GB/T 30705-2014微束分析電子探針顯微分析波譜法實(shí)驗(yàn)參數(shù)測(cè)定導(dǎo)則

ICS7104050

G04..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T30705—2014

微束分析電子探針顯微分析

波譜法實(shí)驗(yàn)參數(shù)測(cè)定導(dǎo)則

Microbeamanalysis—Electronprobemicroanalysis—

Guidelinesforthedeterminationofexperimentalparametersfor

wavelengthdispersivespectroscopy

(ISO14594:2009,MOD)

2014-06-09發(fā)布2014-12-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T30705—2014

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

縮略語(yǔ)

4……………………2

實(shí)驗(yàn)參數(shù)

5…………………2

概要

5.1…………………2

入射電子束參數(shù)

5.2……………………2

波譜儀參數(shù)

5.3…………………………3

試樣參數(shù)

5.4……………4

測(cè)量步驟

6…………………4

概要

6.1…………………4

束流

6.2…………………4

譜峰測(cè)量參數(shù)

6.3………………………5

試樣參數(shù)

6.4……………7

實(shí)驗(yàn)報(bào)告

7…………………7

附錄資料性附錄分析面積的估算方法

A()……………9

附錄資料性附錄分析深度的估算方法

B()……………11

附錄資料性附錄射線分析體積的蒙特卡羅模擬估算方法

C()X(MC)……………12

參考文獻(xiàn)

……………………15

GB/T30705—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)使用重新起草法修改采用微束分析電子探針顯微分析波譜法實(shí)驗(yàn)參

ISO14594:2009《

數(shù)測(cè)定導(dǎo)則英文版

》()。

本標(biāo)準(zhǔn)與微束分析電子探針顯微分析波譜法實(shí)驗(yàn)參數(shù)測(cè)定導(dǎo)則英文版

ISO14594:2009《》()

的主要技術(shù)差異

:

用代替

———GB/T27025:2008ISOGuide25:1990;

將第章中的項(xiàng)修改為的

———7ISOGuide25:199013.2GB/T27025—20085.10。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人曾毅李香庭吳偉

:、、。

Ⅰ

GB/T30705—2014

微束分析電子探針顯微分析

波譜法實(shí)驗(yàn)參數(shù)測(cè)定導(dǎo)則

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了進(jìn)行電子探針?lè)治鰰r(shí)的入射電子束波譜儀和試樣的實(shí)驗(yàn)參數(shù)測(cè)定的一般原則并規(guī)

、,

定了束流束流密度死時(shí)間波長(zhǎng)分辨率背底分析面積分析深度和分析體積的測(cè)定過(guò)程

、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于垂直入射電子束對(duì)拋光試樣的分析對(duì)于其他實(shí)驗(yàn)條件這些實(shí)驗(yàn)參數(shù)只能作為

,,

參考

。

本標(biāo)準(zhǔn)不適用于能譜法

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

檢測(cè)和校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室能力的通用要求

GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

分析面積analysisarea

能檢測(cè)到全部信號(hào)或者規(guī)定百分?jǐn)?shù)信號(hào)的試樣表面的二維區(qū)域

。

32

.

分析深度analysisdepth

從試樣表面到作用體積底部的垂直距離經(jīng)過(guò)該距離能檢測(cè)到全部信號(hào)或者規(guī)定百分?jǐn)?shù)的信號(hào)

,