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第三章

真空裝置的實際問題1p,

VS真空泵管道真空容器p-壓強；V-真空容器的容積；S-抽速排氣的基礎知識在時間間隔t內，真空容器中排出的氣體流量Vp與真空泵抽走的氣體流量Spt相等，

2排氣的基礎知識穩(wěn)態(tài)時，進入真空容器內部的氣體流量為Q3材料的放氣減小Q值的途徑一：選材4材料的放氣減小Q值的途徑二：預處理5材料的放氣減小Q值的途徑三：烘烤6排氣時間的估算

7排氣泵系統(tǒng)離子泵排氣系統(tǒng)：無油清潔，排氣周期較長，主要用于高質量膜層的生產和研究。離子泵：8排氣泵系統(tǒng)離子泵系統(tǒng)的排氣曲線離子泵：9排氣泵系統(tǒng)擴散泵排氣系統(tǒng)：清潔程度差，但排氣周期短，主要用于生產。擴散泵：10排氣泵系統(tǒng)擴散泵系統(tǒng)的排氣曲線擴散泵：11排氣泵系統(tǒng)低溫冷凝泵-分子泵：低溫冷凝泵-分子泵排氣系統(tǒng)：既能獲得清潔真空，排氣周期也短；即可用于研究又可用于生產。12檢漏容易漏氣的地方：可動部分玻璃和陶瓷部分紋管法蘭和墊圈焊接部分

難以檢漏的地方：焊接氣眼材料內的砂眼復雜部件的內部13檢漏檢漏方法之：加壓法14檢漏檢漏方法之：真空法-真空計傳感抽真空后容器內部氣壓上升曲線15檢漏檢漏方法之：真空法-質譜儀傳感罩子法檢漏氦檢漏儀16檢漏17大氣濕度與溫度對裝置的影響通入氣體中水的分壓與抽氣100min和1000min后的壓強關系：在通常水的分壓1~30Torr下，影響不大。濕度18大氣濕度與溫度對裝置的影響溫度溫度從14C到25C，壓強增大約2倍；溫度從5C到40C，壓強變化一個數量級19化學活性氣體的排氣活性氣體粉末20化學活性氣體的

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