YS/T 34.1-2011高純砷化學(xué)分析方法電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS)測(cè)定高純砷中雜質(zhì)含量

ICS7704030

H17..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T341—2011

代替.

YS/T34.1~34.2—1992

高純砷化學(xué)分析方法電感耦合等離子

體質(zhì)譜法ICP-MS測(cè)定

()

高純砷中雜質(zhì)含量

Methodforchemicalanalysisofthehigh-purityarsenic—

InductivecoulinlasmamasssectrumICP-MSfordeterminatinthe

pgpp()g

concentrationofelementsinthehigh-purityarsenic

2011-12-20發(fā)布2012-07-01實(shí)施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T341—2011

.

前言

高純砷化學(xué)分析方法包括個(gè)部分

YS/T34《》3:

第部分高純砷化學(xué)分析方法電感耦合等離子體質(zhì)譜法測(cè)定高純砷中雜質(zhì)

———1:(ICP-MS)

含量

;

第部分高純砷化學(xué)分析方法極譜法測(cè)定硒量

———2:;

第部分高純砷化學(xué)分析方法極譜法測(cè)定硫量

———3:。

本部分是的第部分

YS/T341。

本部分代替高純砷化學(xué)分析方法孔雀綠分光光度法測(cè)定銻量和

YS/T34.1—1992《》YS/T34.2—

高純砷化學(xué)分析方法化學(xué)光譜法測(cè)鈷鋅銀銅鈣鋁鎳鉻鉛鎂鐵量

1992《、、、、、、、、、、》。

本部分與標(biāo)準(zhǔn)相比主要有如下變動(dòng)

YS/T34.1~34.2—1992,:

采用電感耦合等離子質(zhì)譜法測(cè)定高純砷中鎂鉻鎳銅鋅銀鉛鉍鈉鉀鋁鈣鐵銻等

———、、、、、、、、、、、、、

個(gè)雜質(zhì)的含量

14。

按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和編寫的規(guī)定編寫

———GB/T1.1—2009《1:》。

本部分由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

。

本部分負(fù)責(zé)起草單位峨嵋半導(dǎo)體材料廠峨眉山嘉美高純材料有限公司

:、。

本部分主要起草人程高明鄒同貴文英唐云博廖敏

:、、、、。

本部分所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———YS/T34.1~34.2—1992。

Ⅰ

YS/T341—2011

.

高純砷化學(xué)分析方法電感耦合等離子

體質(zhì)譜法ICP-MS測(cè)定

()

高純砷中雜質(zhì)含量

1范圍

的本部分規(guī)定了高純砷中金屬雜質(zhì)含量的測(cè)定方法采用電感耦合等離子質(zhì)譜法測(cè)定砷

YS/T34,

中鎂鉻鎳銅鋅銀銻鉛鉍鈉鉀鋁鈣鐵等個(gè)雜質(zhì)含量

、、、、、、、、、、、、、14。

本部分適用于高純砷中金屬雜質(zhì)含量的測(cè)定測(cè)定范圍為-7

99.999%~99.99999%。1×10%~

-7

1000×10%。

2方法提要

在的條件下試料與氯化氫氯混合氣體反應(yīng)生成三氯化砷及雜質(zhì)元素氯化物低

120℃~130℃,-,,

沸點(diǎn)的三氯化砷揮發(fā)后隨氣體流出用硝酸溶解留下來的雜質(zhì)氯化物推薦使用鈹銦鈾作內(nèi)標(biāo)常規(guī)

,。、、,

等離子體質(zhì)譜法測(cè)定鎂鉻鎳銅鋅銀銻鉛鉍用冷等離子體質(zhì)譜法測(cè)定鈉鉀鋁鈣鐵

、、、、、、、、,、、、、。

3試劑

31試劑

.

311鹽酸ρ或亞沸蒸餾后使用

..(1.19):RM-BBV-Ⅲ,。

312硝酸ρ或亞沸蒸餾后使用

..(1.42):RM-BBV-Ⅲ,。

313硫酸ρ優(yōu)級(jí)純

..(1.84):。

314過氧化氫分析純

..(30%):。

315去離子水電阻率

..:≥18MΩ·cm。

316氬

..≥99.99%。

32標(biāo)準(zhǔn)溶液

.

321元素貯備標(biāo)準(zhǔn)溶液

..

所用標(biāo)準(zhǔn)貯備液為國家標(biāo)準(zhǔn)鈾的濃度為其余元素均為

。500μg/mL,1000μg/mL。

322內(nèi)標(biāo)溶液

..

號(hào)內(nèi)標(biāo)溶液每毫升含鈹銦鈾移取鈹標(biāo)準(zhǔn)溶液銦標(biāo)

1(500ng、500ng、500ng):0.5mL、0.5mL

準(zhǔn)溶液鈾標(biāo)準(zhǔn)溶液置于聚丙烯容量瓶中加入硝酸定容混勻

、1.0mL,1L,20mL,,。

號(hào)內(nèi)標(biāo)溶液每毫升含鈹銦鈾