標(biāo)準(zhǔn)解讀

《YS/T 1025-2015 電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材》是一項(xiàng)針對(duì)用于制造電子薄膜的高純度鎢及其合金作為濺射靶材的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了此類(lèi)材料的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存等方面的內(nèi)容，旨在確保產(chǎn)品質(zhì)量滿足電子工業(yè)對(duì)高性能濺射靶材的需求。

在化學(xué)成分方面，標(biāo)準(zhǔn)明確了不同牌號(hào)鎢及鎢合金靶材中各元素的最大允許含量，特別強(qiáng)調(diào)了雜質(zhì)元素如碳、氧等的控制水平，以保證材料具有良好的導(dǎo)電性、熱穩(wěn)定性和機(jī)械性能。對(duì)于物理性質(zhì)，則包括密度、硬度等指標(biāo)的具體數(shù)值范圍，這些都是影響最終薄膜性能的關(guān)鍵因素之一。

此外，《YS/T 1025-2015》還制定了嚴(yán)格的外觀質(zhì)量要求，比如表面應(yīng)光滑平整無(wú)明顯缺陷，并且對(duì)外形尺寸也有具體規(guī)定，確保能夠適應(yīng)各種類(lèi)型的濺射設(shè)備使用需求。同時(shí)，通過(guò)一系列科學(xué)合理的檢測(cè)手段來(lái)驗(yàn)證產(chǎn)品是否符合上述所有技術(shù)條件，包括但不限于X射線熒光光譜分析法測(cè)定化學(xué)成分、阿基米德排水法測(cè)量密度等。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2015-04-30 頒布
  • 2015-10-01 實(shí)施
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YS/T 1025-2015電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

ICS7715099

H63..

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T1025—2015

電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材

High-puritytungstenandtungstenalloysputteringtargetused

inelectronicfilm

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

中華人民共和國(guó)有色金屬

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材

YS/T1025—2015

*

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20161

*

書(shū)號(hào)

:155066·2-29184

版權(quán)專(zhuān)有侵權(quán)必究

YS/T1025—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位寧波江豐電子材料股份有限公司有研億金新材料有限公司北京天龍鎢鉬科技

:、、

股份有限公司株洲凱特實(shí)業(yè)有限公司西安方科新材料科技有限公司

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人姚力軍王學(xué)澤丁照崇張濤扶元初袁海軍鄭文翔宋佳蘇國(guó)平錢(qián)紅兵

:、、、、、、、、、、

袁潔王興權(quán)張玉利王越杜鐵路

、、、、。

Ⅰ

YS/T1025—2015

電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志包裝運(yùn)

、、、、

輸貯存訂貨單或合同等內(nèi)容

、、()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材以下簡(jiǎn)稱(chēng)高純鎢及鎢合金靶

,。

2規(guī)范性引用文件

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。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值

GB/T1031(GPS)

一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差

GB/T1804

致密燒結(jié)金屬材料與硬質(zhì)合金密度測(cè)定方法

GB/T3850

鎢化學(xué)分析方法第部分硫量的測(cè)定燃燒電導(dǎo)法和高頻燃燒紅外吸收法

GB/T4324.2323:

鎢化學(xué)分析方法第部分氧量的測(cè)定脈沖加熱惰氣熔融紅外吸收法

GB/T4324.2525:-

鎢化學(xué)分析方法第部分氮量的測(cè)定脈沖加熱惰氣熔融熱導(dǎo)法和奈氏試

GB/T4324.2626:-

劑分光光度法

鎢化學(xué)分析方法第部分碳量的測(cè)定高頻燃燒紅外吸收法

GB/T4324.2727:

金屬平均晶粒度測(cè)定法

GB/T6394

金屬板材超聲波板探傷方法

GB/T8651

濺射靶材背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法

YS/T837-

高純鎢化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

YS/T900

高純鎢化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測(cè)定輝光放電質(zhì)譜法

YS/T901

3要求

31產(chǎn)品分類(lèi)

.

311產(chǎn)品按外形分為圓形矩形和異形如三角形等

..、()。

312靶材的背板為銅及銅合金或鋁及鋁合金

..。

313根據(jù)合金材料不同分為純鎢靶鎢鈦合金靶鎢硅合金靶三種靶材

..,、、。

314產(chǎn)品按化學(xué)成分分為

..W-99.999、WTi-99.9、WTi-99.95、WTi-99.99、WTi-99.995、WTi-99.999、

八個(gè)牌號(hào)

WSi-99.99、WSi-99.999。

表示方法和標(biāo)記示例如下

:

-

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