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GB/T 31469-2015半導體材料切削液_第1頁
GB/T 31469-2015半導體材料切削液_第2頁
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文檔簡介

ICS31030

L90-

中華人民共和國國家標準

GB/T31469—2015

半導體材料切削液

Semiconductormaterialscuttingfluid

2015-05-15發(fā)布2016-01-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T31469—2015

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

技術要求

3…………………1

試驗方法

4…………………2

檢驗規(guī)則

5…………………2

標志包裝儲存及運輸

6、、…………………3

GB/T31469—2015

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位揚州華裕光伏材料有限公司西安飛訊光電有限公司揚州市職業(yè)大學東方電氣

:、、、

集團峨嵋半導體材料有限公司中國電子技術標準化研究院

、。

本標準起草人繆德俊徐蓉艷繆立山彭新玲丁浩郭倩蒲學軍王香

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T31469—2015

半導體材料切削液

1范圍

本標準規(guī)定了半導體材料切削液的各項技術要求試驗方法檢驗規(guī)則標志包裝儲存及運輸?shù)?/p>

、、、、、

要求

。

本標準適用于半導體材料線切割加工采用的切削液

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

化學試劑標準滴定溶液的制備

GB/T601

化學試劑試驗方法中所用制劑及制品的制備

GB/T603

液體化學產品顏色測定法單位鉑鈷色號

GB/T3143(Hazen———-)

化工產品密度相對密度的測定

GB/T4472—2011、

表面活性劑水溶液值的測定電位法

GB/T6368pH

化工產品采樣總則

GB/T6678

液體化工產品采樣通則

GB/T6680

分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法

GB/T6682—2008

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

粘度測量方法

GB/T10247

表面活性劑含水量的測定

GB/T11275

電子級水

GB/T11446.1

液態(tài)烴類電導率測定法

GB/T12582

化學試劑包裝及標志

GB/T15346—2012

3技術要求

半導體材料切削液技術要求應符合表規(guī)定

1。

表1半導體及太陽能級晶體材料線切割用切削液要求

要求

項目

型型型

ⅠⅡⅢ

外觀無色或微黃透明液體

粘度

≤4040~52≥5

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