GB/T 31226-2014掃描隧道顯微術(shù)測定氣體配送系統(tǒng)部件表面粗糙度的方法

ICS1704020

J04..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T31226—2014

掃描隧道顯微術(shù)測定氣體配送系統(tǒng)部件

表面粗糙度的方法

Standardtestmethodfordeterminationofsurfaceroughness

byscanningtunnelingmicroscopyforgasdistributionsystemcomponents

2014-09-30發(fā)布2015-04-15實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

掃描隧道顯微術(shù)測定氣體配送系統(tǒng)部件

表面粗糙度的方法

GB/T31226—2014

*

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20149

*

書號

:155066·1-49575

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T31226—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國科學(xué)院提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC279)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位上海交通大學(xué)納米技術(shù)及應(yīng)用國家工程研究中心

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)起草人李慧琴梁齊路慶華何丹農(nóng)張冰

:、、、、。

Ⅰ

GB/T31226—2014

引言

半導(dǎo)體凈化室需要高純氣體配送系統(tǒng)的保障本標(biāo)準(zhǔn)提供了一種用于此氣體配送系統(tǒng)中一種或多

,

種部件的表面粗糙度評價(jià)方法是一種非接觸的表面輪廓測試方法能夠在納米尺度范圍內(nèi)測試

。STM,

樣品的三維表面形貌并能夠表征表面結(jié)構(gòu)和提供其評定參數(shù)這種表面結(jié)構(gòu)作為一種依據(jù)的測試方

,。

法的應(yīng)用期望能得到不同部件表面粗糙度的比較數(shù)據(jù)以得到高質(zhì)量的氣體體系凈化配件

,,。

定向刻蝕或?qū)w涂層可以改善氣體在表面的潤濕性本標(biāo)準(zhǔn)沒有涉及本標(biāo)準(zhǔn)假設(shè)操作人

,。STM

員已經(jīng)掌握了儀器的原理操作和假象

、。

本標(biāo)準(zhǔn)定義了一種標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)表示格式并提出了用得到的數(shù)據(jù)來分析三維表面結(jié)構(gòu)的評定

,STM

參數(shù)

。

Ⅱ

GB/T31226—2014

掃描隧道顯微術(shù)測定氣體配送系統(tǒng)部件

表面粗糙度的方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了一種使用掃描隧道顯微鏡來分析氣體配送系統(tǒng)部件表面粗糙度的方法

(STM)。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于測定Ra小于的不銹鋼表面粗糙度的表征

0.25μm。

本標(biāo)準(zhǔn)不適用于不能產(chǎn)生隧道效應(yīng)的厚氧化層鋼鐵

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

測定試驗(yàn)方法精密性進(jìn)行實(shí)驗(yàn)室間研究的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施規(guī)范

ASTME691(PracticeforConducting

anInterlaboratoryStudytoDeterminethePrecisionofaTestMethod)

表面結(jié)構(gòu)表面粗糙度波紋度和扭轉(zhuǎn)度

ANSIB46.1:1985(、)[SurfaceTexture(SurfaceRough-

ness,Waviness,andLay)]

3術(shù)語和定義符號和縮略語

、

31術(shù)語和定義

.

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

311

..

假象artifact

非真實(shí)的表面形貌包括震動(dòng)電子噪音熱漂移或不理想探針影響而形成的形貌

,,,。

312

..

中心線centerline

圖像中心線graphicalcenterline

平行于測試輪廓方向的線使得它和輪廓之間的面積在中心線兩側(cè)相等

,。

313

..

截取長度cutofflength

l

c

針對于本文中的輪廓線即取樣長度也就是一個(gè)掃描長度單位為納米

,,,(nm)。

314

..

電流current

本標(biāo)準(zhǔn)中指在特定條件下流過探針和樣品表面任何方向的隧道電流

,(nA)。

315

..

特征高度fea