第七章光電式傳感器

第七章光電式傳感器第1頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光電式傳感器是采用光電元件做為檢測(cè)元件的傳感器。它首先把被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換成光信號(hào)的變化，然后借助光電元件進(jìn)一步將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。光電傳感器一般由光路、電路和光電元件三部分組成。光電元件是各種光電檢測(cè)系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵元件，它是把光信號(hào)（紅外、可見(jiàn)光及紫外光輻射）轉(zhuǎn)變成為電信號(hào)的器件。第2頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一實(shí)驗(yàn)鋅板銅網(wǎng)弧光燈紫外光照射時(shí)電流計(jì)指針發(fā)生偏轉(zhuǎn)靈敏電流計(jì)第3頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一1、光電效應(yīng)光的粒子學(xué)說(shuō)：光可以認(rèn)為是由具有一定能量的粒子所組成，而每個(gè)光子所具有的能量E與其頻率大小成正比。光照射在物體上就可看成是一連串的具有能量為E的粒子轟擊在物體上。E=hfh—普朗克常數(shù)，6.626×10-34J·s；f—光的頻率（s-1）光電效應(yīng)：物體吸收能量為E的光后，轉(zhuǎn)換為該物體中某些電子的能力，從而產(chǎn)生的電效應(yīng)。第4頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光電子：向外發(fā)射的電子。1）外光電效應(yīng)在光線(xiàn)的作用下，物體內(nèi)的電子逸出物體表面向外發(fā)射的現(xiàn)象稱(chēng)為外光電效應(yīng)。基于外光電效應(yīng)的光電器件：光電管、光電倍增管等愛(ài)因斯坦假設(shè)：一個(gè)光子的能量只能給一個(gè)電子結(jié)論：一個(gè)電子要從物體中逸出表面，必須是光子能量E大于表面逸出功A0。逸出表面的電子就具有動(dòng)能Ek第5頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光電子能否產(chǎn)生，取決于光子的能量是否大于該物體的電子表面逸出功。這意味著每種物體都有一個(gè)對(duì)應(yīng)的光頻閾值，稱(chēng)為紅限頻率。入射光的頻譜成分不變時(shí)，產(chǎn)生的光電流與光強(qiáng)成正比，光強(qiáng)越強(qiáng)意味著入射的管子數(shù)目越多，逸出的電子數(shù)目就越多。光電子逸出物體表面具有初始動(dòng)能。1）外光電效應(yīng)第6頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光照射在物體上，使物體的電阻率發(fā)生變化，或產(chǎn)生光生電動(dòng)勢(shì)的現(xiàn)象稱(chēng)為內(nèi)光電效應(yīng)。a）光電導(dǎo)效應(yīng)某些半導(dǎo)體，在黑暗環(huán)境中電阻值很高；當(dāng)光照射在物體上，在光線(xiàn)作用下，電子吸收光子能量從鍵合狀態(tài)過(guò)渡到自由狀態(tài)，從而加強(qiáng)了導(dǎo)電性能，使電阻值降低?；谶@種效應(yīng)的光電器件有光敏電阻。2）內(nèi)光電效應(yīng)第7頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一b）光生伏特效應(yīng)在光線(xiàn)作用下能夠使物體產(chǎn)生一定方向的電動(dòng)勢(shì)的現(xiàn)象叫做光生伏特效應(yīng)。光線(xiàn)照射PN結(jié)時(shí)，產(chǎn)生電子空穴對(duì)，在阻擋層內(nèi)電場(chǎng)的作用下，被光激發(fā)的電子移向N區(qū)外側(cè)，被光激發(fā)的空穴移向P區(qū)外側(cè)，從而使P區(qū)帶正電，N區(qū)帶負(fù)電，形成光電動(dòng)勢(shì)。基于該效應(yīng)的光電器件有光電池和光敏二極管、三極管2）內(nèi)光電效應(yīng)第8頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一

構(gòu)造光電管有真空光電管和充氣光電管或稱(chēng)電子光電管和離子陽(yáng)極光電陰極光窗2、光電元件及其特性1）光電管與光電倍增管圖7-2光電管的結(jié)構(gòu)圖光電管兩類(lèi)。兩者結(jié)構(gòu)相似，如圖。它們由一個(gè)陰極和一個(gè)陽(yáng)極構(gòu)成，并且密封在一只真空玻璃管內(nèi)。陰極裝在玻璃管內(nèi)壁上，其上涂有光電發(fā)射材料。陽(yáng)極通常用金屬絲彎曲成矩形或圓形，置于玻璃管的中央。第9頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一圖7-3光電倍增管的結(jié)構(gòu)圖光電倍增管的玻璃泡內(nèi)除裝有光電陰極和光電陽(yáng)極外，還裝有若干個(gè)光電倍增管極，且在光電倍增管極涂有在電子轟擊下可發(fā)射更多次級(jí)電子的材料。1）光電管與光電倍增管構(gòu)造第10頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一特性----光電管a）光電特性陽(yáng)極電流與入射在陰極上光通量之間的關(guān)系。1）光電管與光電倍增管第11頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一b）伏安特性當(dāng)入射光的頻譜及光通量一定時(shí)，陽(yáng)極與陰極之間的電壓同光電流的關(guān)系。當(dāng)陽(yáng)極電壓比較低時(shí)，陰極所發(fā)射的電子只有一部分到達(dá)陽(yáng)極，其余部分受光電子在真空中運(yùn)動(dòng)時(shí)所形成的負(fù)電場(chǎng)作用，回到陰極。隨陽(yáng)極電壓的增強(qiáng)，光電流隨之增大。當(dāng)陰極發(fā)射的電子全部到達(dá)陽(yáng)極時(shí)，陽(yáng)極電流達(dá)到飽和狀態(tài)特性----光電管1）光電管與光電倍增管第12頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光電管的光譜特性c）光譜特性保持光通量和陽(yáng)極電壓不變，陽(yáng)極電流與波長(zhǎng)之間的關(guān)系。——銫氧銀——銻化銫——人眼的視覺(jué)特征紅限頻率特性----光電管1）光電管與光電倍增管第13頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光電陰極的靈敏度：一個(gè)光子射在陰極上所能激發(fā)的電子數(shù)。特性----光電倍增管倍增系數(shù)M：暗電流：由于環(huán)境溫度、熱輻射和其他因素的影響，即使沒(méi)有光信號(hào)輸入，加上電壓后陽(yáng)極仍有電流。光電倍增管的靈敏度：一個(gè)光子射后，陽(yáng)極所得到的總電子數(shù)。本底電流：光電倍增管與閃爍體放在一處，在完全屏蔽光的情況下，出現(xiàn)的電流。1）光電管與光電倍增管第14頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光敏電阻用半導(dǎo)體材料制成,沒(méi)有極性,純粹是一個(gè)電阻器件,使用時(shí)既可加直流電壓,也可以加交流電壓構(gòu)造

圖7-5光敏電阻的結(jié)構(gòu)及表示符號(hào)光敏電阻優(yōu)點(diǎn)：靈敏度高，體積小，重量輕，光譜響應(yīng)范圍寬，機(jī)械強(qiáng)度高，耐沖擊和振動(dòng)，壽命長(zhǎng)。缺點(diǎn)：使用時(shí)需要有外部電源，同時(shí)當(dāng)有電流通過(guò)它時(shí)，會(huì)產(chǎn)生熱的問(wèn)題。2）光敏電阻第15頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光敏電阻演示

當(dāng)光敏電阻受到光照時(shí)，光生電子—空穴對(duì)增加，阻值減小，電流增大。光敏電阻第16頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光電池是基于光生伏特效應(yīng)制成的，是自發(fā)電式有源器件。它有較大面積的PN結(jié)，當(dāng)光照射在PN結(jié)上時(shí)，在結(jié)的兩端出現(xiàn)電動(dòng)勢(shì)。+++---PN構(gòu)造3）光電池第17頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一硅光電池的制造原理：在N型襯底上制造一薄層P型層作為光照敏感面，就構(gòu)成最簡(jiǎn)單的光電池。當(dāng)入射光子的能量足夠大時(shí)，P型區(qū)每吸收一個(gè)光子就產(chǎn)生一對(duì)光生電子—空穴對(duì)，光生電子—空穴對(duì)的的擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)使電子通過(guò)漂移運(yùn)動(dòng)被拉到N型區(qū)，空穴留在P區(qū)，所以N區(qū)帶負(fù)電，P區(qū)帶正電。如果光照是連續(xù)的，經(jīng)短暫的時(shí)間，PN結(jié)兩側(cè)就有一個(gè)穩(wěn)定的光生電動(dòng)勢(shì)輸出。3）光電池第18頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光電池外形光敏面3）光電池第19頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一

圖7-6光敏二極管光敏二極管的基本結(jié)構(gòu)也是一個(gè)PN結(jié)，與一般二極管相似、它裝在透明玻璃外殼中，其PN結(jié)裝在管頂，可直接受到光照射。光敏二極管在電路中一般是處于反向工作狀態(tài)，如圖所示。構(gòu)造4）光敏二極管及光敏三極管第20頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一當(dāng)光不照射時(shí)：光敏二極管處于載止?fàn)顟B(tài)，這時(shí)只有少數(shù)載流子在反向偏壓的作用下，渡越阻擋層形成微小的反向電流即暗電流；受光照射時(shí)：PN結(jié)附近受光子轟擊，吸收其能量而產(chǎn)生電子-空穴對(duì)，從而使P區(qū)和N區(qū)的少數(shù)載流子濃度大大增加，因此在外加反向偏壓和內(nèi)電場(chǎng)的作用下，P區(qū)的少數(shù)載流子渡越阻擋層進(jìn)入N區(qū)，N區(qū)的少數(shù)載流子渡越阻擋層進(jìn)入P區(qū)，從而使通過(guò)PN結(jié)的反向電流大為增加，這就形成了光電流。4）光敏二極管及光敏三極管第21頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光敏二極管的反向偏置接線(xiàn)及光電特性演示

在沒(méi)有光照時(shí)，由于二極管反向偏置，反向電流（暗電流）很小。

當(dāng)光照增加時(shí)，光電流IΦ與光照度成正比關(guān)系。

光敏二極管的反向偏置接法UO+—光照第22頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一

圖7-7光敏三極管4）光敏二極管及光敏三極管第23頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一a）光電特性開(kāi)路電壓短路電流硅光電池指半導(dǎo)體光電元件產(chǎn)生的光電流與光照之間的關(guān)系。光敏晶體管5）半導(dǎo)體光電元件的特性硒光敏電阻第24頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一b）伏安特性光敏電阻硅光電池指光電元件的端電壓與電流之間的關(guān)系。光敏三極管5）半導(dǎo)體光電元件的特性第25頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一c）光譜特性光敏電阻光電池光敏三極管只有能量大于半導(dǎo)體材料禁帶寬度的那些光子才能激發(fā)出光生電子―空穴對(duì)。5）半導(dǎo)體光電元件的特性第26頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一

要使光電式傳感器能很好地工作，除了合理選用光電轉(zhuǎn)換元件外，還必須配備合適的光源和測(cè)量線(xiàn)路。3、光電式傳感器的測(cè)量電路及應(yīng)用光源發(fā)光二極管鎢絲燈泡電弧燈或石英燈激光第27頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光電式傳感器按其接收狀態(tài)可分為模擬式和脈沖式光電傳感器兩大類(lèi)。1）模擬式光電傳感器模擬式光電傳感器的工作原理是基于光電元件的光電特性，其光通量是隨被測(cè)量而變，光電流就成為被測(cè)量的函數(shù)，故稱(chēng)為光電傳感器的函數(shù)運(yùn)用狀態(tài)。它的形式有吸收式、反射式、遮光式和輻射式。3、光電式傳感器的測(cè)量電路及應(yīng)用第28頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一a）

吸收式：恒光源發(fā)射的光通量穿過(guò)被測(cè)物，一部分由被測(cè)物吸收，剩余部分投射到光電元件上，吸收量決定于被測(cè)物的某些參數(shù)。被吸收的光通量與被測(cè)物的透明度有關(guān)，常用作混濁度計(jì)等。1）模擬式光電傳感器第29頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一b）反射式：恒光源發(fā)出的光通量投射到被測(cè)物上，然后從被測(cè)物表面反射到光電元件上，光電元件的輸出反映了被測(cè)物的某些參數(shù)。反射光通量取決于反射表面的性質(zhì)、狀態(tài)和與光源之間的距離，可制成表面粗糙度測(cè)試儀等。1）模擬式光電傳感器第30頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一c）

遮光式：

恒光源發(fā)出的光通量在到達(dá)光電元件的途中遇到被測(cè)物，照射到光電元件上的光通量被遮蔽掉一部分，光電元件的輸出反映了被測(cè)物的尺寸。1）模擬式光電傳感器第31頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一d）

輻射式：光源本身是被測(cè)物，被測(cè)物發(fā)出的光投射到光電元件上，光電元件的輸出反映了光源的某些物理參數(shù)。1）模擬式光電傳感器第32頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光電數(shù)字式轉(zhuǎn)速表

天幕靶脈沖式光電傳感器的作用方式是光電元件的輸出僅有兩種穩(wěn)定狀態(tài)，即"通"與"斷"的開(kāi)關(guān)狀態(tài)，所以也稱(chēng)為光電元件的開(kāi)關(guān)運(yùn)用狀態(tài)。2）脈沖式光電傳感器第33頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一2312

31(a)(b)光電數(shù)字式轉(zhuǎn)速表工作原理圖圖(a)是在待測(cè)轉(zhuǎn)速軸上固定一帶孔的轉(zhuǎn)速調(diào)置盤(pán)，在調(diào)置盤(pán)一邊由白熾燈產(chǎn)生恒定光，透過(guò)盤(pán)上小孔到達(dá)光敏二極管組成的光電轉(zhuǎn)換器上，轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電脈沖信號(hào)，經(jīng)過(guò)放大整形電路輸出整齊的脈沖信號(hào)，轉(zhuǎn)速由該脈沖頻率決定。在待測(cè)轉(zhuǎn)速的軸上固定一個(gè)涂上黑白相間條紋的圓盤(pán)，它們具有不同的反射率。當(dāng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，反光與不反光交替出現(xiàn)，光電敏感器件間斷地接收光的反射信號(hào)，轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)。2）脈沖式光電傳感器-------光電數(shù)字式轉(zhuǎn)速表第34頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一2）脈沖式光電傳感器--------天幕靶第35頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一放大器控制機(jī)構(gòu)可以用于自動(dòng)控制，自動(dòng)計(jì)數(shù)、自動(dòng)報(bào)警、自動(dòng)跟蹤等。光控繼電器數(shù)碼相機(jī)數(shù)碼相機(jī)使用CCD光敏器件代替膠卷感光成像其原理就是CCD元件的光電效應(yīng)。光電管2）脈沖式光電傳感器--------其它第36頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一光導(dǎo)纖維光纖傳感器的工作原理和典型結(jié)構(gòu)5、光纖傳感器第37頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一1）光導(dǎo)纖維一、光導(dǎo)纖維的結(jié)構(gòu)和傳輸原理中心圓柱體稱(chēng)為纖芯，由石英玻璃或塑料制成。纖芯外圍的圓筒形外殼稱(chēng)為包層，通常也是由玻璃或塑料制成。包層外面有涂敷層，之外是一層塑料保護(hù)外套。光纖的結(jié)構(gòu)示意圖光纖的導(dǎo)光能力取決于纖芯和包層的性質(zhì)，機(jī)械強(qiáng)度取決于塑料保護(hù)外套。第38頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一一、光導(dǎo)纖維的結(jié)構(gòu)和傳輸原理光纖的傳輸原理纖芯的折射率為n1；包層的折射率為n2；光纖傳輸?shù)幕A(chǔ)：光的全反射發(fā)生全反射的條件?n1＞n2相對(duì)折射率差用Δ表示Δ=1–n2/n1通常Δ為0.005～0.14。由Snell定律:1）光導(dǎo)纖維第39頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一一、光導(dǎo)纖維的結(jié)構(gòu)和傳輸原理光纖的傳輸原理

若要使入射光線(xiàn)在纖芯和包層的界面上發(fā)生全反射，入射角應(yīng)大于等于臨界角即：1）光導(dǎo)纖維第40頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一一、光導(dǎo)纖維的結(jié)構(gòu)和傳輸原理

能使光線(xiàn)在光纖內(nèi)全反射的最大入射角θc可由上式求得，即NA稱(chēng)為光纖的數(shù)值孔徑，它表示當(dāng)入射光從外部介質(zhì)射入光纖時(shí)，只有入射角小于θc的光才能在光纖中傳播。1）光導(dǎo)纖維第41頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一一、光導(dǎo)纖維的結(jié)構(gòu)和傳輸原理反映了光纖與光源或探測(cè)器等元件耦合時(shí)的耦合效率，只有入射光處于θc的光錐內(nèi),光纖才能導(dǎo)光。一般希望有大的數(shù)值孔徑，這有利于耦合效率的提高，但數(shù)值孔徑過(guò)大，會(huì)造成光信號(hào)畸變。數(shù)值孔徑：與光纖的幾何尺寸無(wú)關(guān)，僅與纖芯和包層的折射率有關(guān)?？蓪A值做的很大，但橫截面積卻很小，使得光纖柔軟且可彎曲。1）光導(dǎo)纖維第42頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一二、光導(dǎo)纖維的種類(lèi)1.按折射變化：階躍型：光導(dǎo)纖維的纖芯與包層間的折射率是突變的。漸變型：光纖橫截面中心處折射率最大，其值有中心向外逐漸變小，到纖芯邊界邊時(shí)變?yōu)榘鼘诱凵渎省?/p>

1）光導(dǎo)纖維第43頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一性能較差。容易制造，連接耦合比較方便。這種光纖常用于非功能型光纖傳感器。二、光導(dǎo)纖維的種類(lèi)2.按其傳輸模式能形成駐波的光線(xiàn)稱(chēng)為“?！?。

“?！笔请x散存在的，某種光纖只能傳輸特定模數(shù)的光。單模光纖：多模光纖：傳輸性能好，常用于功能型光纖傳感器，與多模傳感器相比線(xiàn)性更好、靈敏度更高和動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍更大。但纖芯太小使得制造、連接和耦合很困難。1）光導(dǎo)纖維第44頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一

a).功能型光纖傳感器

功能型光纖傳感器

光纖傳感器按其工作原理來(lái)分有：功能型和非功能型兩大類(lèi)。

2）光纖傳感器的工作原理又稱(chēng)傳感型光纖傳感器，主要使用單模光纖，基本結(jié)構(gòu)原理如圖所示。光纖在這類(lèi)傳感器中不僅是傳光元件，而且利用光纖本身的某些特性來(lái)感知外界因素的變化，所以它又是敏感元件?？梢苑譃椋簭?qiáng)度（振幅）調(diào)制、相位調(diào)制、偏振調(diào)制、頻率調(diào)制和波長(zhǎng)調(diào)制等第45頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一利用被測(cè)量直接或間接地改變光纖中傳輸光的強(qiáng)度，再通過(guò)測(cè)量光強(qiáng)的變化檢測(cè)出被測(cè)量的方法，稱(chēng)為強(qiáng)度調(diào)制。強(qiáng)度調(diào)制a).功能型光纖傳感器可以分為：強(qiáng)度（振幅）調(diào)制、相位調(diào)制等2）光纖傳感器的工作原理第46頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期一強(qiáng)度調(diào)制-微彎損耗光強(qiáng)調(diào)制微彎損耗光強(qiáng)調(diào)制根據(jù)模態(tài)理論，當(dāng)光纖受力微彎時(shí)，一部分纖芯模式能量會(huì)轉(zhuǎn)化為包層模式能量，通過(guò)測(cè)量包層模式能量或纖芯模式能量的變化就能測(cè)出被測(cè)量。2）光纖傳感器的工作原理第47頁(yè)，共52頁(yè)，2023年，2月20日，星期