GB/T 31563-2015金屬覆蓋層厚度測(cè)量掃描電鏡法

ICS2522040

A29..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T31563—2015

金屬覆蓋層厚度測(cè)量

掃描電鏡法

Metalliccoatings—Measurementofcoatingthickness—

Scanningelectronmicroscopemethod

(ISO9220:1988,MOD)

2015-05-15發(fā)布2016-01-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T31563—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)修改采用金屬覆蓋層厚度測(cè)量掃描電鏡法

ISO9220:1988《》。

本標(biāo)準(zhǔn)與的主要技術(shù)差異如下

ISO9220:1988:

對(duì)照本標(biāo)準(zhǔn)采用照相成像輸出由于技術(shù)發(fā)展本標(biāo)準(zhǔn)修改采用計(jì)

———ISO9220:1988(9.2.1.2),。,

算機(jī)磁盤記錄存儲(chǔ)圖像并標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)中涉及利用視頻波形的信號(hào)目前設(shè)備已不采用本

。ISO,

標(biāo)準(zhǔn)采用分辨率更高的線掃描等技術(shù)

EDS。

規(guī)范性引用文件替換為對(duì)應(yīng)的我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)并增加了的引用

———,GB/T27788—2011。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)金屬與非金屬覆蓋層標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC57)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位武漢材料保護(hù)研究所清華大學(xué)株洲鉆石硬質(zhì)合金廠西安西電高壓開關(guān)有限公

:、、、

司重慶市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院東莞市五株電子科技有限公司深圳市發(fā)斯特精密技術(shù)有限公司

、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人李健邵天敏段海濤劉秀生陳利馬博凃杰松王鼎于翔曾國(guó)權(quán)孫聯(lián)和

:、、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T31563—2015

金屬覆蓋層厚度測(cè)量

掃描電鏡法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了通過掃描電子顯微鏡檢測(cè)金屬試樣橫截面局部厚度的方式測(cè)量金屬涂層厚

(SEM)

度的方法它通常是一種破壞性的檢測(cè)方式不確定度小于或者該測(cè)量方法也可以用

。,10%,0.1μm。

來測(cè)量幾個(gè)毫米厚的涂層但是對(duì)于這類厚涂層建議采用光學(xué)顯微鏡法進(jìn)行測(cè)量

,(GB/T6462)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

金屬和氧化物覆蓋層厚度測(cè)量顯微鏡法

GB/T6462(GB/T6462—2005,ISO1463:2003,

IDT)

金屬和其他非有機(jī)覆蓋層關(guān)于厚度測(cè)量的定義和一般規(guī)則

GB/T12334(GB/T12334—2001,

ISO2064:1996,IDT)

微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則

GB/T27788—2011(ISO16700:2004,IDT)

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

局部厚度localthickness

在涂層的一個(gè)指定區(qū)域內(nèi)進(jìn)行多次測(cè)量取平均值所得的厚度值

,。

[GB/T12334—2001,3.4]

4原理

將試樣沿垂直于涂層水平方向切割并經(jīng)過仔細(xì)打磨和拋光制成金相試樣放入掃描電子顯微鏡

,,,

中進(jìn)行檢測(cè)測(cè)量是通過常規(guī)的涂層截面顯微圖片來獲得涂層的厚度

。,。

5儀器

51掃描電子顯微鏡SEM

.()

分辨率應(yīng)優(yōu)于

50