GB/T 32652-2016多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料

ICS31030

L90.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T32652—2016

多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料

Fusedquartzusedforquartzceramiccruciblesforcastingpolycrystallinesilicon

2016-04-25發(fā)布2016-11-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

中華人民共和國(guó)

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料

GB/T32652—2016

*

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線(xiàn)

:400-168-0010

年月第一版

20166

*

書(shū)號(hào)

:155066·1-53852

版權(quán)專(zhuān)有侵權(quán)必究

GB/T32652—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專(zhuān)利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位國(guó)家硅材料深加工產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心東海縣產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)所江蘇中

:、、

騰石英材料科技有限公司中材高新江蘇硅材料有限公司中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人薄雷明程尚栩欒振祥張存君王祥許振午李建德管琪馮亞彬

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T32652—2016

多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料的技術(shù)要求檢驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志包裝運(yùn)

、、、、

輸和貯存

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于太陽(yáng)能級(jí)多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

石英玻璃化學(xué)成分分析方法

GB/T3284

塑料編織袋通用技術(shù)要求

GB/T8946

高純石英中雜質(zhì)含量的測(cè)定方法電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法

JC/T2027—2010———

工業(yè)用酸洗石英砂

SJ/T10380—2012

3產(chǎn)品分類(lèi)

多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料按產(chǎn)品粒度分為熔融石英塊料和熔融石英砂料

。

4技術(shù)要求

41外觀

.

熔融石英塊料外觀應(yīng)為無(wú)色透明或半透明無(wú)異色點(diǎn)

,。

42灼燒失量

.

熔融石英料灼燒失量應(yīng)小于

0.05%。

43粒度

.

熔融石英塊料應(yīng)大于或等于粒徑小于的為熔融石英砂料

830μm;830μm。

44二氧化硅含量

.

二氧化硅含量應(yīng)不低于

99.95%。

45雜質(zhì)元素含量

.

雜質(zhì)元素總含量應(yīng)小于各