智能制造裝備行業(yè)前瞻與投資戰(zhàn)略規(guī)劃報告

智能制造裝備行業(yè)前瞻與投資戰(zhàn)略規(guī)劃報告

瞄準我國制造業(yè)轉型升級的戰(zhàn)略亟需，支撐和引領供給側結構性改革。掌握一批具有自主知識產權的核心技術和關鍵技術，在機器人、重大機械裝備、新型電子制造裝備等領域培育一批新技術、新產品和新產業(yè)，力爭形成新的經濟增長點，提高我國制造業(yè)的總體競爭能力。圍繞高速精密重載軸承開展軸承服役性能演變規(guī)律與失效機理等基礎理論、材料對性能影響規(guī)律和失效機理等研究，掌握高速、精密、重載軸承設計理論、壽命理論及試驗方法，動態(tài)性能試驗技術與方法，掌握高鐵軸箱軸承、風力發(fā)電機組主軸與齒輪箱軸承、機器人和機床精密軸承、特大型裝備靜壓軸承等設計、試驗和批量化制造核心技術，開展典型應用示范。智能制造裝備行業(yè)的發(fā)展概況智能制造裝備是先進制造技術、信息技術和智能技術在裝備產品上的集成和融合，體現(xiàn)了制造業(yè)的智能化發(fā)展要求，具有實時感知、優(yōu)化決策、動態(tài)執(zhí)行等特征。（一）政策驅動改革，智能制造裝備行業(yè)快速發(fā)展政策環(huán)境是智能制造裝備行業(yè)發(fā)展強大的內驅力及支撐，智能制造裝備作為推進智能制造的重要環(huán)節(jié)受到各國政府重視，2011年美國提出先進制造伙伴計劃，2012年我國提出《智能制造裝備產業(yè)十二五發(fā)展規(guī)劃》，2013年德國提出工業(yè)4．0計劃等，各國先后出臺各類政策推動新興技術與裝備制造業(yè)的融合，推動制造業(yè)的高端化、智能化進程。在國家政策的引導下，制造業(yè)的生產方式正逐步實現(xiàn)智能化，不斷催生對生產設備智能化的需求，智能制造裝備行業(yè)實現(xiàn)快速發(fā)展。據(jù)統(tǒng)計，全球范圍內工業(yè)自動化裝備市場規(guī)模至2019年達到2，147億美元，預計2022可達到2，299億美元，年復合增速約為2．3%。（二）我國智能制造裝備行業(yè)產業(yè)規(guī)模已形成，發(fā)展形勢良好我國智能制造裝備行業(yè)起步相比工業(yè)發(fā)達國家較晚，近年來，以工業(yè)互聯(lián)網、物聯(lián)網為代表的信息技術快速發(fā)展，自動化、智能化技術在國內制造業(yè)企業(yè)中不斷普及，我國智能制造裝備行業(yè)的規(guī)模日益增長。據(jù)根據(jù)中國產業(yè)信息網發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示，2020年國內智能制造裝備市場規(guī)模為2．09萬億元，預計2022年將達到2．68萬億元。在信息技術與先進制造技術高速發(fā)展的背景下，國內智能制造裝備的發(fā)展深度和廣度日益提升，以新型傳感器、智能控制系統(tǒng)、工業(yè)機器人、自動化成套生產線為代表的智能制造裝備產業(yè)體系逐步形成。行業(yè)內已涌現(xiàn)一批以博眾精工、長川科技、先導智能、杰銳思等為代表的知名企業(yè)，憑借持續(xù)的研發(fā)投入，這些企業(yè)不斷實現(xiàn)智能制造裝備相關技術突破，在不同的細分領域具備一定的市場競爭力。（三）智能制造裝備行業(yè)下游應用領域廣泛，技術更新迭代迅速智能制造裝備是工業(yè)生產體系的基礎，可用于制造、檢測、倉儲等多個生產環(huán)節(jié)，廣泛應用于3C、鋰電池、半導體、汽車、工程機械、光伏生產等產業(yè)。隨著終端消費者對產品質量、功能要求的不斷提升，不同產業(yè)生產廠商對其生產裝備的精度、穩(wěn)定性等性能指標均提出了更高的要求，促使智能制造裝備企業(yè)不斷進行技術革新以滿足客戶的生產、檢測需求。同時，隨著傳感技術、5G、物聯(lián)網、人工智能等先進技術的不斷突破與應用，智能制造裝備企業(yè)亦在不斷推動其產品設計、產品制造等方面的技術革新，促進信息技術、智能技術與裝備制造技術的深度融合與集成。智能工廠適應工廠智能化的發(fā)展趨勢，重點研發(fā)智能制造標準化共性關鍵技術，實現(xiàn)智能工廠共性關鍵技術研發(fā)、技術的工程化和產業(yè)化。提升我國工業(yè)自動化行業(yè)的整體創(chuàng)新水平和自主裝備能力，滿足國家科技創(chuàng)新、產業(yè)升級和轉型的重大戰(zhàn)略需求。（一）工業(yè)互聯(lián)網技術與系統(tǒng)針對物理信息系統(tǒng)中信息與物理交叉融合造成的復雜性系統(tǒng)問題，建立工業(yè)互聯(lián)網復雜系統(tǒng)模型，攻克以智能工廠為對象的全網互聯(lián)技術，給出工業(yè)互聯(lián)網復雜系統(tǒng)的實現(xiàn)能力、性能分析與評價方法。重點研究工業(yè)互聯(lián)網一體化架構、工業(yè)互聯(lián)網的泛在感知網絡互聯(lián)和實時控制技術、多源異構網絡互聯(lián)與語義化互操作技術、動態(tài)自組織軟件定義的工業(yè)控制網絡技術、工業(yè)互聯(lián)網驗證測試平臺。攻克大規(guī)模、異構、高實時、高安全、可重構工業(yè)互聯(lián)網共性關鍵技術，實現(xiàn)工業(yè)互聯(lián)網系統(tǒng)安全可靠應用，建立工業(yè)互聯(lián)網與智能工廠測試驗證平臺。（二）智能控制器與系統(tǒng)以新一代信息技術為基礎，研制新型、高端、可信智能控制器，提升工廠制造過程和制造裝備的自有處理能力和智能水平。重點研究智能裝備CPS型控制器與關鍵技術、基于移動互聯(lián)的智能產線控制管理器、高可信多重冗余控制系統(tǒng)與關鍵技術、新一代SCADA系統(tǒng)與關鍵技術、工業(yè)組態(tài)和工業(yè)監(jiān)控等工業(yè)軟件、精密系統(tǒng)裝配過程數(shù)據(jù)采集與控制裝置。攻克云端服務、高實時任務、高可信控制共性關鍵技術，實現(xiàn)實時仿真、全分布式控制、多種控制器無縫集成。（三）制造過程的系統(tǒng)設計、控制與優(yōu)化針對智能工廠的工程化基礎方法和實施手段，研究開發(fā)面向CPS的工程工具和實時在線優(yōu)化控制工具以及先進的模型庫知識庫，提升智能工廠的工程應用目標。重點研究生產過程與設備的建模仿真與優(yōu)化控制技術、先進制造智能服務體系與全流程智能優(yōu)化技術、全過程的數(shù)據(jù)實時獲取分析與信息整合技術、工業(yè)互聯(lián)網語義化編程技術與組態(tài)工具、分子級表征建模工具與在線實時優(yōu)化控制系統(tǒng)設計平臺、模塊化協(xié)同設計工具與實時控制系統(tǒng)設計平臺。攻克分子級表征與建模、多層域多尺度建模、系統(tǒng)設計、基于知識和數(shù)據(jù)的仿真模擬與實時優(yōu)化、在線服務與全流程優(yōu)化技術，實現(xiàn)仿真設計與控制優(yōu)化系統(tǒng)工具與平臺。（四）CPS制造執(zhí)行系統(tǒng)與運營管理針對智能工廠的生產要素、能效管理、智能決策和生產服務關鍵技術，研究基于互聯(lián)網+智能工廠的運營管理平臺，實現(xiàn)智能工廠平臺化方法的建立和實施。重點研究基于云平臺的CPS制造執(zhí)行系統(tǒng)、制造過程能效仿真、監(jiān)測與管控技術、生產要素的狀態(tài)監(jiān)測診斷與健康管理技術、企業(yè)級輔助決策智能化與可視化平臺。攻克服務總線、動態(tài)配置、能效模型、生產要素模型、可視化呈現(xiàn)、智能輔助決策關鍵技術，實現(xiàn)智能工廠的運營管理。（五）智能工廠的可重構技術及原型平臺針對智能工廠批量化定制需求，研究工控系統(tǒng)可重構技術，研制智能工廠原型平臺，實現(xiàn)產線裝備、制造過程和云平臺服務資源可重構能力。重點研究裝備控制器可重構技術、產線可重構技術、工業(yè)互聯(lián)網與云平臺可重構技術、智能工廠可重構原型平臺。攻克裝備控制系統(tǒng)可重構技術、產線裝備可重構技術、工業(yè)互聯(lián)網可重構技術、云平臺服務資源可重構技術，實現(xiàn)集成可重構技術的智能工廠原型平臺。激光制造面向航空航天、高端裝備、電子制造、新能源、新材料、醫(yī)療儀器等戰(zhàn)略性新興產業(yè)的迫切需求，實現(xiàn)高端產業(yè)激光制造裝備的自主開發(fā)，形成激光制造的完整產業(yè)體系，促進我國激光制造技術與產業(yè)升級，大幅提升我國高端激光制造技術與裝備的國際競爭力。（一）激光與材料的相互作用機理面向航空航天、新能源、電子制造、醫(yī)療等領域的國家重大需求，探索激光與材料相互作用的復雜物化過程，研究超快激光制造的新原理、新方法、新應用。開展大功率激光/短波長激光與材料相互作用機理、高精高效制造方法等方面的研究，掌握激光高品質表面制造、精細制造、極端微結構、高精高效制造等制造機制與實現(xiàn)方法。（二）激光器與核心功能部件研究激光器動力學，掌握激光晶體/光學晶體、半導體激光芯片等激光器關鍵功能部件的國產化。針對高端制造用激光器的迫切需求，開展工業(yè)化光纖/半導體大功率激光器制造技術、工業(yè)化超快（飛秒、皮秒）激光器制造技術、工業(yè)化短（紫外、深紫外）波長激光器制造技術等方面的研究，開展激光器標準建設，實現(xiàn)高性能激光器及核心關鍵部件的國產化與產業(yè)化。（三）復雜構件表面的激光精細制造技術與裝備研究激光表面精細制造、激光清洗、激光拋光等核心技術，探索器件表面功能性結構的激光高質、高效制造機理與新技術，研究關鍵構件表面微結構成形機理與實現(xiàn)方法，并掌握激光光束路徑規(guī)劃及高速掃描、激光制造裝備在線監(jiān)測與補償、激光制造過程精密在線檢測等裝備關鍵技術，開發(fā)航空航天、微電子、生物醫(yī)療等領域典型復雜構件的激光精密加工技術與裝備，提升國產激光制造技術與裝備的競爭力。（四）大功率激光高效制造技術與裝備研究特殊工況下的激光制造機理與失效行為，突破大型構件激光制造裝備的設計制造技術瓶頸，攻克大型構件定位、質量在線檢測等關鍵技術，研究激光切割、激光打孔、激光沖擊強化、激光焊接以及激光復合制造等關鍵技術，開發(fā)面向飛機、船舶、高鐵等大型構件制造中的高端激光制造技術、裝備與標準。（五）先進激光精密微細制造技術與裝備針對航空航天、微電子、新型微小航空器件、光子集成器件等領域，突破激光衍射極限的納米尺度制造、復雜微納操縱及激光納米連接、激光光束整形與協(xié)同控制等關鍵技術，開發(fā)硬脆材料高效精密制造、異種材料的激光高性能連接制造、極端微納結構精細制造等技術與裝備，并設計和加工若干具有重大應用前景的新型功能器件。高檔數(shù)控機床與基礎制造裝備堅持主機牽引、夯實基礎、突破核心、工藝驗證，聚焦航空航天和汽車兩個重點服務領域，重點攻克高檔數(shù)控系統(tǒng)和功能部件等瓶頸，完成150種以上智能、精密、高速、復合型高端制造業(yè)裝備的研制和示范應用，大幅提升國家重點工程、國民經濟重點領域關鍵制造裝備國產化率，在強化高端數(shù)控裝備單機智能化水平提升的基礎上，逐步實現(xiàn)由單機示范應用向智能化制造成組成套整體解決方案的提升，擴大專項裝備成果的應用成效。（一）航空航天領域高檔數(shù)控裝備聚焦航空航天典型結構件加工需求，以提高加工效率和質量為目標，突破關鍵工藝和編程等核心技術；開展高檔五軸數(shù)控機床與關鍵成形裝備等主機的應用驗證與示范，推動高檔數(shù)控系統(tǒng)和以擺角銑頭為代表的關鍵功能部件實現(xiàn)批量化應用。（二）汽車制造領域高檔數(shù)控裝備重點研究數(shù)控機床的可靠性快速試驗技術與制造保障技術、數(shù)控系統(tǒng)的可靠性第三方測試及可靠性增長技術，突破數(shù)控機床可靠性MTBF>2000小時的技術瓶頸，通過示范應用與工藝驗證，大幅提升國產數(shù)控機床的組線能力。加強成組成套工藝集成研究，為汽車關鍵零部件制造提供成套解決方案，實現(xiàn)國產高檔數(shù)控機床在汽車發(fā)動機關鍵零部件高效柔性加工與批量化制造中的成組成套應用。增材制造重點解決增材制造領域微觀成形機理、工藝過程控制、缺陷特征分析等科學問題，突破一批重點成形工藝及裝備產品，在航空航天、汽車能源、家電、生物醫(yī)療等領域開展應用，引領增材制造產業(yè)發(fā)展。形成創(chuàng)新設計、材料及制備、工藝及裝備、核心零部件、計量、軟件、標準等相對完善的技術創(chuàng)新與研發(fā)體系，結合重大需求開展應用示范，具備開展大規(guī)模產業(yè)化應用的技術基礎。（一）增材制造控形控性的科學基礎探索增材制造自由成形過程的成形幾何精度、成形效率、材料組織結構與性能的形成規(guī)律與關鍵影響因素和控制方法，為提升增材制造工藝技術和裝備設計水平提供堅實的科學支撐，并為形成重大原創(chuàng)性增材制造新技術提供科學指引。（二）基于增材制造的結構優(yōu)化設計技術發(fā)展基于增材制造工藝特性，融合力學、物理與化學多種功能的結構優(yōu)化設計技術，為結構整體化、輕量化、高性能化和滿足聲、光、電、磁、熱等多功能化提供設計方法和設計軟件，支撐我國高端裝備的自主創(chuàng)新設計和跨越式技術發(fā)展。（三）增材制造專用材料制備技術基于增材制造的工藝特性和應用需求，開展增材制造專用金屬和非金屬材料的設計與制備技術研究，最大限度地發(fā)揮增材制造技術優(yōu)勢，大幅度拓展增材制造的產業(yè)化應用領域。（四）增材制造的核心裝備設計與制造技術針對激光/電子束選區(qū)熔化、激光選區(qū)燒結、高能束金屬沉積成形、光固化、激光沉積打印、微滴噴射3D打印、熔融沉積造型等已經展示重大產業(yè)化應用價值的增材制造技術，開展相關裝備設計與制造技術的深入研究，占據(jù)增材制造產業(yè)價值鏈的高端。（五）評價體系與標準建設研究制定增材制造的材料標準、設計標準、工藝標準、裝備標準、檢測標準、數(shù)據(jù)標準和服務標準等7個方面的標準體系，為增材制造的廣泛產業(yè)化應用奠定基礎，并顯著增強我國增材制造技術的國際競爭力。智能制造裝備行業(yè)面臨的機遇和挑戰(zhàn)（一）智能制造裝備行業(yè)面臨的機遇1、智能制造裝備行業(yè)制造業(yè)轉型升級、用工成本攀升改革開放以來，我國制造業(yè)快速發(fā)展，形成了門類齊全、獨立完整的產業(yè)體系，確立了制造業(yè)大國地位。但由于起步相對較晚，我國制造業(yè)總體存在勞動密集、資源消耗大、自主創(chuàng)新能力不足、智能化水平不高的弊端。近年來，中美關系摩擦頻繁，我國對核心技術的自主研發(fā)以及關鍵裝備的進口替代有著愈發(fā)迫切的需求，因此制造業(yè)整體的高端化、智能化、自動化需求為企業(yè)帶來了發(fā)展機遇。同時，我國人口紅利逐步消退，勞動力成本持續(xù)上升。根據(jù)國家統(tǒng)計局數(shù)據(jù)，自上世紀90年代起，我國人口老齡化速度加快，65歲以上老年人口已經從1990年的6，368萬增長到2019年的1．76億，占總人口比例達到12．57%。我國勞動力成本也不斷上升，制造業(yè)職工年平均工資從2008年的24，192元增長到2019年的78，147元。自2019年以來，新冠疫情進一步影響了勞動用工穩(wěn)定性，因此，設備替代人工的需求呈上升趨勢。2、智能制造裝備行業(yè)國家產業(yè)政策支持近年來，國家不斷出臺政策支持智能制造裝備行業(yè)，將其納入重點發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產業(yè)。2015年5月，《中國制造2025》在主要目標中提出：緊密圍繞重點制造領域關鍵環(huán)節(jié)，開展新一代信息技術與制造裝備融合的集成創(chuàng)新和工程應用。依托優(yōu)勢企業(yè)，緊扣關鍵工序智能化、關鍵崗位機器人替代、生產過程智能優(yōu)化控制、供應鏈優(yōu)化，建設重點領域智能工廠/數(shù)字化車間。2021年3月，《中華人民共和國國民經濟和社會發(fā)展第十四個五年規(guī)劃和2035年遠景目標綱要》提出：深入實施增強制造業(yè)核心競爭力和技術改造專項，鼓勵企業(yè)應用先進適用技術、加強設備更新和新產品規(guī)?；瘧?。建設智能制造示范工廠，完善智能制造標準體系。深入實施質量提升行動，推動制造業(yè)產品‘增品種、提品質、創(chuàng)品牌’，并將智能制造與機器人技術納入制造業(yè)核心競爭力提升專項。綜上，清晰的政策導向和充分的支持力度，將為我國智能制造裝備行業(yè)快速發(fā)展、實現(xiàn)高端智能制造裝備進口替代提供良好的機遇。3、智能制造裝備行業(yè)技術進步驅動行業(yè)發(fā)展目前，5G、物聯(lián)網、人工智能等新興技術的商業(yè)化及工業(yè)化應用均已逐步深入，并推動了智能制造裝備行業(yè)與新技術的不斷融合。新興技術及相關基礎制造工藝的發(fā)展使得智能制造裝備所能實現(xiàn)的功能和達到的智能化水平具備了更大的發(fā)展空間。因此，新興技術進步及其深入應用，將成為行業(yè)發(fā)展的良好機遇。4、智能制造裝備行業(yè)下游應用領域市場發(fā)展前景較好智能制造裝備的下游應用領域主要有3C、鋰電池、半導體、汽車、工程機械、光伏等。3C、汽車等消費品行業(yè)，產品有較為固定的更新周期，新技術的應用以及設備更新需求較為穩(wěn)定，市場規(guī)模較大；新能源鋰電及半導體產業(yè)均是我國未來重點支持的發(fā)展領域，我國鋰電池及半導體行業(yè)具有廣闊的發(fā)展空間，將為相關智能制造設備行業(yè)帶來較大需求。（二）智能制造裝備行業(yè)面臨的挑戰(zhàn)1、智能制造裝備行業(yè)國際廠商仍有先發(fā)優(yōu)勢，國內企業(yè)仍需追趕我國智能制造裝備行業(yè)起步較晚，國際廠商基于其先發(fā)優(yōu)勢，占據(jù)了較高的市場份額，我國市場仍有較大的進口需求。相較于國際知名企業(yè)，我國智能制造裝備行業(yè)企業(yè)總體規(guī)模偏小，品牌知名度仍有待進一步提升。近年，隨著國家政策支持以及國內企業(yè)的技術創(chuàng)新，國內已涌現(xiàn)出一批優(yōu)秀的智能制造裝備廠商，憑借持續(xù)的研發(fā)投入，獲得了技術上的突破，搶占了一定的市場份額，在部分細分領域已達到領先地位。總體上，國內廠商全面達到甚至趕超國際先進水平仍有較大挑戰(zhàn)。2、智能制造裝備行業(yè)專業(yè)技術人才緊缺智能制造裝備行業(yè)多為定制化生產，產品在研發(fā)設計、生產、調試維護等過程中，需要大量運用機械、電氣、力學、光學、信息技術等專業(yè)知識。專業(yè)知識的形成、積累及運用需要大量的學習和實務經驗，我國智能制造裝備行業(yè)起步相對較晚，人才積累有待提升，專業(yè)技術人員的緊缺對行業(yè)發(fā)展造成了一定挑戰(zhàn)。3、智能制造裝備行業(yè)關鍵設備部件對國外依賴度較高智能制造裝備涉及的零部件眾多，部分關鍵部件如精密馬達、伺服電機、工業(yè)相機等核心制造技術仍由國外知名廠商掌握?？蛻魹楸ＷC產品性能，在采購時會指定部分核心部件，因而國內智能制造裝備廠商需按要求進口相關核心部件，一方面增加了國內廠商的成本壓力；另一方面限制了我國對部分核心技術的自主可控。因此，對部分關鍵設備部件的進口依賴，仍是國內智能制造裝備行業(yè)的面臨的重要挑戰(zhàn)。智能制造裝備行業(yè)的發(fā)展趨勢（一）智能制造裝備的自動化、集成化、信息化發(fā)展趨勢明顯目前，我國智能制造裝備的復雜程度不斷提升，未來仍將朝自動化、集成化、信息化方向發(fā)展，具體表現(xiàn)為：智能制造裝備將實現(xiàn)生產過程的高度自動化，對生產對象和生產環(huán)境具有一定的適應性，從而實現(xiàn)生產過程優(yōu)化；硬件、軟件與應用技術將實現(xiàn)深度集成，生產設備與智能網絡實現(xiàn)高度互聯(lián)，并通過人工智能技術賦能，使智能制造裝備性能不斷升級；信息技術與先進制造技術實現(xiàn)深度融合，提升裝備功能復雜度，增強裝備信息交互、自我學習的能力，使智能制造裝備勝任大型、復雜生產場景的操作和信息整合。當前，5G、物聯(lián)網、人工智能等新興技術正逐漸滲透到企業(yè)生產經營的各個方面。智能制造裝備在未來發(fā)展中，將充分整合新興技術到各個功能模塊，以適應企業(yè)復雜的生產和管理需求，提高生產效率，提升產品質量，保證生產活動的可靠性。（二）智能制造裝備行業(yè)解決方案將成為實現(xiàn)智能制造的重要方式智能制造具有復雜性及系統(tǒng)性等特點，實現(xiàn)智能制造的轉型升級是長期持續(xù)的過程，下游客戶對智能制造的需求亦呈現(xiàn)多樣化、差異性等特征，不僅需要智能制造裝備企業(yè)持續(xù)保持技術創(chuàng)新，也對智能制造裝備企業(yè)的產品供給能力提出更高要求。因此，具備智能制造裝備解決方案而非單一產品的企業(yè)將更具競爭力。新型電子制造關鍵裝備面向寬禁帶半導體器件、光通訊器件、MEMS（微機電系統(tǒng)）器件、功率電子器件、新型顯示、半導體照明、高效光伏等泛半導體產業(yè)領域的巨大市場需求，開展關鍵裝備與工藝的研究，重點解決電子器件關鍵材料裝備、器件制造裝備等高端裝備缺乏關鍵技術、可靠性低、工藝開發(fā)不足等問題，推動新技術研發(fā)與關鍵裝備研發(fā)的協(xié)同發(fā)展，構建高端電子制造裝備自主創(chuàng)新體系。（一）寬禁帶半導體/半導體照明等關鍵裝備研究針對碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）等為代表的寬禁帶半導體技術對關鍵制造裝備的需求，開展大尺寸（6吋）寬禁帶半導體材料制備、器件制造、性能檢測等關鍵裝備與工藝研究。針對高亮度半導體照明（LED、OLED）大生產線對制造裝備的需求，開展大產能材料制備、器件制造、性能檢測等關鍵裝備研發(fā)，掌握核心技術與工藝，滿足大生產線要求。（二）光通訊器件關鍵裝備及工藝研究針對光通訊器件制造對裝備的需求，重點圍繞硅基光電子芯片工藝裝備、InP（銦磷）基等光電子芯片工藝裝備、光纖器件工藝裝備、光電子器件耦合封裝等關鍵裝備等開展研究，掌握核心技術，實現(xiàn)產品應用，提升國內光通訊器件制造能力及工藝水平。（三）MEMS器件/電力電子器件等關鍵裝備與工藝研究針對MEMS器件、電力電子器件等領域對裝備的特殊工藝需求，開展材料制備、芯片制造、特種封裝、性能檢測等關鍵裝備與工藝的研發(fā)，掌握關鍵技術、開發(fā)特色工藝，提高國產裝備的工藝適應性及可靠性。研究基于國產裝備為主的成套工藝，完成對國產裝備的工藝優(yōu)化、可靠性驗證及集成應用，打造自主產業(yè)鏈，提升產業(yè)競爭力。（四）高效光伏電池關鍵裝備及工藝研究針對下一代高效光伏電池技術（PERC、HIT、黑硅電池等）對關鍵裝備及工藝的需求，開展大產能、高轉換效率光伏電池制造工藝裝備、自動化制造裝備、核心工藝等研究，降低電池片制造成本，轉換效率達到國際領先水平，實現(xiàn)批量銷售。（五）新材料，新器件關鍵電子裝備與核心部件研究針對石墨烯、碳基電子器件、柔性顯示、光互聯(lián)等國際上不斷出現(xiàn)的新材料、新器件、新工藝對半導體技術相關的裝備需求，開展面向電子器件應用石墨烯材料制備裝備、大面積轉移裝備、石墨烯電子器件制造裝備、柔性顯示有機膜材料制備裝備、柔性顯示有機器件制造及檢測裝備、碳基電子器件制造裝備、光互聯(lián)器件制備裝備、高密度封