2018傳熱傳質(zhì)學(xué)年會(huì)集

，，（西安交通大學(xué)熱流科學(xué)與工程教育部，西安（ ,E-mail: ：印刷電路板換熱器電化學(xué)蝕刻鈦合金部分情況下對(duì)換熱器的許多條件要求。套工藝流程的工序特點(diǎn)。等[3]測(cè)試了V-5Cr-5Ti合金在KCl溶液中的電化學(xué)腐蝕性能，發(fā)現(xiàn)存在“偽鈍化”和鈍化行為。[4]等通過(guò)實(shí)驗(yàn)研究了Ti6Al4V鈦合金在NaCl、NaBr、KBrNaCl溶液中，鈦合金活化范圍最寬，分形維數(shù)最小，表面形貌也相對(duì)更加平整。[5]等研究了TC4鈦合金陽(yáng)極20℃左右是最適合的蝕刻溫度。E.R.Parker[6]等通過(guò)實(shí)驗(yàn)探究了運(yùn)用于微機(jī)電系統(tǒng)的鈦基材料的蝕刻加工，并開(kāi)發(fā)出了能夠以超過(guò)2μm/min的蝕刻速率生產(chǎn)出具有平滑側(cè)壁的高比結(jié)構(gòu)的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)T.Ikushima[7]等采3.32μm/min的蝕刻速率，并研究了電化Ti6A14V鈦合金超塑性應(yīng)變性能的影響。張美麗[8]進(jìn)行了鈦合金電解加工電解在電流密度為50A/cm2的條件下進(jìn)行加工能得到很好的加工效果。[9]等采用氯化鈉通常，印刷電路板換熱器的通道采用光化學(xué)蝕刻法，用CAD軟件繪制通道形

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CR為腐蝕速率/mm·min-1;icorr為腐蝕電流/mA?cm-2；ρ=4.507g/cm3為鈦的密度，z為反應(yīng)價(jià)態(tài)；F=96485C/mol為法拉第常數(shù)；m為損失的質(zhì)量/gAw=55.85g/mol鈦合金電解實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)部件由三部分組成，如圖1所示，分別為電解槽裝置、側(cè)，并進(jìn)行覆膜處理。電極裝置的電能由0-30V直流電源提供，電極接口處用金

與蝕刻液面接觸，用于安裝電極金屬夾。即腐蝕部分僅有經(jīng)的露區(qū)域，可作為PCHE流道的模型進(jìn)試實(shí)驗(yàn)。棄回收工作可能會(huì)人身安全隱患，而且NaCl-乙二醇溶液中無(wú)水分，所具有是，NaCl在乙二醇中溶解能力并不強(qiáng)，0.83mol/L的濃度已是飽和溶液，對(duì)于鈦合金腐1控制參組溫?cái)嚢杷俾?45Ti板片的蝕刻深度的影響。由電化學(xué)腐蝕極化理論[10]可知，鈦的腐蝕過(guò)程由以下陽(yáng)極反應(yīng)表示????=????2++ icorricorr不會(huì)流經(jīng)外部測(cè)2電流隨時(shí)間變??=

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i為腐蝕電流/mA?cm-2；z=2為反應(yīng)價(jià)態(tài)；F=96485C/mol為法拉第常數(shù)；m為損失的質(zhì)量/g；As為反應(yīng)面積/mm2；t為反應(yīng)時(shí)間/min；Aw=58.5g/mol為氯化鈉的摩爾

;2所示：2速率分組345NaCl-乙二醇溶液電導(dǎo)率遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于NaCl水溶液的電導(dǎo)率。12中速率計(jì)算的對(duì)比判斷電解蝕刻的影響因素。之下降。其中，實(shí)驗(yàn)件5的露帶寬度約為1.5mm，出現(xiàn)較顯著的不均勻腐蝕現(xiàn)象，腐XP-23所23所示。3表面粗糙組123453實(shí)驗(yàn)件2的粗糙度輪廓Ra對(duì)比各組實(shí)驗(yàn)參數(shù)發(fā)現(xiàn)，電極電壓對(duì)表面粗糙度有極為明槽道的表面粗糙度(2.5μm)[1]。另外，槽道初始寬度對(duì)表面形貌有著重要的影響。初始寬度>1mm時(shí)，腐蝕表面形驗(yàn)件4的初始寬度不超過(guò)1mm，均得到了較好的半圓形流道，深度超過(guò)0.2mm，用顯微鏡拍攝的表面形貌和流道形狀如圖4和圖5所示，表面腐蝕也較為均勻。 4實(shí)驗(yàn)件2的表面形貌與流 5實(shí)驗(yàn)件4的表面形貌與流結(jié)0.83mol/L濃度下NaCl-乙二

.印刷電路板換熱器換熱槽道的噴淋蝕刻實(shí)驗(yàn)[J].工程熱物理學(xué)報(bào)[2]程勤學(xué).電解蝕刻不銹鋼工藝[J].工藝與技術(shù),2001,6:18-[3],鮮曉斌,郎定木等.釩與V-5Cr-5Ti合金在氯離子溶液中的電化學(xué)腐蝕行為[J].稀有金屬材[4],盧文壯,干為民.鈦合金在不同溶液中的電化學(xué)腐蝕行為[J].華南理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)[5],崔振鐸,朱勝利,等.鈦合金陽(yáng)極氧化膜在Hank’s溶液中的腐蝕行為[J].材料熱處理學(xué)報(bào),E.R.Parker,B.J.Thibeault,M.F.Aimi.InductivelyCoupled smaEtchingofBulkTitaniumforMEMSApplications[J].JournalofTheElectrochemicalSociety,2005,152(10):C675-C683T.Ikushima,T.Shimizu,MYang.630ThicknessReductionofTi-6A1-4VTiAlloySheetbyElectrochemicalEtchinganditsSupersticity[J].Materialsandprocessingconference2013(21):"630-:張美麗.鈦合金電解加工基礎(chǔ)試驗(yàn)研究