GB/T 25915.3-2010潔凈室及相關受控環(huán)境第3部分：檢測方法

ICS13.040.35C70中華人民共和國國家標準GB/T25915.3-2010/ISO14644-3：2005潔凈室及相關受控環(huán)境第3部分：檢測方法Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments-Part3：Testmethods(ISO14644-3:2005.IDT)2011-01-14發(fā)布2011-05-01實施中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局愛布中國國家標準化餐理委員會

GB/T25915.3-2010/ISO14644-3：2005二次前言引言1范圍規(guī)范性引用文件3術語和定義3.1一般術語3.2空氣懸浮粒子測量3.3空氣過濾器和過濾系統(tǒng)3.43.5靜電測量3.6測量器具和測量條件3.7占用狀態(tài)4檢測規(guī)程4.1潔凈室檢測4.2原理55檢測報告附錄A（資料性附錄)檢測項目的選擇和實施順序附錄B（資料性附錄)檢測方法附錄C（資料性附錄)檢測儀器參考文獻

GB/T25915.3-2010/IS014644-3:2005前GB/T25915《潔凈室及相關受控環(huán)境》分為八個部分：第1部分：空氣潔凈度等級；第2部分：證實持續(xù)符合GB/T25915.1的檢測與監(jiān)測技術要求：第3部分：檢測方法；第4部分：設計、建造、啟動；第5部分：運行：第6部分：詞匯：-第7部分：隔離裝置(潔凈風罩、手套箱、隔離器、微環(huán)境)第第8部分：空氣分子污染分級本部分是GB/T25915的第3部分本部分按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草本部分使用翻譯法等同采用ISO14644-3:2005《潔凈室及相關受控環(huán)境第3部分：檢測方法》。本部分由全國潔凈室及相關受控環(huán)境標準化技術委員會(SAC/TC319）提出并歸口。本部分由蘇州尚科潔凈技術有限公司、上?？菩艡z測科技有限公司、北京市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗所負責起草，蘇州英德爾室內(nèi)空氣技術有限公司、北京控制工程研究所、蘇州克林絡姆空調(diào)系統(tǒng)工程有限公司、蘇州工業(yè)園區(qū)宏基潔凈科技有限公司、蘇州高科凈化有限責任公司、凈微（蘇州)科技有限公司、萊特浩斯儀器(蘇州)有限公司、深圳金開利環(huán)境科技有限公司參加起草。本部分主要起草人：吳俊民、涂光備、丁衛(wèi)敏、張利群、蔡杰、陳思源、張訓彪、嚴勤豐、邊炳秀、郭良、徐偉

GB/T25915.3-2010/ISO14644-3:2005潔凈室及相關受控環(huán)境將空氣污染物控制在合適的水平.以便完成對污染敏感的工作。航天、微電子、制藥、醫(yī)療器械、食品、醫(yī)療等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝受益于對空氣污染的控制。GB/T25915的本部分給出了對GB/T25915其他各部分所介紹并規(guī)定的潔凈室特征進行檢測的方法。?。罕静糠植⑽窗ㄋ袧崈羰覅?shù)的檢測規(guī)程。涉及特定產(chǎn)品和特定工藝的潔凈室和潔凈區(qū)及相關參數(shù)的檢測規(guī)程和所用儀器.在SAC/TC319編制的其他文件中討論例如,對活物質(zhì)的控制與檢測規(guī)程(GB/T25916).潔凈室功能性檢測(GB/T25915.4—2010),隔離裝置檢測（GB/T25915.7—2010)。此外，潔凈室的檢測活動中也可以考電采用其他適用標準。GB/T25915的本部分的陳述中參照了美國材料與試驗協(xié)會（ASTM),歐洲標準化委員會(CEN）德國標準化協(xié)會(DIN).美國環(huán)境科學技術學會（IEST),日本空氣潔凈協(xié)會（JACA）,日本工業(yè)標準（JIS)和國際半導體制造協(xié)會（SEMI）等團體編制的標準，

GB/T25915.3-2010/IS014644-3:2005潔凈室及相關受控環(huán)境第3部分：檢測方法警告一-GB/T25915的本部分的應用可能涉及有害材料、作業(yè)和設備。GB/T25915的本部分未提及與應用有關的所有安全性問題。使用前·GB/T25915本部分的用戶有責任制定適當?shù)陌踩托l(wèi)生獵施·并遵守各種強制性規(guī)定。1范圍GB/T25915的本部分規(guī)定了潔凈室和潔凈區(qū)空氣懸浮粒子潔凈度等級的檢測方法，以及潔凈室和潔凈區(qū)性能的檢測方法。性能檢測針對是空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)3種可能的占用狀態(tài)下的單向流和非單向流型式潔凈室和潔凈區(qū)。本文件推薦了測定性能參數(shù)用檢測儀器和檢測規(guī)程。某些檢測方法受限于潔凈室或潔凈區(qū)的類型,為此·本文件推薦了若干替代方法。為了滿足不同用戶的要求.對于某些檢測項目，本文件推薦了幾種不同的方法和儀器。若需方與供方協(xié)商同意，也可以使用本部分未介紹的其他替代方法。替代方法未必給出相同的測量結果。本部分不適用于測量潔凈室或隔離裝置內(nèi)的產(chǎn)品或工藝。2規(guī)范性引用文件下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件.僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T25915.1-2010潔凈室及相關受控環(huán)境第1部分：空氣潔凈度等級(ISO14644-1：1999，IDT）GB/T25915.2-2010潔凈室及相關受控環(huán)境第2部分：證明持續(xù)符合GB/T25915.1的檢測與監(jiān)測技術要求(ISO14644-2:2000,IDT)GB/T25915.4—2010清凈室及相關受控環(huán)境第4部分：設計、建造、啟動（ISO14644-4:2001IDT）ISO7726：1998熱環(huán)境人體功效學物理量測量儀器3術語和定義下列術語和定義適用于本文