GB/T 6617-2009硅片電阻率測定擴展電阻探針法

犐犆犛２９．０４５

犎８０

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜６６１７—２００９

代替ＧＢ／Ｔ６６１７—１９９５

硅片電阻率測定擴展電阻探針法

犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犿犲犪狊狌狉犻狀犵狉犲狊犻狊狋犻狏犻狋狔狅犳狊犻犾犻犮狅狀狑犪犳犲狉狌狊犻狀犵狊狆狉犲犪犱犻狀犵

狉犲狊犻狊狋犪狀犮犲狆狉狅犫犲

２００９１０３０發(fā)布２０１００６０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜６６１７—２００９

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ６６１７—１９９５《硅片電阻率測定擴展電阻探針法》。

本標準與ＧＢ／Ｔ６６１７—１９９５相比，主要有如下變化：

———引用標準中刪去硅外延層和擴散層厚度測定磨角染色法；

———方法原理中刪去單探針和三探針的原理圖并增加了擴展電阻原理公式（１）及其三個假定條件；

———增加了干擾因素；

———測量儀器和環(huán)境增加了自動測量儀器的范圍和精度；

———對原測量程序進行全面修改；

———刪去測量結(jié)果計算。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會提出。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會歸口。

本標準起草單位：南京國盛電子有限公司、寧波立立電子股份有限公司。

本標準主要起草人：馬林寶、駱紅、劉培東、譚衛(wèi)東、呂立平等。

本標準代替標準的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ６６１７—１９８６、ＧＢ／Ｔ６６１７—１９９５。

Ⅰ

書

犌犅／犜６６１７—２００９

硅片電阻率測定擴展電阻探針法

１范圍

本標準規(guī)定了硅片電阻率的擴展電阻探針測量方法。

本標準適用于測量晶體晶向與導電類型已知的硅片的電阻率和測量襯底同型或反型的硅片外延層

的電阻率，測量范圍：１０－３Ω·ｃｍ～１０２Ω·ｃｍ。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ／Ｔ１５５０非本征半導體材料導電類型測試方法

ＧＢ／Ｔ１５５２硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針法

ＧＢ／Ｔ１５５５半導體單晶晶向測定方法

ＧＢ／Ｔ１４８４７重摻雜襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測量方法

３方法原理

擴展電阻法是一種實驗比較法。該方法是先測量重復形成的點接觸的擴展電阻，再用校準曲線來

確定被測試樣在探針接觸點附近的電阻率。擴展電阻犚是導電金屬探針與硅片上一個參考點之間的

電勢降與流過探針的電流之比。

對于電阻率均勻一致的半導體材料來說，探針與半導體材料接觸半徑為犪的擴展電阻用式（１）來

表示：

ρ

犚ｓ＝…………（１）

２犪

式中：

ρ———電阻率，單位為歐姆厘米（Ω·ｃｍ）；

犪———接觸半徑，單位為厘米（ｃｍ）；

犚ｓ———擴展電阻，單位為歐姆（Ω）。

等式成立需符合如下三個假定條件：

ａ）兩個探針之間的距離必須大于１０倍犪；

ｂ）樣品電阻率需均勻一致；