GB/T 27788-2011微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準導則

ICS37020

N32.

中華人民共和國國家標準

GB/T27788—2011/ISO167002004

:

微束分析掃描電鏡

圖像放大倍率校準導則

Microbeamanalysis—Scanningelectronmicroscopy—Guidelinesfor

calibratingimagemagnification

(ISO16700:2004,IDT)

2011-12-30發(fā)布2012-08-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T27788—2011/ISO167002004

:

目次

前言…………………………

Ⅰ

引言…………………………

Ⅱ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術語和定義………………

31

圖像放大倍率……………

43

參考物質(zhì)…………………

53

校準過程…………………

64

圖像放大倍率和標尺的準確度…………

77

校準報告…………………

87

附錄資料性附錄用于放大倍率校準的參考物質(zhì)…………………

A()9

附錄資料性附錄影響掃描電鏡放大倍率的參數(shù)…………………

B()11

附錄資料性附錄放大倍率測量中的不確定度……………………

C()12

附錄資料性附錄檢驗報告示例……………………

D()13

GB/T27788—2011/ISO167002004

:

前言

本標準按給出的規(guī)則編寫

GB/T1.1—2009。

本標準采用翻譯法等同采用微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準導則英

ISO16700:2004《》(

文版

)。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準主要起草單位中國地質(zhì)科學院礦產(chǎn)資源研究所中國科學院上海硅酸鹽研究所上海第二

:、、

軍醫(yī)大學

。

本標準主要起草人陳振宇周劍雄李香庭楊勇驥

:、、、。

Ⅰ

GB/T27788—2011/ISO167002004

:

引言

掃描電鏡廣泛用于對各種重要材料如半導體金屬聚合物玻璃食品及生物材料等的表面結構

,、、、、

的觀察研究本標準應用于圖像放大倍率的校準它描述了在掃描電鏡中使用有證參考物質(zhì)和參考物

。,

質(zhì)進行圖像放大倍率校準的要求

。

Ⅱ

GB/T27788—2011/ISO167002004

:

微束分析掃描電鏡

圖像放大倍率校準導則

1范圍

本標準規(guī)定了使用適當?shù)膮⒖嘉镔|(zhì)對掃描電鏡圖像的放大倍率進行校準的方法

(SEM)。

本標準限于對由參考物質(zhì)上線距大小的范圍所決定的放大倍率進行校準

。

本標準不適用于專用測長型掃描電鏡

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

測量方法與結果的準確度正確度與精密度第部分總則與定義

GB/T6379.1—2004()1:

(ISO5725-1:1994,IDT)

標準樣品

ISOGuide34:1996Qualitysystemguidelinefortheproductionofreferencematerials(

生產(chǎn)的質(zhì)量體系準則

)

標準

ISOGuide35:1989Certificationofreferencematerials—Generalandstatisticalprinciples.(

樣品認證一般原則和統(tǒng)計方法

—)

ISO/IEC17025:1999Generalrequirementsforthecompetenceoftestingandcalibrationlabora-

測試和校準實驗室能力的通用要求

tories()

標準物質(zhì)常用術語和定義

JISQ0030—1997(ISOGuide30:1992,IDT)

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件