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  • 2011-01-14 頒布
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GB/T 26307-2010銀靶_第1頁
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文檔簡介

ICS7712099

H68..

中華人民共和國國家標準

GB/T26307—2010

銀靶

Silvertarget

2011-01-14發(fā)布2011-11-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T26307—2010

前言

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準由北京有研億金新材料股份有限公司負責起草

。

本標準主要起草人閆琳楊華李蕊楊永剛雷繼鋒熊曉東江軒

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T26307—2010

銀靶

1范圍

本標準規(guī)定了銀靶的要求試驗方法檢驗規(guī)則和標志包裝運輸貯存及質(zhì)量證明書與訂貨單或

、、、、、(

合同內(nèi)容

)。

本標準適用于半導體器件用的各類銀濺射靶材以下簡稱銀靶其他用途的靶材也可參照使用

()。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

銀

GB/T4135

金屬平均晶粒度測定方法

GB/T6394

銀化學分析方法

GB/T11067

貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

GB/T15077

3要求

31產(chǎn)品分類

.

銀靶的類型按化學成分為一種

IC-Ag99.99。

銀靶的形狀和尺寸主要由設備基臺確定外形主要為圓形矩形和異型

,、。

32化學成分

.

銀靶的化學成分應符合的規(guī)定需方對某種特定雜質(zhì)元素含量有要求

IC-Ag99.99GB/T4135。

的由供需雙方協(xié)商確認

,。

33晶粒度

.

銀靶的橫向平均晶粒度應在

50μm~150μm。

34外觀質(zhì)量

.

銀靶表面應無凹坑劃傷裂紋凸起等缺陷無潤滑痕跡顆粒附加物和其他沾污應清潔光滑無

、、、;、;,

指痕無油污和銹蝕

,。

35表面粗糙度

.

銀靶表面粗糙度Ra值應不大于

1.6μm。

36幾何尺寸

.

361圓形銀靶的直徑?主要有厚度通常為

..

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