




版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1
掃描電子顯微鏡一、掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)二、掃描電子顯微鏡工作原理及構(gòu)造1.工作原理2.構(gòu)造三:掃描電鏡的主要性能1.放大倍數(shù)2.分辨率3.景深四:SEM信號(hào)五:樣品制備六:SEM應(yīng)用實(shí)例一、掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)高的分辨率。由于超高真空技術(shù)的發(fā)展,場(chǎng)發(fā)射電子槍的應(yīng)用得到普及,現(xiàn)代先進(jìn)的掃描電鏡的分辨率已經(jīng)達(dá)到1納米左右。有較高的放大倍數(shù),20-20萬(wàn)倍之間連續(xù)可調(diào);有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)試樣制備簡(jiǎn)單。配有X射線能譜儀裝置,這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織性貌的觀察和微區(qū)成分分析。3
二、掃描電子顯微鏡工作原理及構(gòu)造1、工作原理SEM原理示意圖目前的掃描電子顯微鏡可以進(jìn)行形貌、微區(qū)成分和晶體結(jié)構(gòu)等多種微觀組織結(jié)構(gòu)信息的同位分析。掃描電鏡的工作原理可以簡(jiǎn)單地歸納為“光柵掃描,逐點(diǎn)成像”。成像原理:利用細(xì)聚焦電子束在樣品表面掃描時(shí)激發(fā)出來(lái)的各種物理信號(hào)調(diào)制成像。類似電視攝影顯像的方式。SEM的樣品室附近可以裝入多個(gè)探測(cè)器。4
2、構(gòu)造
電子光學(xué)系統(tǒng)(鏡筒)偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)信號(hào)檢測(cè)放大系統(tǒng)圖像顯示和記錄系統(tǒng)電源系統(tǒng)真空系統(tǒng)SEM的構(gòu)造
(1).放大倍數(shù)熒光屏上的掃描振幅電子束在樣品上的掃描振幅放大倍數(shù)與掃描面積的關(guān)系:
(若熒光屏畫面面積為10×10cm2)
放大倍數(shù)掃描面積
10×(1cm)2100×(1mm)21,000×(100μm)210,000×(10μm)2100,000×(1μm)2三:掃描電鏡的主要性能6
三:掃描電鏡的主要性能(2)分辨率:對(duì)微區(qū)成分分析而言,它是指能分析的最小區(qū)域;對(duì)成像而言,它是指能分辨兩點(diǎn)之間的最小距離。入射電子束束斑直徑入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)成像方式及所用的調(diào)制信號(hào)
二次電子像的分辨率約為5-10nm,背反射電子像的分辨率約為50-200nm。X射線的深度和廣度都遠(yuǎn)較背反射電子的發(fā)射范圍大,所以X射線圖像的分辨率遠(yuǎn)低于二次電子像和背反射電子像。。(3)景深
SEM(二次電子像)的景深比光學(xué)顯微鏡的大,成像富有立體感。景深是指一個(gè)透鏡對(duì)高低不平的試樣各部位能同時(shí)聚焦成像的一個(gè)能力范圍。掃描電鏡的景深為比一般光學(xué)顯微鏡景深大100-500倍,比透射電鏡的景深大10倍。
四:SEM信號(hào)三種主要信號(hào)背散射電子:入射電子在樣品中經(jīng)散射后再?gòu)纳媳砻嫔涑鰜?lái)的電子。反映樣品表面不同取向、不同平均原子量的區(qū)域差別。二次電子:由樣品中原子外殼層釋放出來(lái),在掃描電子顯微術(shù)中反映樣品上表面的形貌特征。X射線:入射電子在樣品原子激發(fā)內(nèi)層電子后外層電子躍遷至內(nèi)層時(shí)發(fā)出的光子。其他信號(hào)俄歇電子:入射電子在樣品原子激發(fā)內(nèi)層電子后外層電子躍遷至內(nèi)層時(shí),多余能量轉(zhuǎn)移給外層電子,使外層電子掙脫原子核的束縛,成為俄歇電子。詳細(xì)的介紹見(jiàn)本書第三篇第十三章俄歇電子能譜部分。透射電子:電子穿透樣品的部分。這些電子攜帶著被樣品吸收、衍射的信息,用于透射電鏡的明場(chǎng)像和透射掃描電鏡的掃描圖像,以揭示樣品內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)的形貌特征。詳細(xì)的介紹見(jiàn)本書第二篇第九章電子衍射和顯微技術(shù)部分。五:樣品制備掃描電鏡的最大優(yōu)點(diǎn)是樣品制備方法簡(jiǎn)單,對(duì)金屬和陶瓷等塊狀樣品,只需將它們切割成大小合適的尺寸,用導(dǎo)電膠將其粘接在電鏡的樣品座上即可直接進(jìn)行觀察。對(duì)于非導(dǎo)電樣品如塑料、礦物等,在電子束作用下會(huì)產(chǎn)生電荷堆積,影響入射電子束斑和樣品發(fā)射的二次電子運(yùn)動(dòng)軌跡,使圖像質(zhì)量下降。因此這類試樣在觀察前要噴鍍導(dǎo)電層進(jìn)行處理,通常采用二次電子發(fā)射系數(shù)較高的金銀或碳膜做導(dǎo)電層,膜厚控制在20nm左右。在樣品表面鍍金屬層不僅可以防止荷電現(xiàn)象,換可以減輕由電子束引起的樣品表面損傷;增加二次電子的產(chǎn)率,提高圖像的清晰度;并可以掩蓋基材信息,只獲得表面信息。六:SEM應(yīng)用實(shí)例斷口形貌分析納米材料形貌分析在微電子工業(yè)方面的應(yīng)用
1018號(hào)鋼在不同溫度下的斷口形貌斷口形貌分析ZnO納米線的二次電子圖像多孔氧化鋁模板制備的金納米線的形貌(a)低倍像
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 人人文庫(kù)網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 2025年音樂(lè)教師資格考試卷及答案
- 2025年社會(huì)工作與社會(huì)福利專業(yè)試卷及答案
- 2025年社會(huì)工作實(shí)務(wù)課程考試試卷及答案
- 2025年房地產(chǎn)經(jīng)營(yíng)管理考試試卷及答案
- 2025年機(jī)械設(shè)計(jì)基礎(chǔ)試題及答案
- 2025年教師資格證考試試卷及答案
- 石料加工銷售合同協(xié)議書
- 七級(jí)書法考試試題及答案
- 餐飲房租租賃合同協(xié)議書
- 2025年節(jié)能型泵及環(huán)保用泵項(xiàng)目合作計(jì)劃書
- 電網(wǎng)工程設(shè)備材料信息參考價(jià)2025年第一季度
- 江蘇南京茉莉環(huán)境投資有限公司招聘筆試題庫(kù)2025
- 吸氧并發(fā)癥預(yù)防及處理
- 針刺傷預(yù)防與處理(中華護(hù)理學(xué)會(huì)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn))
- 2024年安徽省初中學(xué)業(yè)水平考試生物試題含答案
- 2024年浙江省中考英語(yǔ)試題卷(含答案解析)
- MOOC 理解馬克思-南京大學(xué) 中國(guó)大學(xué)慕課答案
- 說(shuō)明書hid500系列變頻調(diào)速器使用說(shuō)明書s1.1(1)
- RTO處理工藝PFD計(jì)算
- 最美中鋁人申報(bào)表
- 柑橘采摘機(jī)器人的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)說(shuō)明書
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論