GB/T 24578-2009硅片表面金屬沾污的全反射X光熒光光譜測(cè)試方法

犐犆犛２９．０４５

犎８０

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜２４５７８—２００９

硅片表面金屬沾污的

全反射犡光熒光光譜測(cè)試方法

犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犿犲犪狊狌狉犻狀犵狊狌狉犳犪犮犲犿犲狋犪犾犮狅狀狋犪犿犻狀犪狋犻狅狀狅狀狊犻犾犻犮狅狀狑犪犳犲狉狊犫狔

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２００９１０３０發(fā)布２０１００６０１實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書(shū)

犌犅／犜２４５７８—２００９

前言

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ為規(guī)范性附錄，附錄Ｂ為資料性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：有研半導(dǎo)體材料股份有限公司、萬(wàn)向硅峰電子有限公司。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：孫燕、李俊峰、樓春蘭、盧立延、張靜、翟富義。

Ⅰ

書(shū)

犌犅／犜２４５７８—２００９

硅片表面金屬沾污的

全反射犡光熒光光譜測(cè)試方法

１范圍

１．１本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片表面金屬沾污的全反射Ｘ光熒光光譜測(cè)試方法，本方法使用單色Ｘ光源全反

射Ｘ光熒光光譜的方法定量測(cè)定硅單晶拋光襯底表面層的元素面密度。

１．２本標(biāo)準(zhǔn)適用于Ｎ型和Ｐ型硅單晶拋光片、外延片等鏡面拋光的硅片，尤其適用于清洗后硅片自然

氧化層，或經(jīng)化學(xué)方法生長(zhǎng)的氧化層中沾污元素的面密度測(cè)定。

１．３對(duì)良好的鏡面拋光片表面，可探測(cè)深度約５ｎｍ，分析深度隨表面粗糙度的改善而增加。

１．４本方法可檢測(cè)原子周期表中１６（Ｓ）９２（Ｕ）的元素，尤其對(duì)確定如下元素有效：鉀、鈣、鈦、釩、鉻、

錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、砷、鉬、鈀、銀、錫、鉭、鎢、鉑、金、汞和鉛。

１．５本方法適用于測(cè)量面密度在（１０９～１０１５）ａｔｏｍｓ／ｃｍ２的范圍的元素。檢測(cè)極限依賴(lài)于原子數(shù)、激勵(lì)

能、激勵(lì)Ｘ射線(xiàn)的光通量，設(shè)備的本底積分時(shí)間以及空白值。對(duì)恒定的設(shè)備參數(shù)，無(wú)干擾探測(cè)極限是元

素原子序數(shù)的函數(shù)，其變化超過(guò)兩個(gè)數(shù)量級(jí)，見(jiàn)附錄Ａ．１中重復(fù)性和檢測(cè)極限的相關(guān)性討論。

１．６本方法是非破壞性的。

本方法是對(duì)其他測(cè)試方法的補(bǔ)充（見(jiàn)附錄Ｂ）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ／Ｔ２８２８．１計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第１部分：按接收質(zhì)量限（ＡＱＬ）檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃

（ＧＢ／Ｔ２８２８．１—２００３，ＩＳＯ２８５９１：１９９９，ＩＤＴ）

ＧＢ／Ｔ１４２６４半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)

ＳＥＭＩＭＦ１５２６用全反射Ｘ射線(xiàn)熒光光譜法測(cè)量硅片表面的金屬沾污

３術(shù)語(yǔ)和定義

ＧＢ／Ｔ１４２６４確立的以及下列術(shù)語(yǔ)、定義和縮略語(yǔ)適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

３．１

角掃描犪狀犵犾犲狊犮犪狀

作為掠射角函數(shù)，對(duì)發(fā)射的熒光信號(hào)的測(cè)量。

３．２

臨界角犮狉犻狋犻犮犪犾犪狀犵犾犲

當(dāng)掠射角低于某一角度時(shí)，被測(cè)表面發(fā)生對(duì)入射Ｘ射線(xiàn)的全反射，這一角度稱(chēng)為臨界角，即能產(chǎn)生

全反射的最大角度。

３．３

掠射角犵犾犪狀犮犻狀犵犪狀犵犾