表面處理零部件行業(yè)市場(chǎng)深度分析及發(fā)展規(guī)劃咨詢

表面處理零部件行業(yè)市場(chǎng)深度分析及發(fā)展規(guī)劃咨詢泛半導(dǎo)體行業(yè)的周期性區(qū)域性和季節(jié)性特征（一）泛半導(dǎo)體行業(yè)周期性泛半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)發(fā)展和供需平衡等受產(chǎn)品周期、資本開(kāi)支周期、研發(fā)周期等因素影響，下游行業(yè)需求的周期性亦使得先進(jìn)陶瓷和表面處理行業(yè)具有周期性特點(diǎn)。當(dāng)前先進(jìn)陶瓷和表面處理行業(yè)仍然處在快速發(fā)展階段，市場(chǎng)需求整體呈現(xiàn)螺旋增長(zhǎng)趨勢(shì)，不存在周期性衰退。行業(yè)下游應(yīng)用領(lǐng)域多元化，可一定程度平抑行業(yè)周期性影響。半導(dǎo)體行業(yè)周期由產(chǎn)品周期（下游需求因素）、資本開(kāi)支周期（產(chǎn)能因素）、研發(fā)周期（技術(shù)發(fā)展因素）等共同決定。1）產(chǎn)品周期：半導(dǎo)體晶圓需求的重要部分來(lái)自電腦、通信和消費(fèi)電子三大應(yīng)用市場(chǎng)，此外，半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步將創(chuàng)造出更好的產(chǎn)品，使新的應(yīng)用成為可能，例如電動(dòng)汽車、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、云計(jì)算和數(shù)據(jù)中心等，每一輪終端產(chǎn)品需求高增長(zhǎng)都帶來(lái)半導(dǎo)體行業(yè)的高景氣，而每一輪消費(fèi)需求的階段性飽和也帶來(lái)行業(yè)需求的放緩。2）資本開(kāi)支周期：晶圓廠的資本開(kāi)支較大，從建設(shè)到投產(chǎn)一般需要2~3年時(shí)間，較長(zhǎng)的投產(chǎn)周期導(dǎo)致需求和產(chǎn)能供給會(huì)存在一定的錯(cuò)配，使行業(yè)出現(xiàn)間歇性的缺貨或供過(guò)于求現(xiàn)象。3）研發(fā)周期：7nm、5nm、3nm等新的制程工藝普及，都會(huì)帶來(lái)新一輪的下游爆款應(yīng)用，比較典型的是終端智能手機(jī)的升級(jí)，因此新制程節(jié)點(diǎn)的量產(chǎn)周期往往標(biāo)志著一輪行業(yè)發(fā)展周期。（二）泛半導(dǎo)體行業(yè)區(qū)域性表面處理具有一定的服務(wù)半徑，其區(qū)域性主要由下游晶圓廠、顯示面板廠分布的區(qū)域性所決定，中國(guó)大陸相關(guān)需求主要集中在華東、東南、西南等區(qū)域。先進(jìn)陶瓷應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，下游需求多元化，其區(qū)域性分布不明顯。（三）泛半導(dǎo)體行業(yè)季節(jié)性先進(jìn)陶瓷和表面處理服務(wù)主要集中于泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，且先進(jìn)陶瓷還被應(yīng)用于多個(gè)下游領(lǐng)域，考慮到下游泛半導(dǎo)體行業(yè)季節(jié)性特點(diǎn)不明顯，除受春節(jié)放假等因素影響，一季度行業(yè)需求相對(duì)較弱外，行業(yè)季節(jié)性特點(diǎn)不明顯。進(jìn)入泛半導(dǎo)體行業(yè)的主要壁壘（一）泛半導(dǎo)體市場(chǎng)準(zhǔn)入壁壘在泛半導(dǎo)體行業(yè)，生產(chǎn)制造企業(yè)為充分保障產(chǎn)能快速擴(kuò)張下晶圓、顯示面板等產(chǎn)品的品質(zhì)，要求供應(yīng)商做到精確復(fù)制，該管理模式強(qiáng)調(diào)對(duì)使用的設(shè)備、設(shè)備零部件和原材料等供應(yīng)的可追溯性和生產(chǎn)過(guò)程驗(yàn)證。可追溯性具體表現(xiàn)為需要對(duì)供應(yīng)商所使用的原材料、采購(gòu)來(lái)源等進(jìn)行追溯，生產(chǎn)過(guò)程驗(yàn)證具體表現(xiàn)為對(duì)供應(yīng)商進(jìn)行驗(yàn)廠，對(duì)其生產(chǎn)環(huán)境、技術(shù)水準(zhǔn)、工藝特征等進(jìn)行嚴(yán)格考察審核。要素確認(rèn)后，更換供應(yīng)商的成本較高、程序復(fù)雜，因此不會(huì)輕易更換供應(yīng)商。在嚴(yán)格的市場(chǎng)準(zhǔn)入門檻下，設(shè)備、設(shè)備零部件和原材料等供應(yīng)商需要具備高水平技術(shù)，并通過(guò)長(zhǎng)期、高質(zhì)量供貨以不斷積累客戶資源。供應(yīng)商在與客戶形成較穩(wěn)固合作關(guān)系后，短期難以被行業(yè)新進(jìn)入者取代。汽車制造和生物醫(yī)藥等行業(yè)均涉及消費(fèi)者使用安全，下游客戶尤為重視產(chǎn)品質(zhì)量，對(duì)先進(jìn)陶瓷企業(yè)進(jìn)入供應(yīng)鏈有嚴(yán)格的審核標(biāo)準(zhǔn)；供應(yīng)商在進(jìn)入客戶的合格供應(yīng)商名單后，在不發(fā)生重大質(zhì)量問(wèn)題的情況下，雙方一般將維持長(zhǎng)期和穩(wěn)定的合作關(guān)系。新進(jìn)入企業(yè)在缺乏對(duì)相關(guān)行業(yè)優(yōu)質(zhì)客戶認(rèn)證的情況下，難以在行業(yè)內(nèi)獲得快速發(fā)展。（二）泛半導(dǎo)體技術(shù)與經(jīng)驗(yàn)壁壘先進(jìn)陶瓷和表面處理是技術(shù)密集型行業(yè)。為滿足客戶對(duì)產(chǎn)品高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕等特性要求，先進(jìn)陶瓷的生產(chǎn)對(duì)從上游粉料調(diào)配到生產(chǎn)工藝參數(shù)把控的技術(shù)要求非常高，表面處理亦需要嚴(yán)格控制所使用藥劑配方和處理過(guò)程工藝參數(shù)；下游泛半導(dǎo)體等行業(yè)的快速發(fā)展使得相關(guān)技術(shù)迭代也非常迅速；人員經(jīng)驗(yàn)及對(duì)生產(chǎn)設(shè)備操作的熟練度亦會(huì)影響企業(yè)制造水平。企業(yè)需要在批量生產(chǎn)實(shí)踐中長(zhǎng)期積累相關(guān)技術(shù)、經(jīng)驗(yàn)，及時(shí)了解客戶的需求以不斷改進(jìn)相關(guān)配方和生產(chǎn)工藝。此外，先進(jìn)陶瓷主要為非標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品，需要通過(guò)與下游客戶長(zhǎng)期合作及自身經(jīng)驗(yàn)積累形成相關(guān)技術(shù)能力；表面處理業(yè)務(wù)面向泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，其作業(yè)場(chǎng)地和產(chǎn)線均為專門設(shè)計(jì)，在精密度、潔凈度等方面均有較高要求，并需要通過(guò)客戶認(rèn)證，藥液配方、工藝參數(shù)亦需要通過(guò)長(zhǎng)期業(yè)務(wù)開(kāi)展的積累形成，達(dá)到持續(xù)改善服務(wù)品質(zhì)的目的。行業(yè)新進(jìn)入者難以在短期內(nèi)掌握全工藝流程和全面的專利與專有技術(shù)體系，在未接觸下游客戶群體的情況下無(wú)法保持與行業(yè)技術(shù)同步提升。因此對(duì)于新進(jìn)入市場(chǎng)的企業(yè)，先進(jìn)陶瓷和表面處理行業(yè)存在較高的技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)門檻。近年來(lái)，行業(yè)技術(shù)水平不斷提高，表面處理行業(yè)分工更加細(xì)化，行業(yè)內(nèi)不同企業(yè)的產(chǎn)品和服務(wù)能力差距日益拉大，技術(shù)與經(jīng)驗(yàn)壁壘更加趨于明顯。（三）泛半導(dǎo)體資金及規(guī)模壁壘為保持技術(shù)工藝的領(lǐng)先性和產(chǎn)品的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，先進(jìn)陶瓷和表面處理行業(yè)內(nèi)的企業(yè)需要持續(xù)進(jìn)行研發(fā)投入，資金需求量大。先進(jìn)陶瓷企業(yè)在進(jìn)入初始期需要投入大量的資金進(jìn)行廠房建設(shè)、購(gòu)置生產(chǎn)設(shè)備，通過(guò)合理、科學(xué)調(diào)度生產(chǎn)排班，充分發(fā)揮生產(chǎn)的規(guī)模效應(yīng)。由于先進(jìn)陶瓷材料零部件的型號(hào)眾多，具體應(yīng)用和性能要求各不相同，新產(chǎn)品面臨著研發(fā)失敗的風(fēng)險(xiǎn)，若無(wú)充足的資金支持，新進(jìn)入的企業(yè)難以開(kāi)發(fā)出成熟產(chǎn)品并形成一定的經(jīng)營(yíng)規(guī)模，無(wú)法與行業(yè)內(nèi)的現(xiàn)有企業(yè)進(jìn)行有力競(jìng)爭(zhēng)。表面處理業(yè)務(wù)需要充足的資金對(duì)下游客戶就近建設(shè)配套生產(chǎn)線，以降低運(yùn)輸成本，保障價(jià)格的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力；企業(yè)在配合下游客戶半導(dǎo)體制程進(jìn)步、顯示面板世代線更替和積極擴(kuò)產(chǎn)的過(guò)程中，亦需要較高的資金支出。先進(jìn)陶瓷行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈先進(jìn)陶瓷生產(chǎn)企業(yè)將陶瓷粉體等原材料燒結(jié)成各類先進(jìn)陶瓷材料，進(jìn)而加工打磨為各類零部件，應(yīng)用于下游的工業(yè)結(jié)構(gòu)件、半導(dǎo)體、汽車工業(yè)、消費(fèi)電子、新能源、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。陶瓷粉體的質(zhì)量直接影響后續(xù)陶瓷產(chǎn)品性能，目前已經(jīng)部分實(shí)現(xiàn)本土企業(yè)量產(chǎn)，但高端陶瓷粉體仍被以日企為代表的外資企業(yè)壟斷。從下游需求端看，電氣電子是全球先進(jìn)陶瓷的最大應(yīng)用領(lǐng)域，需求占比達(dá)57%。其次是汽車、環(huán)境、醫(yī)藥、機(jī)械等領(lǐng)域。先進(jìn)陶瓷行業(yè)上下游領(lǐng)域發(fā)展情況（一）先進(jìn)陶瓷行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈情況按下游應(yīng)用領(lǐng)域分類，2021年泛半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域需求金額占中國(guó)先進(jìn)結(jié)構(gòu)陶瓷整體市場(chǎng)規(guī)模的35%，其中半導(dǎo)體設(shè)備占整體市場(chǎng)規(guī)模的22%。（二）先進(jìn)陶瓷行業(yè)下游應(yīng)用領(lǐng)域市場(chǎng)發(fā)展情況1、先進(jìn)陶瓷行業(yè)泛半導(dǎo)體領(lǐng)域市場(chǎng)發(fā)展情況近年來(lái)，物聯(lián)網(wǎng)、5G通訊、自動(dòng)駕駛和數(shù)據(jù)中心等經(jīng)濟(jì)數(shù)字化領(lǐng)域持續(xù)發(fā)展，帶動(dòng)了半導(dǎo)體需求強(qiáng)勁增長(zhǎng)。根據(jù)ICInsights數(shù)據(jù)，2021年全球半導(dǎo)體行業(yè)資本支出為1，539億美元，較2020年同比增長(zhǎng)36%，是自1995年以來(lái)首次連續(xù)三年實(shí)現(xiàn)兩位數(shù)增長(zhǎng)；預(yù)計(jì)2022年全球半導(dǎo)體行業(yè)資本支出將較2021年繼續(xù)增長(zhǎng)并達(dá)到1，904億美元的歷史新高，較2019年水平接近翻倍。自2014年以來(lái)，晶圓廠通常是半導(dǎo)體資本支出中占比最大的環(huán)節(jié)。根據(jù)ICInsights數(shù)據(jù)，2021年晶圓廠資本支出占全球半導(dǎo)體行業(yè)資本支出的35%。由于半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)使用先進(jìn)工藝技術(shù)制造IC的需求持續(xù)上升，晶圓廠建設(shè)及其設(shè)備投資在產(chǎn)業(yè)鏈的重要性越發(fā)明顯。近年來(lái)，全球晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)趨勢(shì)明顯，大陸新增產(chǎn)能尤為可觀。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，2017-2020年全球新增半導(dǎo)體產(chǎn)線共計(jì)62條，其中中國(guó)大陸新增26條產(chǎn)線，占比超過(guò)40%。全球已于2021年底前開(kāi)始建設(shè)19座新的高產(chǎn)能晶圓廠，并預(yù)計(jì)于2022年再開(kāi)工建設(shè)10座，以滿足市場(chǎng)對(duì)芯片的加速需求，其中中國(guó)大陸、中國(guó)臺(tái)灣均將各建設(shè)29座中的8座，新建晶圓廠數(shù)量處于全球前列。晶圓廠的擴(kuò)產(chǎn)帶動(dòng)半導(dǎo)體制造設(shè)備采購(gòu)規(guī)模的提升。2017-2019年這一時(shí)期，全球半導(dǎo)體制造設(shè)備采購(gòu)市場(chǎng)規(guī)模維持在600-1，000億美元水平，2021年達(dá)到了1，026億美元，較2020年同比增長(zhǎng)44%，SEMI預(yù)計(jì)到2022年將繼續(xù)超過(guò)1，000億美元，預(yù)計(jì)2030年將達(dá)到1，400億美元。根據(jù)日本半導(dǎo)體制造裝置協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)，中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額占全球比重已從2005年的4%持續(xù)提高至2021年的29%。半導(dǎo)體設(shè)備旺盛需求也帶動(dòng)核心零部件采購(gòu)需求高速增長(zhǎng)。全球顯示面板行業(yè)出貨量近年來(lái)保持每年3-10%的平穩(wěn)增長(zhǎng)。伴隨著電視、手機(jī)、平板電腦等終端應(yīng)用需求增長(zhǎng)，全球顯示面板行業(yè)未來(lái)亦將保持較平穩(wěn)增長(zhǎng)趨勢(shì)。全球顯示面板制造行業(yè)經(jīng)歷了日本發(fā)展-韓國(guó)超越-中國(guó)臺(tái)灣崛起-大陸發(fā)力的格局變遷。2010年，中國(guó)大陸液晶面板產(chǎn)能僅占全球比重約5%，伴隨著京東方等大陸面板廠商崛起，全球面板行業(yè)產(chǎn)能不斷向中國(guó)大陸轉(zhuǎn)移，到2020年中國(guó)大陸液晶面板產(chǎn)能占全球比重已經(jīng)高達(dá)約50%，而中國(guó)臺(tái)灣、韓國(guó)和日本產(chǎn)能占比分別約為25%、20%和5%。根據(jù)Omdia數(shù)據(jù)，2021年京東方、TCL華星光電兩大中國(guó)本土企業(yè)分別位居全球電視面板企業(yè)出貨量第一位、第二位，出貨量份額分別為23．20%、15．70%，占據(jù)了全球顯示面板行業(yè)的絕對(duì)領(lǐng)先地位。市場(chǎng)結(jié)構(gòu)方面，在消費(fèi)者對(duì)品質(zhì)要求日益提高和需求多元化的趨勢(shì)下，顯示面板行業(yè)技術(shù)不斷迭代升級(jí)，OLED和LTPSTFT-LCD等新技術(shù)不斷得到推廣普及。根據(jù)IHS數(shù)據(jù)，2021年OLED占手機(jī)顯示屏幕比重已達(dá)到44%，較2017年的24%大幅提升。根據(jù)弗若斯特沙利文數(shù)據(jù)，2020年我國(guó)OLED面板產(chǎn)量占全球比重為12%，預(yù)計(jì)到2025年將進(jìn)一步上升至24%。2、先進(jìn)陶瓷行業(yè)非泛半導(dǎo)體領(lǐng)域市場(chǎng)發(fā)展情況粉體粉碎和分級(jí)被廣泛應(yīng)用于鋰電池原材料粉末制造、食品研磨、化工工業(yè)和醫(yī)藥制造等多個(gè)領(lǐng)域，設(shè)備的研磨介質(zhì)一般使用先進(jìn)陶瓷、玻璃、碳鋼和碳化鎢等高耐磨材料。國(guó)內(nèi)研磨設(shè)備的核心研磨部件一直被海外供應(yīng)商壟斷。耐馳、日本細(xì)川密克朗兩家企業(yè)是粉體粉碎和分級(jí)行業(yè)鼻祖，擁有百年歷史，目前全球大部分行業(yè)相關(guān)專利均為其所申請(qǐng)。從二十世紀(jì)八十年代開(kāi)始，細(xì)川密克朗的技術(shù)和設(shè)備逐步推廣進(jìn)入中國(guó)，2000年耐馳在中國(guó)建廠也促進(jìn)了中國(guó)本土粉體粉碎和分級(jí)產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展。近年來(lái)鋰電池需求高速增長(zhǎng)帶動(dòng)了國(guó)內(nèi)粉體研磨行業(yè)大發(fā)展。根據(jù)高工鋰電數(shù)據(jù)，2021年全球鋰電池需求達(dá)到522GWh，在汽車電動(dòng)化和儲(chǔ)能行業(yè)快速增長(zhǎng)下，預(yù)計(jì)到2025年全球鋰電池需求將達(dá)到2，032GWh，復(fù)合增速達(dá)到40%。表面處理行業(yè)概況（一）表面處理概述表面處理既可應(yīng)用于泛半導(dǎo)體設(shè)備零部件新品制造中，是陶瓷、硅、石英和金屬等多種材質(zhì)零部件新品生產(chǎn)的工序之一；也可用于清潔零部件使用中形成的污染，是保障工藝制程穩(wěn)定和制造良率的重要配套服務(wù)；還可用于對(duì)消耗性部件再生改造，改善或克服基材弱點(diǎn)，如陶瓷材料質(zhì)脆、裂紋敏感、抗熱震性能差、高溫機(jī)械性能下滑。其中，針對(duì)新品制造的表面處理服務(wù)需求規(guī)模相對(duì)較?。▋H考慮由設(shè)備制造原廠委托專業(yè)第三方表面處理服務(wù)廠商的部分，不包括設(shè)備制造原廠自行實(shí)施的部分），僅約占整體市場(chǎng)規(guī)模的5%；對(duì)使用后零部件的表面處理約占整體市場(chǎng)規(guī)模的95%，是行業(yè)主要需求來(lái)源。表面處理行業(yè)經(jīng)歷了產(chǎn)業(yè)鏈分工演化過(guò)程。半導(dǎo)體、顯示面板行業(yè)發(fā)展初期，表面處理作為設(shè)備銷售的重要配套服務(wù)之一，僅由設(shè)備制造原廠實(shí)施。二十世紀(jì)九十年代以來(lái)，隨著全球半導(dǎo)體、顯示面板行業(yè)快速發(fā)展，行業(yè)制造分工逐漸細(xì)化，開(kāi)始出現(xiàn)專業(yè)第三方表面處理供應(yīng)商，將表面處理（尤其是精密清洗）外包逐漸成為行業(yè)趨勢(shì)。在設(shè)備的質(zhì)保期內(nèi)，晶圓廠和顯示面板制造商基本仍由設(shè)備制造原廠提供表面處理服務(wù)，或由其分包予第三方企業(yè)，而質(zhì)保期外的表面處理服務(wù)則由設(shè)備制造原廠、第三方表面處理廠商開(kāi)展市場(chǎng)化競(jìng)爭(zhēng)。在質(zhì)保期外市場(chǎng)，第三方表面處理廠商相比設(shè)備制造原廠具備屬地配套服務(wù)、交付及時(shí)和快速響應(yīng)等諸多優(yōu)勢(shì)，在產(chǎn)業(yè)鏈專業(yè)化分工的趨勢(shì)下，專業(yè)表面處理廠商的市場(chǎng)地位得到進(jìn)一步鞏固。第三方廠商業(yè)務(wù)包括精密清洗、陽(yáng)極氧化和熔射等。在泛半導(dǎo)體設(shè)備制造和使用過(guò)程中，污染物會(huì)附著在設(shè)備零部件表面，尤其是腔室內(nèi)零部件由于直接暴露在工藝反應(yīng)中，表面會(huì)吸附多種副產(chǎn)物。為保證泛半導(dǎo)體制造良率以及工藝穩(wěn)定性，需要階段性洗凈零部件以有效控制污染物，因此精密清洗是泛半導(dǎo)體制造過(guò)程中必不可少的配套服務(wù)。污染物主要包括顆粒、自然氧化層、金屬污染、有機(jī)物、犧牲層、拋光殘留物等。目前，精密清洗主要采用物理清洗、化學(xué)清洗等方式去除設(shè)備零部件的表面污染物。通過(guò)設(shè)計(jì)藥液配方，并合理安排處理工序、處理時(shí)間和處理溫度等，滿足高效、批量和低成本的洗凈需求。陽(yáng)極氧化是鋁和鋁合金材質(zhì)零部件常用的表面處理方法，將金屬置于特定環(huán)境下電解液中作為陽(yáng)極，使其表面形成幾十至幾百微米的氧化膜，通過(guò)精確管控涂層粗糙度、膜厚等，可有效提高腔室部件對(duì)工藝反應(yīng)環(huán)境的耐電壓性能和耐腐蝕性能。熔射是設(shè)備零部件表面改性（性能改良）的重要技術(shù)手段，使用少量材料制備特殊功能的涂層，可起到大量、昂貴的整體塊材難以起到的作用，同時(shí)極大地降低成本。具體包括等離子熔射、電弧熔射、火焰熔射和爆炸熔射等。產(chǎn)業(yè)化較為成熟的熔射工藝之一。等離子噴槍將電能轉(zhuǎn)化為熱能，氧化釔、氧化鋁、氟化釔或氟氧化釔等粉料經(jīng)高溫熔化后，形成中心溫度達(dá)到10，000~50，000℃高溫的高速等離子焰流，熔化并沉積到各類材質(zhì)的零部件基體表面，以提高其耐腐蝕性。利用大電流產(chǎn)生的電弧熔化兩股線狀鋁材，使用高速氣流將熔化的鋁霧化，并加速噴向陶瓷基材，從而在氧化鋁陶瓷零部件表面涂覆鋁層，達(dá)到增加部件表面粗糙度的效果，提高陶瓷零部件在泛半導(dǎo)體工藝中的吸附能力。（二）表面處理市場(chǎng)情況表面處理市場(chǎng)規(guī)模隨著中國(guó)大陸下游晶圓廠和顯示面板制造商加大投資而持續(xù)增長(zhǎng)，同時(shí)LED等領(lǐng)域新出現(xiàn)的表面處理需求也進(jìn)一步帶動(dòng)了行業(yè)增長(zhǎng)。根據(jù)弗若斯特沙利文數(shù)據(jù)，2021年中國(guó)泛半導(dǎo)體設(shè)備零部件表面處理服務(wù)市場(chǎng)規(guī)模為37億元，預(yù)計(jì)2022年至2026年市場(chǎng)規(guī)模復(fù)合增速為14%。按下游應(yīng)用分，2021年半導(dǎo)體和顯示面板設(shè)備零部件的表面處理市場(chǎng)規(guī)模分別占泛半導(dǎo)體表面處理總需求的57%和43%。在顯示面板設(shè)備的表面處理中，按零部件所屬設(shè)備類型分，刻蝕、CVD表面處理需求量較大，其2021年市場(chǎng)規(guī)模分別占顯示面板表面處理市場(chǎng)規(guī)模的45%、43%；按顯示面板技術(shù)路線，可分為a-Si/金屬氧化物TFTLCD、OLED、LTPSTFT-LCD，其2021年市場(chǎng)規(guī)模分別占顯示面板表面處理市場(chǎng)規(guī)模的63%、25%和12%，其中LTPSTFT-LCD、OLED等顯示面板新技術(shù)路線對(duì)服務(wù)商的技術(shù)要求較高。先進(jìn)陶瓷和表面處理的新技術(shù)發(fā)展情況及發(fā)展趨勢(shì)（一）先進(jìn)陶瓷行業(yè)發(fā)展情況隨著半導(dǎo)體制程工藝向7nm及更高的水平發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)效率和精度不斷提高，對(duì)先進(jìn)陶瓷材料零部件的理化性能指標(biāo)要求也不斷提高，例如，針對(duì)氧化鋁陶瓷零部件的耐腐蝕特性、低介電損耗特性、電阻率可控性等指標(biāo)均提出了更高的要求，針對(duì)氮化鋁陶瓷的高電阻率性能亦有更高的標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)快速迭代升級(jí)的行業(yè)特性要求先進(jìn)陶瓷企業(yè)針對(duì)不同細(xì)分領(lǐng)域的應(yīng)用不斷改進(jìn)材料配方和加工工藝，進(jìn)行材料的持續(xù)開(kāi)發(fā)換代。隨著顯示面板世代線提高，面板尺寸增大，制造設(shè)備需要尺寸更大、精度更高的先進(jìn)陶瓷材料零部件，對(duì)先進(jìn)陶瓷的綜合性能指標(biāo)要求更加嚴(yán)苛，對(duì)其一整套制造和加工工藝也提出了更高的要求。粉體粉碎和分級(jí)的推廣普及和研磨物料種類的不斷豐富使得下游對(duì)氧化鋯陶瓷材料零部件在現(xiàn)有常溫環(huán)境下機(jī)械性能的要求不斷提高。同時(shí)，為滿足中低溫使用環(huán)境，行業(yè)內(nèi)客戶對(duì)氧化鋯零部件材料的耐磨性、抗老化性也提出了更高的要求。當(dāng)前，面對(duì)日益多元化的客戶需求，一些此前被廣泛使用的材料已經(jīng)接近或達(dá)到理化性能極限，單純依靠既有材料體系的迭代升級(jí)已無(wú)法滿足使用需求，替代材料的開(kāi)發(fā)成為行業(yè)發(fā)展的新趨勢(shì)。例如，在中低溫環(huán)境下，氮化硅有望在部分市場(chǎng)替代氧化鋯作為高耐磨材料；半導(dǎo)體設(shè)備高腐蝕性場(chǎng)景下，腐蝕性氣體噴嘴等部件早期行業(yè)使用氧化鋁基材，并通過(guò)在其表面熔射耐腐蝕性明顯優(yōu)于氧化鋁的氧化釔達(dá)到性能要求，但對(duì)于該等部件細(xì)小的孔洞，熔射的方式已無(wú)法覆蓋孔洞內(nèi)部表面，改用燒結(jié)氧化釔塊材的方式成為噴嘴部件新的替代方案。在替代材料的開(kāi)發(fā)趨勢(shì)下，要求先進(jìn)陶瓷企業(yè)掌握多材料體系及配套技術(shù)開(kāi)發(fā)能力，以不斷適應(yīng)行業(yè)技術(shù)發(fā)展的需要。隨著半導(dǎo)體領(lǐng)域先進(jìn)陶瓷材料零部件進(jìn)程的推進(jìn)，陶瓷加熱器、靜電卡盤等功能-結(jié)構(gòu)一體化產(chǎn)品相關(guān)技術(shù)正引起國(guó)內(nèi)企業(yè)重視