JJG 77-2006干涉顯微鏡

中華人民共和國國家計量檢定規(guī)程

JJG77—2006

干涉顯微鏡

InterferenceMicroscopes

2006-05-23發(fā)布2006-11-23實施

國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

JJG77—2006

干涉顯微鏡檢定規(guī)程??

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?JJG77—2006?

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VerificationRegulationof?代替JJG77—1983?

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InterferenceMicroscopes

本規(guī)程經國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局年月日批準并自

2006523,

年月日起施行

20061123。

歸口單位:全國幾何量工程參量計量技術委員會

起草單位:中國計量科學研究院

本規(guī)程委托全國幾何量工程參量計量技術委員會負責解釋

JJG77—2006

本規(guī)程主要起草人:

杜華中國計量科學研究院

()

高思田中國計量科學研究院

()

參加起草人:

趙有祥中國計量科學研究院

()

朱小平中國計量科學研究院

()

JJG77—2006

目錄

范圍……………………

1(1)

引用文獻………………

2(1)

概述……………………

3(1)

計量性能要求…………

4(3)

干涉濾光片的特性…………………

4.1(3)

測微鼓輪微分筒刻線錐面的內棱邊與固定套管刻線面之間的距離……………

4.2(3)

測微目鏡十字線分劃板的指標線與毫米分劃板刻線的相對位置………………

4.3(3)

測微目鏡測微鼓輪刻線與毫米分劃板刻線的相符性……………

4.4(3)

測微目鏡的示值誤差………………

4.5(3)

光學系統(tǒng)成像質量…………………

4.6(3)

工作臺與主光軸的相互位置………

4.7(4)

輔助成像裝置的特性………………

4.8(4)

儀器的示值誤差……………………

4.9(4)

通用技術要求…………

5(4)

計量器具控制…………

6(5)

檢定條件……………

6.1(5)

檢定項目……………

6.2(6)

檢定方法……………

6.3(6)

檢定結果的處理……………………

6.4(10)

檢定周期……………

6.5(10)

附錄干涉顯微鏡示值誤差檢定結果的不確定度評定……………

A(11)

附錄檢定證書和檢定結果通知書內頁格式…………………

B()(16)

JJG77—2006

干涉顯微鏡檢定規(guī)程

1范圍

本規(guī)程適用于雙光束干涉顯微鏡的首次檢定后續(xù)檢定和使用中檢驗

、。

2引用文獻

本規(guī)程引用下列文獻

:

通用計量術語及定義

JJF1001—1998

測量不確定度評定與表示

JJF1059—1999

測量儀器特性評定技術規(guī)范

JJF1094—2002

干涉濾光片檢定規(guī)程

JJG812—1993

使用本規(guī)程時應注意使用上述引用文獻的現行有效版本

,。

3概述

干涉顯微鏡由干涉和顯微系統(tǒng)組成利用光波干涉原理來測量表面粗糙度參數它

,。

是以范圍為的光波波長為標尺將被測表面與標準光學鏡面相比較

(530~600)nm,,

再經顯微系統(tǒng)高倍放大后來觀察和測量被測表面的微觀幾何形狀特性雙光束干涉顯

,。

微鏡主要用于表面粗糙度評定參數Rz的測量該儀器可用來測量精密加工零件的表面

。

如平面圓柱面等外表面也可用來測量零件表面刻線鍍層等深度目前常用的儀器

、,