電阻，此時(shí)流過(guò)的電流稱為亮電流。在沒(méi)有受到光照射時(shí)的阻值稱為暗電阻，此時(shí)流過(guò)的電流被稱為暗電流。2023/2/319(2)．光敏晶體管光敏晶體管包括光敏二極管、光敏三極管，它們的工作原理是基于內(nèi)光電效應(yīng)。光敏三極管的靈敏度比光敏二極管高，但頻率特性較差，目前廣泛應(yīng)用于光纖通信、紅外線遙控器、光電耦合器、控制伺服電機(jī)轉(zhuǎn)速的檢測(cè)、光電讀出裝置等場(chǎng)合。2023/2/320光敏三極管集電極電流是原始光電電流的β倍。因此，光敏三極管比光敏二極管的靈敏度高許多倍。光敏三極管2023/2/321②光敏三極管外形

2.溫度傳感器3.壓力傳感器4.磁傳感器5.氣體傳感器

四、傳感器基本特性當(dāng)傳感器的輸入信號(hào)是常量，不隨時(shí)間變化時(shí)，其輸入輸出關(guān)系特性稱為靜態(tài)特性。傳感器的基本特性是指系統(tǒng)的輸入與輸出關(guān)系特性，即傳感器系統(tǒng)的輸出信號(hào)y(t)和輸入信號(hào)（被測(cè)量）x(t)之間的關(guān)系，傳感器系統(tǒng)示意圖如下圖所示。2023/2/323四、傳感器基本特性傳感器的靜態(tài)特性：1.測(cè)量范圍：傳感器所能測(cè)量到的最小輸入量

與最大輸入量

之間的范圍稱為傳感器的測(cè)量范圍。2.量程：傳感器測(cè)量范圍的上限值

與下限值

的代數(shù)差-稱為量程。3.精度：傳感器的精度是指測(cè)量結(jié)果的可靠程度，是測(cè)量中各類誤差的綜合反映。工程技術(shù)中為簡(jiǎn)化傳感器精度的表示方法，引用了精度等級(jí)的概念。精度等級(jí)以一系列標(biāo)準(zhǔn)百分比數(shù)值分檔表示，代表傳感器測(cè)量的最大允許誤差，即相對(duì)誤差。

4.靈敏度：靈敏度是指?jìng)鞲衅鬏敵龅淖兓颗c引起該變化量的輸入變化量之比，即

，如右圖所示。2023/2/324四、傳感器基本特性5.線性度：指其輸出量與輸入量之間的關(guān)系曲線偏離理想直線的程度。在非線性誤差不太大的情況下，通常采用直線擬合的方法來(lái)線性化。這樣，線性度就用輸入-輸出關(guān)系曲線與擬合直線之間最大偏差與滿量程輸出的百分比來(lái)表示。

式中，

為非線性最大誤差(最大偏差);為滿量程輸出值。常用的直線擬合方法有理論擬合、端點(diǎn)擬合和端點(diǎn)平移擬合等，如圖1-7所示。采取不同的方法選取擬合直線，可以得到不同的線性度。2023/2/325四、傳感器基本特性2023/2/326機(jī)電一體化對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)的基本要求

精度、靈敏度、分辨率高；線性、穩(wěn)定性和重復(fù)性好；抗干擾能力強(qiáng)；靜、動(dòng)態(tài)特性好。此外，要求體積小、質(zhì)量輕、價(jià)格便宜、便于安裝與維修，耐環(huán)境性能好等。第二節(jié)、位置、位移傳感器一、位置檢測(cè)傳感器接觸式非接觸式光電開(kāi)關(guān)的結(jié)構(gòu)和分類

光電開(kāi)關(guān)可分為遮斷型和反射型兩大類。遮斷型光電開(kāi)關(guān)的發(fā)射器和接收器相對(duì)安放，軸線嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn)。當(dāng)有物體在兩者中間通過(guò)時(shí)，紅外光束被遮斷，接收器接收不到紅外線而產(chǎn)生一個(gè)負(fù)脈沖信號(hào)。遮斷型光電開(kāi)關(guān)的檢測(cè)距離一般可達(dá)十幾米，對(duì)所有能遮斷光線的物體均可檢測(cè)。

光電開(kāi)關(guān)外形遮斷型光電開(kāi)關(guān)示意圖遮斷報(bào)警遮斷式光電開(kāi)關(guān)原理ObjectReceiver遮斷式光電開(kāi)關(guān)由相互分離且相對(duì)安裝的光發(fā)射器和光接受器組成。當(dāng)被檢測(cè)物體位于發(fā)射器和接受器之間時(shí)，光線被阻斷，接受器接受不到紅外線而產(chǎn)生開(kāi)關(guān)信號(hào)。被檢測(cè)物體光發(fā)射器光接收器光電開(kāi)關(guān)在流水線上的應(yīng)用送料器定區(qū)域式光電開(kāi)關(guān)咖啡罐流水線運(yùn)行方向罐裝高度檢測(cè)儲(chǔ)料倉(cāng)落料口遮斷式光電開(kāi)關(guān)（計(jì)數(shù)）反射型光電開(kāi)關(guān)反射型光電開(kāi)關(guān)分為兩種情況：反射鏡反射型及被測(cè)物漫反射型（簡(jiǎn)稱散射型）。

反射鏡反射型光電開(kāi)關(guān)采用較為方便的單側(cè)安裝方式，但需要調(diào)整反射鏡的角度以取得最佳的反射效果。反射鏡通常使用三角棱鏡，它對(duì)安裝角度的變化不太敏感。定區(qū)域反射式光電開(kāi)關(guān)原理

定區(qū)域式光電開(kāi)關(guān)有一個(gè)非常確定的檢測(cè)區(qū)域，不經(jīng)過(guò)該區(qū)域的被測(cè)物體不會(huì)引起光電開(kāi)關(guān)產(chǎn)生開(kāi)關(guān)信號(hào)。檢測(cè)距離檢測(cè)距離反射型光電開(kāi)關(guān)及反射鏡外形三角反射鏡集發(fā)射、接收器于一身光電斷續(xù)器光電斷續(xù)器可分為遮斷型和反射型兩種。遮斷型光電斷續(xù)器也稱為槽式光電開(kāi)關(guān)，通常是標(biāo)準(zhǔn)的U字型結(jié)構(gòu)。其發(fā)射器和接收器做在體積很小的同一塑料殼體中，分別位于U型槽的兩邊，并形成一光軸，兩者能可靠地對(duì)準(zhǔn)，為安裝和使用提供了方便。當(dāng)被檢測(cè)物體經(jīng)過(guò)U型槽且阻斷光軸時(shí)，光電開(kāi)關(guān)就產(chǎn)生表示檢測(cè)到的開(kāi)關(guān)量信號(hào)。槽式光電開(kāi)關(guān)比較可靠，較適合高速檢測(cè)。光電斷續(xù)器外形光電斷續(xù)器外形（續(xù)）紅色光柱

齒盤每轉(zhuǎn)過(guò)一個(gè)齒，光電斷續(xù)器就輸出一個(gè)脈沖。通過(guò)脈沖頻率的測(cè)量或脈沖計(jì)數(shù)，即可獲得齒盤轉(zhuǎn)速和角位移。光電斷續(xù)器的應(yīng)用請(qǐng)寫出轉(zhuǎn)速與頻率的關(guān)系式n=？n

當(dāng)工件經(jīng)過(guò)光電斷續(xù)器時(shí)，接收器即產(chǎn)生一個(gè)計(jì)數(shù)脈沖。光電斷續(xù)器的應(yīng)用（續(xù)）二、位移傳感器角位移線性位移1、電位差計(jì)（可變電位器）2、差動(dòng)變壓器

差動(dòng)變壓器是把被測(cè)的非電量變化轉(zhuǎn)換為傳感器線圈的互感系數(shù)的變化。這種傳感器是根據(jù)變壓器的基本原理制成的，并且次級(jí)繞組常用差動(dòng)的形式連接，故稱之為差動(dòng)變壓器式傳感器。

工作原理１-活動(dòng)銜鐵；２-導(dǎo)磁外殼；３-骨架；４-匝數(shù)為W1初級(jí)繞組；５-匝數(shù)為W2a的次級(jí)繞組；６-匝數(shù)為W2b的次級(jí)繞組差動(dòng)變壓器輸出電壓特性曲線3.光柵式位移傳感器光柵式位移傳感器的分類1測(cè)量線位移的長(zhǎng)光柵2測(cè)量角位移的圓光柵光柵傳感器的結(jié)構(gòu)光柵傳感器由光源、透鏡、光柵副（主光柵和指示光柵）和光電接收元件組成。光源：鎢絲燈泡；半導(dǎo)體發(fā)光器件光電元件：光電池；光敏二極管光柵式位移傳感器的工作原理長(zhǎng)光柵是在兩塊光學(xué)玻璃上或具有強(qiáng)反射能力的金屬表面上，刻上相同均勻密集的平行細(xì)線。將兩塊玻璃板或金屬板重疊放置，并使他們的刻線間有一微小夾角θ，此時(shí)，由于光的干涉效應(yīng)，在與光柵柵線近似垂直方向上將產(chǎn)生明暗相間的條紋，這些條紋稱為莫爾條紋，根據(jù)莫爾條紋設(shè)計(jì)了光柵傳感器。莫爾條紋形成的原理橫向莫爾條紋的斜率莫爾條紋間距莫爾條紋的寬度BH由光柵常數(shù)與光柵夾角決定莫爾條紋技術(shù)的特點(diǎn)（1）調(diào)整夾角即可得到很大的莫爾條紋的寬度，起到了放大作用，又提高了測(cè)量精度。（2）莫爾條紋的光強(qiáng)度變化近似正弦變化，便于將電信號(hào)作進(jìn)一步細(xì)分，即采用“倍頻技術(shù)”。這樣可以提高測(cè)量精度或可以采用較粗的光柵。（3）光電元件對(duì)于光柵刻線的誤差起到了平均作用?？叹€的局部誤差和周期誤差對(duì)于精度沒(méi)有直接的影響。因此可得到比光柵本身的刻線精度高的測(cè)量精度。這是用光柵測(cè)量和普通標(biāo)尺測(cè)量的主要差別。

光柵副：指示光柵＋主光柵a+b=W稱為光柵的柵距（或光柵常數(shù)）通常情況下，a=b=W/2光柵副：指示光柵＋主光柵

測(cè)量電路當(dāng)位移量X變化一個(gè)柵距時(shí)，其輸出信號(hào)變化一個(gè)周期，整形后變化為一個(gè)周期的脈沖輸出，則位移量為：X＝NW徑向光柵進(jìn)行角度測(cè)量當(dāng)標(biāo)尺光柵相對(duì)于指示光柵轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，條紋即沿徑向移動(dòng)，測(cè)出條紋移動(dòng)數(shù)目，即可得到標(biāo)尺光柵相對(duì)指示光柵轉(zhuǎn)動(dòng)的角度。

4、光電編碼器脈沖編碼器又稱碼盤，是一種回轉(zhuǎn)式數(shù)字測(cè)量元件，通常裝在被檢測(cè)軸上，隨被測(cè)軸一起轉(zhuǎn)動(dòng)，可將被測(cè)軸的角位移轉(zhuǎn)換為增量脈沖形式或絕對(duì)式的代碼形式。根據(jù)內(nèi)部結(jié)構(gòu)和檢測(cè)方式碼盤可分為接觸式、光電式和電磁式3種。其中，光電碼盤在機(jī)器人及數(shù)控機(jī)床上應(yīng)用較多，而由霍爾效應(yīng)構(gòu)成的電磁碼盤則可用作速度檢測(cè)元件。另外，它還可分為絕對(duì)式和增量式兩種。編碼器1認(rèn)識(shí)編碼器2編碼器的測(cè)量對(duì)象3編碼器測(cè)量直線位移的方式4絕對(duì)式測(cè)量5增量式測(cè)量6編碼器在數(shù)字測(cè)速中的應(yīng)用7編碼器在主軸控制中的應(yīng)用1認(rèn)識(shí)編碼器（編碼器在機(jī)器人控制中的應(yīng)用）編碼器伺服電機(jī)伺服電機(jī)編碼器伺服電機(jī)伺服電機(jī)編碼器編碼器編碼器播放2編碼器的測(cè)量對(duì)象編碼器軸式套式電信號(hào)二進(jìn)制編碼脈沖3編碼器測(cè)量直線位移的方式（1）編碼器裝在絲杠末端

編碼器位置反饋x通過(guò)測(cè)量滾珠絲杠的角位移，間接獲得工作臺(tái)的直線位移x，構(gòu)成位置半閉環(huán)伺服系統(tǒng)。x＝t/360×（2）絲杠螺距編碼器螺母絲杠螺距x=？

設(shè):螺距t=4mm，絲杠在4s時(shí)間里轉(zhuǎn)動(dòng)了10圈，求:絲杠的平均轉(zhuǎn)速n(r/min)及螺母移動(dòng)了多少毫米？螺母移動(dòng)的平均速度v又為多少？螺距

編碼器（3）編碼器和伺服電動(dòng)機(jī)同軸安裝位置反饋xx＝t/360×（4）編碼器和伺服電動(dòng)機(jī)同軸安裝編碼器工作臺(tái)絲杠伺服電動(dòng)機(jī)編碼器導(dǎo)軌（5）編碼器和伺服電動(dòng)機(jī)同軸安裝

編碼器光電編碼器伺服電動(dòng)機(jī)聯(lián)軸器滾珠絲杠滑塊光電編碼器信號(hào)輸出伺服電動(dòng)機(jī)電源（6）編碼器兩種安裝方式比較編碼器xx

編碼器裝在絲杠末端與前端（和伺服電動(dòng)機(jī)同軸）在位置控制精度上有什么區(qū)別？4絕對(duì)式測(cè)量（ABS）（1）信號(hào)性質(zhì)編碼器00000000122.50010451111337.5

輸出n位二進(jìn)制編碼，每一個(gè)編碼對(duì)應(yīng)唯一的角度。（2）接觸式絕對(duì)碼盤編碼器4個(gè)電刷

4位二進(jìn)制碼盤

最小分辨角＝360°／2n

當(dāng)n＝4，＝360°／24＝22.5°導(dǎo)電為“1”，非導(dǎo)電為“0”（3）絕對(duì)式光電碼盤編碼器LED光敏元件5增量式測(cè)量（INC）

（1）信號(hào)性質(zhì)編碼器

輸出信號(hào)為一串脈沖，每一個(gè)脈沖對(duì)應(yīng)一個(gè)分辨角，對(duì)脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)N，就是對(duì)的累加，即，角位移＝N。如：＝0.352，脈沖N＝1000，則：

＝0.352×1000＝352（2）增量式光電編碼器的結(jié)構(gòu)編碼器碼盤光欄板LED零位標(biāo)志（一轉(zhuǎn)脈沖）光敏元件＝360°／條紋數(shù)＝360°／1024＝0.352°透光條紋（3）辨向編碼器90ABAB

光敏元件所產(chǎn)生的信號(hào)A、B彼此相差90相位，用于辨向。當(dāng)碼盤正轉(zhuǎn)時(shí)，A信號(hào)超前B信號(hào)90；當(dāng)碼盤反轉(zhuǎn)時(shí)，B信號(hào)超前A信號(hào)90。（4）辨向信號(hào)編碼器ABABA超前于B90°，正向A滯后于B90°，反向（5）倍頻（細(xì)分）編碼器/4細(xì)分前4細(xì)分后

在現(xiàn)有編碼器的條件下，通過(guò)細(xì)分技術(shù)能提高編碼器的分辨力。細(xì)分前，編碼器的分辨力只有一個(gè)分辨角的大小。采用4細(xì)分技術(shù)后，計(jì)數(shù)脈沖的頻率提高了4倍，相當(dāng)于將原編碼器的分辨力提高了3倍，測(cè)量分辨角是原來(lái)的1/4，提高了測(cè)量精度。（6）零標(biāo)志（一轉(zhuǎn)脈沖）編碼器

一轉(zhuǎn)（360）CC

在碼盤里圈，還有一條狹縫C，每轉(zhuǎn)能產(chǎn)生一個(gè)脈沖，該脈沖信號(hào)又稱“一轉(zhuǎn)信號(hào)”或零標(biāo)志脈沖，作為測(cè)量的起始基準(zhǔn)。（7）零標(biāo)志在回參考點(diǎn)中的作用編碼器Z軸參考點(diǎn)X軸參考點(diǎn)Y軸參考點(diǎn)回參考點(diǎn)方式SINUMERIK數(shù)控系統(tǒng)工作方式開(kāi)關(guān)（8）回參考點(diǎn)減速開(kāi)關(guān)編碼器限位開(kāi)關(guān)參考點(diǎn)減速開(kāi)關(guān)滑塊（9）回參考點(diǎn)示意圖編碼器減速尋找零標(biāo)志零標(biāo)志找到參考點(diǎn)位置速度慢速快速行程碰到參考點(diǎn)減速開(kāi)關(guān)播放6編碼器在數(shù)字測(cè)速中的應(yīng)用

（1）模擬測(cè)速和數(shù)字測(cè)速的比較編碼器MTGU測(cè)速發(fā)電機(jī)nU∝nMPCn光電編碼器ff∝n（2）M法測(cè)速（適合于高轉(zhuǎn)速場(chǎng)合）編碼器

m1T有一增量式光電編碼器，其參數(shù)為1024p/r，在5s時(shí)間內(nèi)測(cè)得65536個(gè)脈沖，則轉(zhuǎn)速（r/min)為：n=60×65536/（1024×5）=768r/min

編碼器每轉(zhuǎn)產(chǎn)生N個(gè)脈沖，在T

時(shí)間段內(nèi)有m1

個(gè)脈沖產(chǎn)生，則轉(zhuǎn)速（r/min)為:n=60m1/（NT）（3）T法測(cè)速（適合于低轉(zhuǎn)速場(chǎng)合）編碼器編碼器輸出脈沖時(shí)鐘脈沖fc

m2

編碼器每轉(zhuǎn)產(chǎn)生N

個(gè)脈沖，用已知頻率fc作為時(shí)鐘，填充到編碼器輸出的兩個(gè)相鄰脈沖之間的脈沖數(shù)為m2，則轉(zhuǎn)速(r/min)為：

n=60fc/（Nm2）

有一增量式光電編碼器，其參數(shù)為1024p/r，測(cè)得兩個(gè)相鄰脈沖之間的脈沖數(shù)為3000，時(shí)鐘頻率fc為1MHz

，則轉(zhuǎn)速（r/min)為：n=60fc/（Nm2）=60×106/（1024×3000）=19.53r/min7編碼器在主軸控制中的應(yīng)用

(1)主軸編碼器編碼器（2）主軸編碼器用于C軸控制編碼器主軸編碼器回轉(zhuǎn)刀盤自驅(qū)刀頭CZn工件卡盤主軸（3）主軸編碼器用于螺紋車削編碼器

車削螺紋時(shí)，為保證每次切削的起刀點(diǎn)不變，防止“亂牙”，主軸編碼器通過(guò)對(duì)起刀點(diǎn)到退刀點(diǎn)之間的脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)來(lái)達(dá)到車削螺紋的目的。播放起刀點(diǎn)退刀點(diǎn)小結(jié)編碼器1.

編碼器用來(lái)測(cè)量角位移。在數(shù)控機(jī)床直線進(jìn)給運(yùn)動(dòng)控制中，通過(guò)測(cè)量角位移間接測(cè)量出直線位移，表達(dá)式為x＝t/360×。2.

絕對(duì)式編碼器輸出二進(jìn)制編碼，增量式編碼器輸出脈沖。3.

增量式編碼器輸出信號(hào)要進(jìn)行辨向、零標(biāo)志和倍頻等處理。4.

編碼器用于數(shù)字測(cè)速，有M法和T法等方式；在數(shù)控車床中用于C軸控制和螺紋切削。

增量式碼盤的規(guī)格及分辨率

規(guī)格增量式碼盤的規(guī)格是指碼盤每轉(zhuǎn)一圈發(fā)出的脈沖數(shù)；現(xiàn)在市場(chǎng)上提供的規(guī)格從36線/轉(zhuǎn)到10萬(wàn)線

/轉(zhuǎn)都有；選擇：①伺服系統(tǒng)要求的分辨率；②考慮機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)的參數(shù)。

分辨率（分辨角）α設(shè)增量式碼盤的規(guī)格為n線/轉(zhuǎn)：光電編碼器的特點(diǎn)非接觸測(cè)量，無(wú)接觸磨損，碼盤壽命長(zhǎng)，精度保證性好；允許測(cè)量轉(zhuǎn)速高，精度較高；。光電轉(zhuǎn)換，抗干擾能力強(qiáng)；體積小，便于安裝，適合于機(jī)床運(yùn)行環(huán)境；結(jié)構(gòu)復(fù)雜，價(jià)格高，光源壽命短；碼盤基片為玻璃，抗沖擊和抗震動(dòng)能力差。第三節(jié)、測(cè)力傳感器(一)、應(yīng)變式力傳感器(二）、壓電式力傳感器（一）、應(yīng)變式力傳感器1.電阻應(yīng)變片2.電阻應(yīng)變傳感器測(cè)量電路

2.1、單臂橋

2.2、半橋

2.3、全橋3.電阻應(yīng)變傳感器的應(yīng)用3.1、應(yīng)變式力傳感器3.2、應(yīng)變式壓力傳感器3.3、應(yīng)變式加速度傳感器

各種電子秤廣泛應(yīng)用于－高精度電子汽車衡

動(dòng)態(tài)電子秤電子天平電阻應(yīng)變傳感器電阻應(yīng)變傳感器：利用電阻應(yīng)變片將應(yīng)變轉(zhuǎn)換為電阻變化測(cè)量對(duì)象：任何可以轉(zhuǎn)化為應(yīng)變量的非電量主要特點(diǎn)：①結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，性能穩(wěn)定、可靠②靈敏度高，頻率響應(yīng)特性好，適合于靜態(tài)、動(dòng)態(tài)測(cè)量③環(huán)境適應(yīng)性好

1.電阻應(yīng)變片

電阻應(yīng)變傳感器組成:彈性元件、電阻應(yīng)變片和測(cè)量電路彈性元件：感受被測(cè)量的變化電阻應(yīng)變片：粘貼在彈性元件上將彈性元件的表面應(yīng)變轉(zhuǎn)換為應(yīng)變片電阻值的變化測(cè)量電路：將應(yīng)變片電阻值的變化轉(zhuǎn)換為便于輸出測(cè)量的電量，從而實(shí)現(xiàn)非電量的測(cè)量電阻應(yīng)變片的種類:電阻應(yīng)變片分類金屬電阻應(yīng)變片半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片金屬絲應(yīng)變片 金屬箔應(yīng)變片 金屬薄膜應(yīng)變片

體型半導(dǎo)體應(yīng)變片擴(kuò)散型半導(dǎo)體應(yīng)變片薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變片P型應(yīng)變片N型應(yīng)變片一、金屬電阻應(yīng)變片

1．金屬絲電阻應(yīng)變效應(yīng)

金屬導(dǎo)體的電阻值隨其機(jī)械變形而發(fā)生變化的現(xiàn)象FFLL+dL2r2(r-dr)ρ:電阻系數(shù)L:金屬導(dǎo)線長(zhǎng)度S:金屬導(dǎo)線截面積 泊松比： 表示導(dǎo)體橫向應(yīng)變量與縱向應(yīng)變量的比例 “－”號(hào)表示變形方向相反

金屬絲應(yīng)變靈敏系數(shù)為物理含義是單位縱向應(yīng)變引起電阻的相對(duì)變化量應(yīng)變靈敏系數(shù)主要決定于金屬導(dǎo)體的幾何尺寸發(fā)生的變化式中——決定于導(dǎo)體幾何尺寸發(fā)生的變化

——決定于導(dǎo)體導(dǎo)電性能發(fā)生的變化

2．金屬絲電阻應(yīng)變片結(jié)構(gòu)金屬絲電阻應(yīng)變片的基本結(jié)構(gòu)如圖2－1所示。二、電阻應(yīng)變傳感器測(cè)量電路機(jī)械應(yīng)變引起的電阻值變化量很?。话銤M量程2%

難以用測(cè)阻表作精確測(cè)量采用電橋?qū)㈦娮枳兓D(zhuǎn)換成電壓或電流

放大測(cè)量測(cè)量電橋：分為直流電橋和交流電橋測(cè)量電橋輸出接高輸入電阻放大器－>電橋視作開(kāi)路

電橋投入測(cè)量之前，應(yīng)將電橋調(diào)平衡，以消除電橋因不平衡而產(chǎn)生的零漂

電橋的平衡條件為R1R3=R2R4

應(yīng)變測(cè)量電橋三種接法：?jiǎn)伪蹣虬霕蛉珮?/p>

當(dāng)ΔR＜＜R時(shí)單臂電橋靈敏度：?jiǎn)伪蹣颍? 輸出電壓小，靈敏度低 具有一定非線性

2、半橋半橋：雙臂橋 兩個(gè)相鄰橋臂接應(yīng)變片：一個(gè)正應(yīng)變、一個(gè)負(fù)應(yīng)變

ΔR1=ΔR，ΔR2=-ΔR

接R1的橋臂為拉應(yīng)變，接R2的橋臂為壓應(yīng)變。R1=R2=R3=R4=R

半橋：輸出電壓和靈敏度都比單臂橋大一倍輸出線性

半橋的靈敏度3、全橋四個(gè)橋臂都接有應(yīng)變片相鄰橋臂所接的應(yīng)變片承受相反應(yīng)變

相對(duì)橋臂所接的應(yīng)變片承受相同應(yīng)變

R1=R2=R3=R4=R、ΔR1=ΔR3=ΔR、ΔR2=ΔR4=-ΔR

全橋輸出電壓和靈敏度比半橋大一倍輸出線性全橋的靈敏度為測(cè)量對(duì)象：應(yīng)力、力、扭矩、加速度及壓力(壓強(qiáng))、位移

1、應(yīng)變式力傳感器柱式力傳感器、環(huán)式力傳感器、懸臂梁式傳感器。三、電阻應(yīng)變傳感器的應(yīng)用

⑴根據(jù)測(cè)力現(xiàn)場(chǎng)需要選擇彈性元件⑵根據(jù)所選的彈性元件正確地布片：盡量使應(yīng)變片保持與拉壓力平行或垂直

⑶根據(jù)應(yīng)變片的布片正確地接橋：盡量接成差動(dòng)測(cè)量電橋

相鄰橋臂所接的應(yīng)變片承受相反應(yīng)變相對(duì)橋臂所接的應(yīng)變片承受相同應(yīng)變應(yīng)變片受拉壓力所產(chǎn)生的應(yīng)變：（1）與軸向任意角α方向的應(yīng)變?yōu)槭街笑拧剌S向的應(yīng)變；

μ—彈性元件的泊松比

a.柱式力傳感器

彈性元件：實(shí)心或空心圓柱R1R2R3R4載荷大靜載稱重b.環(huán)式力傳感器

彈性元件是圓形或扁形吊環(huán)軸向應(yīng)變正負(fù)應(yīng)變相同

3.懸臂梁式傳感器懸臂梁分等強(qiáng)度梁和等載面梁（1）等強(qiáng)度梁它適于測(cè)量500Kg以下的載荷，最小為測(cè)幾十克重的力，這種傳感器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、加工容易、應(yīng)變片易粘貼、靈敏度高等特點(diǎn)。2023/2/3114二、壓電式傳感器2023/2/3115引言壓電式傳感器的工作原理是基于某些介質(zhì)材料的壓電效應(yīng)，是典型的有源傳感器。當(dāng)材料受力作用而變形時(shí)，其表面會(huì)有電荷產(chǎn)生，從而實(shí)現(xiàn)非電量測(cè)量。壓電式傳感器具有體積小，重量輕，工作頻帶寬等特點(diǎn)，因此在各種動(dòng)態(tài)力、機(jī)械沖擊與振動(dòng)的測(cè)量，以及聲學(xué)、醫(yī)學(xué)、力學(xué)、宇航等方面都得到了非常廣泛的應(yīng)用。2023/2/3116主要內(nèi)容1壓電式傳感器的原理及材料2壓電式傳感器測(cè)量電路3壓電式傳感器的應(yīng)用2023/2/31171壓電式傳感器的原理及材料1．壓電效應(yīng)的概念某些電介質(zhì)，當(dāng)沿著一定方向?qū)ζ涫┝Χ顾冃螘r(shí)，其內(nèi)部就產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時(shí)在它的兩個(gè)表面上便產(chǎn)生符號(hào)相反的電荷，當(dāng)外力去掉后，其又重新恢復(fù)到不帶電狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱壓電效應(yīng)。相反，當(dāng)在電介質(zhì)極化方向施加電場(chǎng)，這些電介質(zhì)也會(huì)產(chǎn)生變形，這種現(xiàn)象稱為“逆壓電效應(yīng)”（電致伸縮效應(yīng)）。1.1壓電效應(yīng)2023/2/3118壓電效應(yīng)可逆性（二）、壓電式力傳感器1.壓電效應(yīng)某些電介質(zhì)物質(zhì)，在沿一定方向上受到外力作用而發(fā)生變形時(shí)，內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時(shí)在其表面產(chǎn)生電荷；當(dāng)外力去掉后，又重新回到不帶電的狀態(tài)。這種將機(jī)械能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔艿默F(xiàn)象，稱為“順壓電效應(yīng)”。相反，在電介質(zhì)的極化方向上施加電場(chǎng)，電介質(zhì)會(huì)產(chǎn)生機(jī)械變形；當(dāng)外加電場(chǎng)去掉后，電介質(zhì)的變形也隨之消失。這種將電能轉(zhuǎn)換為機(jī)械能的現(xiàn)象稱為”逆壓電效應(yīng)“。壓電式傳感器具有體積小，重量輕，工作頻帶寬等特點(diǎn)，因此在各種動(dòng)態(tài)力、機(jī)械沖擊與振動(dòng)的測(cè)量，以及聲學(xué)、醫(yī)學(xué)、力學(xué)、宇航等方面都得到了非常廣泛的應(yīng)用2023/2/31202.壓電效應(yīng)原理具有壓電效應(yīng)的物質(zhì)很多，如石英晶體、壓電陶瓷、高分子壓電材料等石英晶體是一種應(yīng)用廣泛的壓電晶體。它是二氧化硅單晶體，屬于六角晶系。它為規(guī)則的六角棱柱體。石英晶體有3個(gè)晶軸：x軸、y軸和z軸。z軸又稱光軸，它與晶體的縱軸線方向一致：x軸又稱電軸，它通過(guò)六面體相對(duì)的兩個(gè)棱線并垂直于光軸：y軸又稱為機(jī)械軸，它垂直于兩個(gè)相對(duì)的晶柱棱面。2023/2/3121石英晶體及切片2023/2/3122石英晶體的壓電效應(yīng)與其內(nèi)部結(jié)構(gòu)有關(guān)，產(chǎn)生極化現(xiàn)象的機(jī)理可說(shuō)明。石英晶體的化學(xué)式為SiO2，它的每個(gè)晶胞中有3個(gè)硅離子和6個(gè)氧離子，一個(gè)硅離子和兩個(gè)氧離子交替排列（氧離子是成隊(duì)出現(xiàn)的）。沿光軸看去，可以等效地認(rèn)為正六邊形排列結(jié)構(gòu)。2023/2/3123石英晶體的壓電效應(yīng)機(jī)理2023/2/3124分析說(shuō)明（1）在無(wú)外力作用時(shí)（2）當(dāng)晶體沿電軸（x軸）方向受到壓力時(shí)，晶格產(chǎn)生變形（3）同樣，當(dāng)晶體的機(jī)械軸（y軸）方向受到壓力時(shí)，也會(huì)產(chǎn)生晶格變形（4）當(dāng)晶體的光軸（z軸）方向受到受力時(shí)，由于晶格的變形不會(huì)引起正負(fù)電荷中心的分離，所以不會(huì)產(chǎn)生壓電效應(yīng)。2023/2/3125結(jié)論沿機(jī)械軸方向的力作用在晶體上時(shí)，產(chǎn)生的電荷與晶體切面的幾何尺寸有關(guān)，式中的負(fù)號(hào)說(shuō)明沿機(jī)械軸的壓力引起的電荷極性與沿電軸的壓力引起的電荷極性恰好相反。2023/2/31261.2壓電材料石英晶體、鈦酸鋇、鋯鈦酸鉛等材料是性能優(yōu)良的壓電材料。應(yīng)用于壓電式傳感器中的壓電元件材料一般有3類：壓電晶體、經(jīng)過(guò)極化處理的壓電陶瓷、高分子壓電材料。2023/2/3127石英晶體天然形成的石英晶體外形2023/2/3128壓電陶瓷外形

2023/2/3129可用于波形分析及報(bào)警的高分子壓電踏腳板

2023/2/3130壓電式腳踏報(bào)警器

2023/2/31311.3壓電式傳感器的應(yīng)用壓縮式壓電加速度傳感器的結(jié)構(gòu)圖2023/2/31321.3壓電式傳感器的應(yīng)用壓縮式壓電加速度傳感器的結(jié)構(gòu)圖第四節(jié)、轉(zhuǎn)速傳感器一、光電式轉(zhuǎn)速傳感器光電式傳感器是把被測(cè)物理量的變化先轉(zhuǎn)換成光信號(hào)的變化，然后再通過(guò)光電轉(zhuǎn)換元件把光信號(hào)變換成電信號(hào)的一種傳感器。光電式傳感器的測(cè)量方法靈活多樣，并且具有使用方便、非接觸、高精度、高分辨力、高可靠性和反應(yīng)快等一系列優(yōu)點(diǎn)，因而發(fā)展十分迅速，而且隨著激光、光柵、光導(dǎo)纖維、CCD等器件的相繼問(wèn)世，光電傳感器在檢測(cè)及自動(dòng)控制領(lǐng)域中得到了更廣泛的應(yīng)用。2023/2/31341、光電轉(zhuǎn)速傳感器

如圖所示為在待測(cè)轉(zhuǎn)速軸上固定一帶孔的轉(zhuǎn)盤，在轉(zhuǎn)盤一邊由白熾燈產(chǎn)生恒定光，透過(guò)盤上小孔到達(dá)由光敏晶體管組成的光電轉(zhuǎn)換器上，轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電脈沖信號(hào)，經(jīng)過(guò)放大整形電路輸出整齊的脈沖信號(hào)，轉(zhuǎn)速由該脈沖頻率決定。3.轉(zhuǎn)速傳感器的測(cè)量電路1.計(jì)數(shù)測(cè)頻法2.周期測(cè)量法第六節(jié)、溫度傳感器溫度傳感器就是一種能將溫度變化轉(zhuǎn)換為電量變化的裝置，它是利用敏感元件的電參數(shù)隨溫度變化的特性來(lái)達(dá)到測(cè)量的目的。本節(jié)主要介紹熱電偶、熱敏電阻傳感器的原理、測(cè)量電路及其應(yīng)用。2023/2/3137（一）熱電偶測(cè)量原理1．熱電效應(yīng)熱電效應(yīng)就是把兩種不同的導(dǎo)體或半導(dǎo)體（A和B）串接成一個(gè)閉合回路，如果兩導(dǎo)體接點(diǎn)處溫度不同，則兩點(diǎn)之間便產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)，從而在回路中便形成了電流的現(xiàn)象。由此效應(yīng)產(chǎn)生的電動(dòng)勢(shì)

通常稱為熱電動(dòng)勢(shì)。1821年由Seeback發(fā)現(xiàn)，的，故又稱為賽貝克效應(yīng)。一、熱電偶傳感器2023/2/3138熱電勢(shì)由兩部分組成兩種導(dǎo)體組成的回路稱為“熱電偶”，這兩種導(dǎo)體稱為“熱電極”，產(chǎn)生的電勢(shì)則稱為“熱電勢(shì)”，熱電偶的兩個(gè)結(jié)點(diǎn)，一個(gè)稱為測(cè)量端（工作端或熱端），另一個(gè)稱為參考端（自由端或冷端）。一部分是兩種導(dǎo)體的接觸電勢(shì)，另一部分是單一導(dǎo)體的溫差電勢(shì)。1392．接觸電勢(shì)當(dāng)A和B兩種不同材料的導(dǎo)體接觸時(shí)，由于兩者內(nèi)部單位體積的自由電子數(shù)目不同（即電子密度不同），因此，電子在兩個(gè)方向上擴(kuò)散的速率就不一樣。假設(shè)導(dǎo)體A的自由電子密度大于導(dǎo)體B的自由電子密度，則導(dǎo)體A擴(kuò)散到導(dǎo)體B的電子數(shù)要比導(dǎo)體B擴(kuò)散到導(dǎo)體A的電子數(shù)大。所以導(dǎo)體A失去電子帶正電荷，導(dǎo)體B得到電子帶負(fù)電荷。于是，在A、B兩導(dǎo)體的接觸界面上便形成一個(gè)由A到B的電場(chǎng)。2023/2/3140接觸電勢(shì)大小1413．溫差電動(dòng)勢(shì)溫差電動(dòng)勢(shì)是同一導(dǎo)體（熱電極）的兩端因其溫度不同而產(chǎn)生的一種電動(dòng)勢(shì)。由于溫度不同，低溫端的電子數(shù)會(huì)比高溫端的電子數(shù)多，結(jié)果高溫端因少出電

子而帶正電，低溫端因多出電子而帶負(fù)電，在導(dǎo)體兩端便形成溫差電動(dòng)勢(shì)。其大小可表示為

2023/2/31424．熱電偶的電勢(shì)設(shè)導(dǎo)體A、B組成熱電偶的兩結(jié)點(diǎn)溫度分別為T和T0，熱電偶回路所產(chǎn)生的總電動(dòng)勢(shì)，熱電偶的接觸電動(dòng)勢(shì)要遠(yuǎn)大于溫差電動(dòng)勢(shì)，忽略溫差電動(dòng)勢(shì)，熱電偶的熱電勢(shì)可表示為，2023/2/3143結(jié)論（1）如果熱電偶兩材料相同，則無(wú)論結(jié)點(diǎn)處的溫度如何，總電勢(shì)為0。（2）如果兩結(jié)點(diǎn)處的溫度相同，盡管A、B材料不同，總熱電勢(shì)為0。（3）熱電偶熱電勢(shì)的大小，只與組成熱電偶的材料和兩結(jié)點(diǎn)的溫度有關(guān)，而與熱電偶的形狀尺寸無(wú)關(guān)，當(dāng)熱電偶兩電極材料固定后，熱電勢(shì)便是兩結(jié)點(diǎn)電勢(shì)差。（4）如果使冷端溫度Ｔ0保持不變，則熱電動(dòng)勢(shì)便成為熱端溫度Ｔ的單一函數(shù)。2023/2/3144（二）、熱電偶結(jié)構(gòu)及種類1熱電偶的基本結(jié)構(gòu)形式2熱電偶材料3常用熱電偶2023/2/31451.熱電偶的基本結(jié)構(gòu)形式熱電偶的結(jié)構(gòu)形式有普通型熱電偶、鎧裝型熱電偶和薄膜熱電偶等。熱電偶的種類雖然很多，但通常由金屬熱電極、絕緣子、保護(hù)套管及接線裝置等部分組成。2023/2/3146普通型熱電偶普通型結(jié)構(gòu)熱電偶工業(yè)上使用最多，它一般由熱電極、絕緣套管、保護(hù)管和接線盒組成。普通型熱電偶按其安裝時(shí)的連接形式可分為固定螺紋連接、固定法蘭連接、活動(dòng)法蘭連接、無(wú)固定裝置等多種形式。普通型熱電偶結(jié)構(gòu)圖2023/2/3147普通裝配型熱電偶的外形安裝螺紋安裝法蘭2023/2/3148普通裝配型熱電偶的

結(jié)構(gòu)放大圖

接線盒引出線套管

固定螺紋

（出廠時(shí)用塑料包裹）熱電偶工作端（熱端）

不銹鋼保護(hù)管

2023/2/3149鎧裝型熱電偶鎧裝型熱電偶又稱套管熱電偶。它是由熱電偶絲、絕緣材料和金屬套管三者經(jīng)拉伸加工而成的堅(jiān)實(shí)組合體.它可以做得很細(xì)很長(zhǎng)，使用中隨需要能任意彎曲。鎧裝型熱電偶的主要優(yōu)點(diǎn)是測(cè)溫端熱容量小，動(dòng)態(tài)響應(yīng)快，機(jī)械強(qiáng)度高，撓性好，可安裝在結(jié)構(gòu)復(fù)雜的裝置上，因此被廣泛用在許多工業(yè)部門中。2023/2/3150鎧裝型熱電偶結(jié)構(gòu)

1—接線盒2—金屬套管3—固定裝置4—絕緣材料5—熱電極2023/2/3151鎧裝型熱電偶外形法蘭鎧裝型熱電偶可長(zhǎng)達(dá)上百米薄壁金屬保護(hù)套管（鎧體）

BA絕緣材料鎧裝型熱電偶橫截面2023/2/31522.熱電偶材料1．對(duì)熱電極材料的一般要求2．電極材料的分類2023/2/3153對(duì)熱電極材料的一般要求（1）配對(duì)的熱電偶應(yīng)有較大的熱電勢(shì)，并且熱電勢(shì)對(duì)溫度盡可能有良好的線性關(guān)系。（2）能在較寬的溫度范圍內(nèi)應(yīng)用，并且在長(zhǎng)時(shí)間工作后，不會(huì)發(fā)生明顯的化學(xué)及物理性能的變化。（3）電阻溫度系數(shù)小，電導(dǎo)率高。（4）易于復(fù)制，工藝性與互換性好，便于制定統(tǒng)一的分度表，材料要有一定的韌性，焊接性能好，以利于制作。2023/2/3154電極材料的分類（1）一般金屬，如鎳鉻-鎳硅，銅-鎳銅，鎳鉻-鎳鋁，鎳鉻-考銅等。（2）貴金屬，這類熱電偶材料主要是由鉑、銥、銠、釕、鋨及其合金組成，如鉑鐒-鉑、銥銠-銥等。（3）難熔金屬，這類熱電偶材料系由鎢、鉬、鈮、錸、鋯等難熔金屬及其合金組成，如鎢錸-鎢錸、鉑銠-鉑銠等熱電偶。（三）、熱電偶測(cè)量電路1.測(cè)量單點(diǎn)溫度的基本測(cè)溫電路2.測(cè)量?jī)牲c(diǎn)間溫差大電路3.測(cè)量平均溫度的電路2023/2/3156二、熱敏電阻傳感器工作原理

熱敏電阻是利用半導(dǎo)體的電阻值隨溫度顯著變化這一特性制成的一種熱敏元件，其特點(diǎn)是電阻率隨溫度而顯著變化。金屬導(dǎo)體的電阻值隨溫度的升高而增大，但半導(dǎo)體卻相反，它的電阻值隨溫度的升高而急劇減小，在溫度變化相同時(shí)，熱敏電阻的阻值變化約為鉑熱電阻的10倍，因此可以用它來(lái)測(cè)量0.01℃或更小的溫度。2023/2/3157結(jié)構(gòu)類型及特點(diǎn)熱敏電阻是由一些金屬氧化物，如錳、鎳等氧化物，采用不同比例的配方，經(jīng)高溫?zé)Y(jié)而成，然后采用不同的封裝形式制成珠狀、片狀、桿狀和墊狀等各種形狀。其主要由熱敏探頭、引出線、殼體構(gòu)成。如圖所示。2023/2/3158熱敏電阻的溫度特性曲線

2023/2/3159熱敏電阻的溫度特性曲線

第七節(jié)、氣敏傳感器1.產(chǎn)生原因:為了確保安全，需對(duì)各種可燃性氣體、有毒性氣體進(jìn)行檢測(cè)。目前實(shí)用氣體方法很多，其中接觸燃燒法和用半導(dǎo)體氣敏傳感器檢測(cè)法具有使用方便、費(fèi)用低等特點(diǎn)。2.發(fā)展過(guò)程:半導(dǎo)體氣敏元件是60年代初期研制成功的，最先研制的是SnO2薄膜元件。它是利用加熱條件下SnO2薄膜電