第七節(jié)電子能譜學

電子能譜學前言電子能譜學的范疇；電子能譜學（ElectronEnergySpectroscopy）的定義；與其他學科的關(guān)系，是最近三十年發(fā)展起來的一門綜合性學科。電子能譜學與原子，分子和固體的關(guān)系；它是研究原子，分子和固體材料的有力工具。電子能譜學的定義電子能譜學可以定義為利用具有一定能量的粒子（光子，電子，離子，中性粒子）轟擊特定的樣品，研究從樣品中釋放出來的電子或離子的能量分布和空間分布，從而了解樣品的物理化學基本特征的方法。入射粒子與樣品中的原子發(fā)生相互作用，經(jīng)歷各種能量轉(zhuǎn)遞的物理效應(yīng)，最后釋放出的電子和粒子具有樣品中原子的特征信息。通過對這些信息的解析，可以獲得樣品中原子的各種信息如元素的含量，物質(zhì)的電子結(jié)構(gòu)，元素化學價態(tài)等。電子能譜學的物理基礎(chǔ)

電子能譜學的發(fā)展基礎(chǔ)是物理學，是物理的概念和技術(shù)為其它學科所用。電子能譜學的基本原理均來源于物理學的重大發(fā)現(xiàn)和重要的物理效應(yīng)。如：光電子能譜的建立的基礎(chǔ)是Einstein的光電效應(yīng)，俄歇電子能譜的基礎(chǔ)是俄歇電子的發(fā)現(xiàn)。物理學是電子能譜學的發(fā)展基礎(chǔ)，但電子能譜學的應(yīng)用不僅僅局限于物理學，在化學，材料以及電子等學科方面具有重要的應(yīng)用前景。電子能譜學與其它學科的關(guān)系

現(xiàn)代電子能譜學已經(jīng)發(fā)展為一門獨立的，完整的學科。但電子能譜學也同樣是與多種學科交叉和融合的?？偟膩碚f，電子能譜學融合了物理學，電子學，計算機以及化學等學科。它是這些學科發(fā)展的交叉點，涉及到固體物理，真空電子學，物理化學，計算機數(shù)據(jù)等領(lǐng)域。電子能譜學的發(fā)展基礎(chǔ)（1）

電子能譜學發(fā)展的最重要的基礎(chǔ)是物理學。物理學理論和效應(yīng)的發(fā)展和建立是電子能譜學的理論基礎(chǔ)。如愛因斯坦的光電效應(yīng)理論，實際上就是光電子能譜的最基本的理論。在該理論中指明了光電子能量與發(fā)射電子能量的關(guān)系。此外，由于由樣品表面發(fā)射的電子或離子的信號非常微弱，一般在10－11A的量級，因此，沒有前置放大技術(shù)，根本不可能獲得譜圖。此外，分析器的能量分辨率，直接關(guān)系到電子能譜的應(yīng)用，必須具有足夠的分辨率，才能在表面分析上應(yīng)用。微電子技術(shù)是電子能譜學發(fā)展的技術(shù)基礎(chǔ)計算機技術(shù)的發(fā)展，大大促進了電子能譜學的深層次的發(fā)展，如界面化學結(jié)構(gòu)信息等。電子能譜學的發(fā)展基礎(chǔ)（2）真空技術(shù)的發(fā)展是電子能譜學發(fā)展的重要前提。由于粒子可以和氣體分子發(fā)生碰撞，從而損失能量。沒有超高真空技術(shù)的發(fā)展，各種粒子很難到達固體樣品表面，從固體表面發(fā)射出的電子或離子也不能到達檢測器，從而難以獲得電子能譜的信息。此外，電子能譜的信息主要來源于樣品表面，沒有超高真空技術(shù)，獲得穩(wěn)定的清潔表面是非常困難的。一個清潔表面暴露在1.33×10－4Pa的真空中1秒，就可以在樣品表面吸附一個原子層。沒有超高真空，就沒有清潔表面，也就不能發(fā)展電子能譜技術(shù)。電子能譜學的研究內(nèi)容（1）

電子能譜學的內(nèi)容非常廣泛，凡是涉及到利用電子，離子能量進行分析的技術(shù)，均可歸屬為電子能譜學的范圍。根據(jù)激發(fā)粒子以及出射粒子的性質(zhì)，可以分為以下幾種技術(shù)。紫外光電子能譜（UltravioletPhotoelectronSpectroscopy，UPS），X射線光電子能譜（X－rayPhotoelectronSpectroscopy，XPS）,俄歇電子能譜（AugerElectronSpectroscopy,AES），離子散射譜（IonScatteringSpectroscopy，ISS），電子能量損失譜（ElectronEnergyLossSpectroscopy，EELS）等。各種類型的電子能譜以及產(chǎn)生機理圖可見表一和圖1。電子能譜學的研究內(nèi)容（2）電子能譜學與表面分析的關(guān)系電子能譜學與表面分析有著不可分割的關(guān)系。電子能譜學中的主要技術(shù)均具有非常靈敏的表面性，是表面分析的主要工具。而表面分析在微電子器件，催化劑，材料保護，表面改性以及功能薄膜材料等方面具有重要的應(yīng)用價值。這些領(lǐng)域的發(fā)展促進了表面分析技術(shù)的發(fā)展，同樣也就促進了電子能譜學的發(fā)展。電子能譜學的特點是其表面性以及價態(tài)關(guān)系，這決定了電子能譜在表面分析中的地位。表2是不同表面分析技術(shù)的特點，從中可以認識到，電子能譜在表面分析中所占據(jù)的決定地位。電子能譜學與表面分析的關(guān)系電子能譜學與表面分析的關(guān)系電子能譜學的應(yīng)用

電子能譜學的應(yīng)用主要在表面分析和價態(tài)分析方面?？梢越o出表面的化學組成，原子排列，電子狀態(tài)等信息。對于XPS和AES還可以對表面元素做出一次全部定性和定量分析，還可以利用其化學位移效應(yīng)進行元素價態(tài)分析；利用離子束的濺射效應(yīng)可以獲得元素沿深度的化學成份分布信息。此外，利用其高空間分別率，還可以進行微區(qū)選點分析，線分布掃描分析以及元素的面分布分析。這些技術(shù)使得電子能譜學在材料科學，物理學，化學，半導(dǎo)體以及環(huán)境等方面具有廣泛的應(yīng)用。電子能譜的發(fā)展趨勢

電子能譜的總體發(fā)展趨勢是向高空間分辨，高能量分辨，圖像分析方面發(fā)展。目前，最先進的XPS其空間分辨率可達到10微米，最先進的俄歇電子能譜其空間分辨率可達到6nm。此外，隨著納米技術(shù)與薄膜技術(shù)的發(fā)展，對其深度分辨能率也越來越高。本課識程的熊主要搭內(nèi)容X射線咽光電瞎子能巨譜（XP桐S）基本盾原理儀器更裝置實驗猜技術(shù)罩與分甲析方扛法在典只型領(lǐng)遮域的蔽研究貓應(yīng)用紫外鉗光電眠子能緞譜（UP糖S）俄歇沉電子犯能譜奪（AE情S）離子讓散射下譜（IS乞S)電子蠅能量幼損失喜譜（EE他LS傭)電子榴能譜駝學X射線朱光電普子能宇譜基斧本原軋理光電栽子能竿譜發(fā)朱展歷印史光電須效應(yīng)莊的發(fā)降現(xiàn)Ei于ns庸te費in關(guān)系樹式光電軋子能倦譜的茶建立光電反子能絕譜的屈應(yīng)用光電惜子能晃譜的汪發(fā)展島趨勢發(fā)展學歷史19訪05Ei皺ns染te槳in建立刑光電傲理論密解釋凈了堿慎金屬矛經(jīng)光旅線輻資照產(chǎn)富生光噸電流城的光限電效哄應(yīng)；hv=Ik+Ek40魂-5寒0年代撈發(fā)現(xiàn)旺用X射線躁照射風固體過材料醫(yī)并測莊量由森此引肌起的額電子濱動能卵的分導(dǎo)布，桂但當私時可活達到氏的分膏辯率頃還不籌足以屆觀測琴到光先電子水能譜擦上的津光電弦子峰喚。19扒58年，K.Si棒eg筆ba硬hn首次擦觀測柜到光宏電子誤峰現(xiàn)赴象，懷并發(fā)仰現(xiàn)此孤方法洽可以帝用來籃研究美元素幸的種蘭類及殼其化昂學狀精態(tài)龜?！靶呕瘜W帳分析知光電依子能捕譜（El腿et獸ro估nSp疲ec域tr第os擋co惜py域f侮or障C慮he便mi愉ca矛l跳An兩al攔ys殊is下-E寫SC頂A）60年代板以來合，隨胞著微稠電子震，超銷高真燭空以極及計亮算機很技術(shù)呼的發(fā)押展，爐以及撲新材那料對糞表面淹分析霉的需槍求，效逐漸綠形成惱了X射線螞光電噴子能群譜。60年代證開始邪研究恰儀器籌，70年代季，商站用儀隔器多功警能，私小面巖積，暫圖像鞋化，截微區(qū)釋分析閥，自多動化X射線好光電獨子能望譜儀苗發(fā)展允歷史50年代累，K.冰Si氧eg婆ba棕hn栽(西格澤巴恩,瑞典倦科學晴家)研制所成功XP代S譜儀60年代陳，發(fā)畏展成俱為商寫用儀驚器主要享：PH喜I公司正，VG公司黑，Ka震ra免to肅s公司發(fā)展陳方向臭：單狠色化借，小膛面積淡，成域像XP泄SXP皂S能譜功儀的耀構(gòu)成主要寫部件診：真空混系統(tǒng)淹；X射線乘源；離子嘗源‘能量莖分析攻系統(tǒng)電子櫻控制妨系統(tǒng)數(shù)據(jù)良采集僑和處肉理系喪統(tǒng)X射線踩光電擋子能漲譜儀剛結(jié)構(gòu)夕框圖真空牌系統(tǒng)為什房誠么需累要超掩高真此空？電子糾的平浪均自豬由程跑；（10－5To炸rr邀，5咱0m育）清潔叫表面魯（10－6to床rr子，1宜s，原子岡單層先）場發(fā)素射離座子槍偷要求樣（10-8to爹rr僵）XP牢S要求鼻：10-8to闊rr以上真空壺系統(tǒng)拆的構(gòu)煌成機械丑泵：母有油奏污染能，噪眾音，10－3to便rr吸附誤泵：密干凈抵，需溜要液丑氮，早容量防小，10－3to斤rr油擴叉泵：鈴價格卷低，族油污狹染，10－6－10－1寸0to鄉(xiāng)豐rr渦輪娘分子渣泵：備體積訓小，陽半無剩油，駐抽速痕大，崗價高噪音華大，10－8to縣rr濺射奮離子喜泵：褲高真尚空，完無油算，需狂要前般級真難空無噪掠音，1龍0－1抬1to志rr升華的泵：哥抽速校高，內(nèi)需要弦前級赴真空蠻，消披耗性濺射座離子林泵陰陽腰極之秤間高勞壓（5KV爬）放電先產(chǎn)生鄰電子潑，和幻玉氣體嬌分子利碰撞很，產(chǎn)調(diào)生離斗子。高速酷離子野撞擊凍鈦板缺，射蛙入Ti板中肚被吸妻收，探達到量抽氣遷目的券，獲僻得超雨高真助空磁場急使電感子產(chǎn)婦生螺肥旋運愁動，噸碰撞疑產(chǎn)生蔥更多捐的離習子；對水來氣，H2比較孤困難丸，H離子廈不容膜易吸坐收。X射線栽源X射線期的產(chǎn)藝生；光電拍子能宮譜用X射線眾特點X射線燃源的駁結(jié)構(gòu)X射線胞的單怒色化X射線辜的聚哈焦和轟掃描X射線臟的產(chǎn)晝生X射線原是特垃征射初線，弱不是廊連續(xù)嶄波，珍能量昆具有叢單色獨性；X射線美的能專量與月材料踩有關(guān)篩；X射線壞不是遍一根庭線，淋具有溝一系醋列線休；XP于S需要賀單色伐的，嘉一定叛能量液的X射線X射線狐源結(jié)鴉構(gòu)由燈搭絲，駐陽極傘靶及學慮窗偽組成一般車采用賞雙陽票極靶常用Mg敗/A禿l雙陽乏極靶刻（12腰53遺.6現(xiàn)，1局48標6.井6eV攪）加鋁哥窗或Be窗，版阻隔蚊電子誤進入擱分析全室，梅也阻曬隔X射線潮輻射生損傷秤樣品萍。燈絲斧不面底對陽凳極靶旗，避夕免陽償極的害污染Mg罷/A久l雙陽叫極X射線怕源能量嚇范圍績適中事（12而53凝.7渡和1麻48漁6.遺7eV觀）X射線翁的能屠量范生圍窄栗（0.嶼7和銷0.席85eV款）能激羅發(fā)幾撈乎所末有的撥元素堅產(chǎn)生鄭光電聚子；靶材舒穩(wěn)定時，容尊易保厘存以驕及具佩有較嚼高的儉壽命不同帆射線嗚源的痰能量鬼和線靈寬X射線其源的漠選擇對于嚼一些獲元素晌，其腦結(jié)合發(fā)能較界高，掀選擇獎高能陪量靶晨，可賽以提格高信嚷號強菜度；對于吧一些邊元素鈔，需朽要高濃的能涂量分異辨率狀以及泥低結(jié)旬合能餓端的輕信息跡，就腫可以飾采用花低能掠靶；對于繁研究XA投ES線，飯一般言需要桌采用坑高能債靶。低能掃靶的膛能量荷分辨賤率高鑼，對蓮價帶謙峰和忘低動歪能峰痕有利逐；高畫能靶麻激發(fā)醉能量因強，陜能量水分別距率差即。不同X射線肆源激洋發(fā)的XP鐵S譜同步患輻射付源能量損范圍慎可調(diào)涉；單色謀性好打；峰玻寬窄宰；射線塔強度致大聚焦仍束斑畏小裝置扛復(fù)雜固定閥場所價格磚貴X射線瓶的單憐色化X射線肉均具菠有很蟻寬的包自然填寬度籍，能晨量分磁辨率率受到衣限制社；必鬼須進勉行單表色化心；X射線私難以午聚焦思，單音色化言很困袋難；一般堆采用Ro廚wl稀an確d圓晶策體進祖行單填色化乏（衍甘射方品式）萌。強度字為原寇來的1%。使用釋石英定晶體改單色鮮化Al泳K射線（Sc邀ie街nt沿aES宣CA膨30爺0譜儀猜示意屯圖借助僵于石針英晶杯體單死色器囑，有都可能逐將Al限K射線忘單色類化，栗其結(jié)槐果是廣消除佳了韌峰致輻碌射、飄伴峰倚和寄撈生線社，并貓使特薦征X射線退線寬婚降低誤到低悄于0.懂3eV鞭。XP舍S特點XP深S的主新要特怖點是蜘它能想在不虜太高嗚的真嫌空度臥下進賠行表注面分喬析研噸究，扛這是墨其它租方法黑都做孟不到伏的。廚當用冶電子技束激蔽發(fā)時群，如用AE逃S法，邊必須廣使用酬超高哲真空壺，以泄防止被樣品今上形距成碳尸的沉蟻積物薪而掩遵蓋被旁測表另面。X射線戰(zhàn)比較虜柔和企的特誰性使效我們棟有可臭能在槍中等肅真空潤程度至下對酸表面納觀察盜若干狗小時層而不尿會影夢響測苗試結(jié)拿果。此外鵲，化勉學位豎移效曲應(yīng)也聯(lián)是XP羽S法不亂同于血其它竊方法即的另顧一特扶點，館即采刮用直漂觀的皂化學慮認識撫即可途解釋XP逢S中的腦化學牙位移孔，相英比之圈下，寬在AE蒙S中解誦釋起稻來就旗困難艘的多科。光電侮子譜波線的兵特點蠟及表伐示光電送子譜鑄線與楚原子恢結(jié)構(gòu)帶有關(guān)其特葬點是運量子召化的標記姻可用昌激發(fā)高躍遷睡的能銷級來春標記表面怖靈敏毀度XP泰S探測勿的是鐮從固勝體表障面層惑發(fā)射鞭出來亞的，前攜帶銜有大幕量表臥面信址息（應(yīng)表面結(jié)結(jié)構(gòu)尖，元點素組腹成，皂化學請鍵及杏其表徑面電吸子結(jié)辨構(gòu)等朱信息墨）的敢光電浩子；XP幻玉S攜帶付信息認的深赴度與怨多種傳因素遵有關(guān)蒜；一聾般可更以用酸電子浙的非屋彈性旬散射厚平均尚自由罩程來湯描述清；對于XP團S，其探燭測深聾度為1-棉5nm牢；結(jié)合政能原惡理光電冒子能乏譜的仁結(jié)合下能原鼠理氣體召分子閥的結(jié)進合能固體練物質(zhì)筐的結(jié)侄合能凈電桿荷的豪計算弛豫思過程結(jié)合扒能的級概念結(jié)合可能是珠指在剝某一自元素會的原驚子結(jié)辦構(gòu)中段某一到軌道抽電子末和和莊原子登核結(jié)尾合的扣能量絕。結(jié)衣合能冷與元釣素種庫類以方及所撓處的樂原子懂軌道楊有關(guān)于，能木量是釀量子錯化的墊。結(jié)頃合能澤反映寬了原伍子結(jié)荒構(gòu)中責軌道膀電子盞的信取息。對于蚊氣態(tài)面分子御，結(jié)謝合能蘇就等座于某仿個軌腫道的棟電離女能，筐而對截于固徹態(tài)中事的元它素，革結(jié)合糾能還脖需要賀進行義儀器革功函依的修猶正。結(jié)合花能的諷理想境解釋原子勢的軌抵道能降級光子度和原感子碰偶撞產(chǎn)伯生相訴互作嫌用原子造軌道抖上的搞電子悉被激省發(fā)出畢來激發(fā)章出的慨電子駁克服朝儀器須功函職進入漿真空市，變否成自昏由電卵子每個挪原子鑒有很腔多原愚子軌命道，誘每個凳軌道膝上的繭結(jié)合脈能是恭不同愧的；結(jié)合宮能只猾與能圣級軌栽道有瓦關(guān)，近是量抹子化配的；內(nèi)層情軌道財?shù)慕Y(jié)奏合能摔高于繞外層付軌道有的結(jié)災(zāi)合能柿；氣體鑄分子狀的結(jié)從合能結(jié)合武能與受電離竟能的礎(chǔ)關(guān)系Ko賺op飽ma坡ss近似賊：認兵為在競光電黎子激開發(fā)過禾程，長原子潮核是御被凍招結(jié)的徒，對浪電子燙沒有寄影響涼?？梢宰镎J為典原子疑的結(jié)憶合能劇就是改原子鹿的軌冤道電伴離能搜；Eb=I分子蹈弛豫子能：稿由于談電離還過程毒對分揀子產(chǎn)匪生的軍微擾宰作用查，使殿得軌投道電革子的片能量掉產(chǎn)生紛微小揉變化滲，分妹子弛豫愛能ER；Eb＝I狐－ER電子惕相關(guān)氏作用電子借相關(guān)猾效應(yīng)汽：原挎子核職中多賺電子疑的相剪互作載用使嫩電離形能增生加的公效應(yīng)稠；含N個電騰子的困中性賽分子樓的電座子相苗關(guān)能研要比由含（N－貫1）個電花子的跪離子監(jiān)的電鑼子相歡關(guān)能面要高您；Eb＝I勢－ER－Eco諷rr氣體竊分子夜結(jié)合銜能與扯分子騾軌道趙的關(guān)錯系結(jié)合請能的節(jié)表述固體央樣品在光睜電離械過程豪中，歐固體鹿物質(zhì)慈的結(jié)啦合能職可以瞧用下具面的隊方程早表示紹：Ek=h-Eb-s式中Ek出射無的光忘電子伙的動遇能,eV集;hX射線炕源光帽子的棗能量,eV喝；Eb特定疼原子躲軌道喚上的電結(jié)合系能,eV耳；s譜儀專的功驕函,eV璃。譜儀及的功柴函主境要由察譜儀濃材料汽和狀政態(tài)決鉛定，滔對同此一臺深譜儀叫基本墊是一請個常眾數(shù)，胸與樣冷品無補關(guān)，劍其平萌均值您為3～呆4eV璃。導(dǎo)電傅樣品償?shù)哪芊郊増D導(dǎo)電樹樣品雨與譜依儀的題導(dǎo)電養(yǎng)性能葉好，鏈兩者溝的費罵米能哲級相病同Ek=h-Eb-s非導(dǎo)痕電樣煉品的霜能級重圖非導(dǎo)沃體樣咽品存脹在帶始間，風費米至能級鴨為帶摸間隙怨的一墨半處唐，但觸大多幸數(shù)情坊況帶憑間隙晃是不蕩清晰壇的，那因此笨，費閃米能振級是懶不確他定的賭；功函慎的校振準就面存在衰不確甚定性息；Ek=h-Eb-sXP邀S結(jié)合五能在XP刺S分析窗中，呀由于快采用到的X射線輔激發(fā)小源的柔能量浮較高念，不禿僅可復(fù)以激亞發(fā)出算原子寨價軌奧道中錘的價夾電子走，還跨可以欄激發(fā)角出芯亭能級趣上的申內(nèi)層米軌道辭電子磨，其娃出射猾光電也子的觸能量軌僅與股入射廚光子禁的能薯量及仔原子起軌道熄結(jié)合劣能有忘關(guān)。因此爸，對逐于特濫定的諷單色慎激發(fā)檔源和托特定對的原況子軌忠道，復(fù)其光屑電子保的能蓬量是國特征率的。當固倘定激滿發(fā)源悉能量份時，堅其光脖電子斜的能內(nèi)量僅隸與元補素的總種類滲和所淺電離役激發(fā)姥的原響子軌轎道有攔關(guān)。譜因此決，我夢們可吩以根煮據(jù)光紙電子芬的結(jié)者合能趴定性待分析鋒物質(zhì)給的元墾素種制類?；瘜W蛇位移化學臂位移叮概念雖然夸出射漿的光豆電子際的結(jié)傳合能珠主要泰由元息素的花種類襖和激洗發(fā)軌親道所咬決定錦，但潔由于蓋原子儲內(nèi)部篇外層麻電子艇的屏共蔽效殲應(yīng)，贏芯能腳級軌爪道上此的電坊子的外結(jié)合紹能在埋不同金的化斯學環(huán)帝境中揉是不遍一樣晉的，湯有一伶些微溫小的獎差異否。這轉(zhuǎn)種結(jié)鞠合能偽上的革微小熄差異域就是雪元素腐的化值學位攏移，牙它取運決于明元素遍在樣意品中拳所處胞的化伸學環(huán)已境。一般策，元倦素獲弊得額裝外電哥子時殺，化峽學價勤態(tài)為齊負，驚該元儉素的某結(jié)合挽能降飼低。碰反之阻，當圣該元巷素失疏去電住子時轟，化殘學價棋為正敲，XP公S的結(jié)示合能弟增加宋。戒利用絞這種局化學塌位移狼我們幫可以孤分析桂元素鞏在該鍋物種蒙中的宅化學所價態(tài)或和存任在形少式。集元素愁的化容學價良態(tài)分董析是XP脾S分析筐的最純重要周的應(yīng)饞用之奧一。典型證化合吃物的癥化學掘位移C－顧FC＝帝OC-蘇OC-匯C化學轟位移利的理山論計憶算一般粒取自睛由原學子的糟結(jié)合坐能作屯為比得較的怒基點雷，因帶此化脅學位伙移可志以通墾過分焦子中呈原子屬的結(jié)衰合能穗與自驢由原聾子的芳結(jié)合升能差瘋值進問行計逆算。ΔE夕＝E熔（M合）－嫩E（玻A）ΔE為化儀學位退移，E（漂M）和E（歷A）分別小為原緞子在塌分子俘中以響及自釣由原攝子中毀的結(jié)櫻合能姜。理論揚上，襪可以溫通過荒量子府化學果計算棗出以叼上的授結(jié)合語能和導(dǎo)化學屆位移至，實摔際上紐奉難度魚很大躁，一酬般采膨用近湊似模己型進經(jīng)行理育論計票算。柴常采照用的擺模型霞有電荷味勢能攤模型和弛豫傷勢能辨模型。理論齊模型穴有利鴨于對嚷化學護位移禾的理叔解，濕實際相上采豈用實外驗測幟定值世。電荷龜勢模劉型假設(shè)冊原子嫁內(nèi)層譯原子姐實內(nèi)且的電痰子位貫于原杏子核卻的周描圍，過距離昏外層錯原子皂很遠容，芯幸電子羽好似麗處于賴空心呀靜電冒球的里球心憑位置秀，它櫻感受絮到外產(chǎn)層價艱電子闊對它波的勢晉場作里用，信如下規(guī)圖所糟示。假設(shè)桂價殼巧層的至電荷量和半氣徑分當別為q和r，則根浸據(jù)物焦理學騰原子向，芯哲電子運感受販到外懇層價倍電子炊的勢胃能為qe2/r魚。因此晃其化醉學位惕移可地用下婚式表臥示。化學欲位移罵表達脈式電荷歸勢模蓄型在一戴個分撥子中唱，當X,額Y兩個益原子卸之間餅的距銀離為盈無限睛遠時缺，也碎即為盛各自順單獨幼原子型時，撐兩原款子間與沒有黎相互您作用才，其服化學找位移期為零止。但當智兩者繼相互秘靠近芽時，脹當存遣在一隆個價蔽電子偷從X原子伸向Y原子丸轉(zhuǎn)移顆時，宿將引蓋起X原子事芯能稱級電絮子結(jié)帥合能浪的變噴化，充其值晃為1/rx失,同時Y原子糞芯能狂級電亮子的奸結(jié)合詠能也鑄將發(fā)助生變靠化，芒其值丘為－1/ry太。當最住終兩鑰個原葉子形溜成X＋明Y－離子腳對時陪，原綠子X全部源變?yōu)閄＋離子讀，其月芯能乒級電里子所濁感受灣到的沫化學哥位移ΔE服X可以立用下柏式表間示：電荷錫勢?？诵蛯υ璝原子扶芯能猾級所鬧感受怠到的鳥化學釣位移策可用探下式質(zhì)表達些。由此幅可見得，化學烤位移主要同來自像價電寫子轉(zhuǎn)憑移所匹引起旨的勢有能變不化。摩在一正般的障多原悉子體健系中嶺，原葬子i上的夏電荷箭為qi，原子i與其牛周圍妄的原米子j相結(jié)挑合，型其化豪學位婚移ΔEi可用集下式維描述可。其中k為原筒子i的一動個芯駱能級度電子俯與其傘上的磨一個口價電吩子間慰的平稻均排桶坼能鎮(zhèn)（即雹單中剃心積泉分）樂。上系式表父面元婚素的鍋化學習位移誤與qi間有樣線性捏關(guān)系扎。弛豫耍勢能原模型在靜枝電勢罰能模警型中廣忽略館了弛請豫效兄應(yīng)，難因此廣在很乖多場合合不研能合漢理解幫釋化謎學位芽移效銷應(yīng)。蛇弛豫海效應(yīng)護是由劫光電械離后耳的空袋穴所馬引起木的，呆可分侍為原鍛子內(nèi)刺弛豫假（原畝子i）和原它子外倡弛豫助（原濫子j）兩個僅部分懲。在司大部炕分場鼓合，蔥可以恥假定美化學秘位移橫不受殺弛豫余能的跨影響它，但閣對于嘗一些償場合酒必須廢考慮欄原子薯弛豫飼能的伸影響晃?？紤]勉弛豫晌能對犧結(jié)合埋能的橫影響表，1s軌道墓的結(jié)獻合能哲可用員下式輔表示目：其中句，ε（給1s指）為基廳態(tài)中1s軌道里的能綠量；ε（漲1s延）*為1s軌道才空穴篩態(tài)中1s軌道惡的能盾量。弛豫漏勢能涌模型其化狂學位聲移可頓用下賞式表磁示：通過妙勢能核位近效似代幅表軌的道能蜂量位傭移，掀可用頑下式排表示獨：等效玻原子永芯近眠似，貿(mào)把帶僑有一腦個芯詳空穴墳的離聚子的寬價殼難層電袋勢能撒看做陜與多笨一個短正電暫荷的族芯電掌子相笛同，增化學繁位移堤可用押下式腫表達房誠：弛豫黨勢能或模型化學劉位移膜的影兵響因款素從化銹學位德移的吸理論嘴表達滴式可捧見，稼首先釋化學章位移治和原笑子所克處的卷形式熟電荷助有關(guān)泥。當盟原子斷所在耐環(huán)境許中，損失去州的形漏式電綠荷越賽高，反具有曲正電頑荷呈清氧化覆態(tài)，散其結(jié)賓合能斜高于果自由嘉原子康的結(jié)賤合能登，化殲學位嗚移為初正，蜜反之呼，得摟到電挨荷，魯化學丟位移芳為負靠，見區(qū)表1。對于芒具有援相同赤形式胳電荷替的原最子，釋由于戒與其份結(jié)合俗的相壤鄰原超子的壇電負犬性不統(tǒng)同，晴同樣棍也可添以產(chǎn)舌生化秧學位朝移。清一般摔可用惜凈電出荷來看評價填，一譽般與滔電負述性強犯的元奶素相修鄰的曠原子義，其編化學它位移趴也為沿正。對于混一些浮固體膠物質(zhì)覆，還疼必須影考慮有弛豫移效應(yīng)詠的影葉響?；瘜W兼位移類的影睜響因產(chǎn)素表面誤化學純位移由于銅表面姥效應(yīng)業(yè)，表燈面上崗原子率的價紐奉電子貫組態(tài)戲，晶金相結(jié)柔構(gòu)均析可能固與體拴相有跪差異毀，同鼻樣可銀以導(dǎo)病致結(jié)犯合能鏟的位靈移。慶這樣修結(jié)合倆能的本位移防稱為嫂表面耀化學城位移劇。表面蘋化學話位移本的存厭在主慢要和回表面違的懸疏空鍵吸有關(guān)仙。圖樹為稀鉗土元堂素表豎面能腿級相夫?qū)τ谀畜w相阿的表炮面位塵移。役表面企結(jié)合餡能位室移對斥電荷蘆的再陰分布演以及陵化學輛吸附噸非常頭敏感嘗，可柜以提脫供很謹多信肅息。表面押化學摸位移原子端簇芯文層位灶移隨著目納米籍材料濤研究獎的增澤加，充發(fā)現(xiàn)濱納米巴材料訓具有筍一些特與體狹相不姑同的秘性能杜。一般刊原子建簇介遷于自寨由原摟子和透體相舒材料釀之間爹，其釋行為珠狀態(tài)榴也與任自由脅原子董和體灘相材艙料不企同。右圖聲給出躺了原椅子簇崖的能蓮級圖風。隨奇著原脖子簇憲尺寸銜的增但加，樓原子答的電器離能冶降低亦。XP長S樣品摟的制張備和新前處垂理XP級S實驗積方法的種蘋類和念重要逝性XP醋S分析您方法的種掘類和桌重要辭性XP鎖S的信和息來撫源及舟適用曠范圍樣品咸的測予試樣品執(zhí)的制宴備X射線坐光電傳子能潔譜儀傅對待切分析崗的樣述品有緣瑞特殊羨的要俘求，篇在通臟常情淘況下揭只能出對固擋體樣蜂品進專行分妙析。由于拘涉及殘到樣駛品在德超高喜真空衣中的豎傳遞振和分單析，特待分撫析的呀樣品趁一般寄都需朗要經(jīng)形過一訴定的愛預(yù)處舟理。主要衫包括鳥樣品爺?shù)拇髩ㄐ?，霜粉體旱樣品捐的處烤理,揮發(fā)誦性樣戒品的拿處理躍，表候面污監(jiān)染樣獎品及濁帶有第微弱箭磁性柳的樣眨品的趣處理娛。在實北驗過棍程中誕樣品愚必須謠通過抬傳遞擠桿，炭穿過靜超高貓真空倡隔離宅閥，繁送進汗樣品消分析噴室。誤因此喝，樣贈品的邁尺寸輝必須伯符合搞一定卡的大脹小規(guī)報范。對于耳塊體觀樣品伯和薄曠膜樣脊品，稅其長挑寬最雷好小槳于10mm信,高度因小于5mm患。對于宗體積例較大朗的樣樸品則稈必須語通過桂適當承方法朗制備竭成合習適大詞小的括樣品手。但在深制備衫過程鵝中，葛必須氧考慮丙到處鳳理過菜程可鋼能會澇對表正面成位分和斜狀態(tài)掏的影輝響。樣品專的大芬小粉體鳳樣品粉體升樣品喚有兩券種制吵樣方零法，炕一種握是用消雙面攀膠帶毯直接靈把粉碑體固雖定在晝樣品扶臺上槳，另武一種監(jiān)是把皂粉體黨樣品練壓成固薄片收，然秧后再赤固定借在樣西品臺艷上。前者卻的優(yōu)者點是民制樣竊方便孔，樣皮品用柔量少房誠，預(yù)鋒抽到暈高真陰空的你時間傳較短墓，缺灶點是鵲可能總會引拐進膠究帶的舌成分泡。在肥普通耐的實屆驗過坡程中淋，一毫般采船用膠僚帶法闖制樣惠。后者臨的優(yōu)而點是棉可在耕真空厘中對獅樣品繳進行屑處理障，如秋原位黑和反默應(yīng)等派，其掛信號新強度仆也要概比膠供帶法蘿高得謀多。鎮(zhèn)缺點窗是樣督品用芒量太謎大，柳抽到吼超高扇真空僅的時駱間太冊長。揮發(fā)躲性材買料對于載含有武揮發(fā)瞎性物優(yōu)質(zhì)的饅樣品煙，在倆樣品與進入兆真空血系統(tǒng)甘前必姨須清腫除掉篇揮發(fā)孤性物知質(zhì)。一般供可以停通過升對樣識品加抬熱或壘用溶起劑清般洗等州方法滴。在處皮理樣折品時燈，應(yīng)獎該保師證樣遭品中命的成憲份不糕發(fā)生晚、化情學變聞化。污染灶樣品對于暗表面內(nèi)有油救等有薪機物懷污染書的樣啦品，偵在進膝入真跪空系鞭統(tǒng)前舉必須柴用油狐溶性絡(luò)溶劑椅如環(huán)拾己烷歌，丙舟酮等架清洗呢掉樣抱品表劃面的陸油污攝。最足后再愁用乙瓶醇清棚洗掉霸有機報溶劑優(yōu)，對于魂無機滋污染肥物，想可以逢采用久表面拆打磨扛以及繪離子職束濺液射的言方法尺來清存潔樣湊品。為了肺保證喇樣品蠟表面筆不被侄氧化慨，一黃般采致用自盛然干裹燥。帶有囑磁性姐的材響料由于牲光電液子帶營有負六電荷克，在銹微弱樹的磁場場作襪用下拖，也貼可以渣發(fā)生廁偏轉(zhuǎn)恨。當嫌樣品魔具有山磁性如時，稿由樣粒品表劍面出緒射的線光電禁子就壁會在糊磁場油的作農(nóng)用下數(shù)偏離柄接收素角，施最后悲不能姿到達解分析稻器，捧因此落，得位不到猾正確俗的XP揉S譜。此外被，當顏樣品驢的磁祥性很價強時揉，還芹有可椒能使呀分析時器頭西及樣恒品架賓磁化萌的危債險，良因此悲，絕竟對禁余止帶餡有磁響性的阻樣品豎進入彎分析端室。一般巷對于斑具有冬弱磁墊性的期樣品鎮(zhèn)，可那以通兩過退譜磁的朝方法薄去掉據(jù)樣品侮的微展弱磁余性，礙然后閃就可謹以象獻正常膏樣品哄一樣撐分析覽。離子侵束濺識射樣品認表面牙的清饑潔；樣品確表面粘層的付剝離獄；Ar離子猶，氧爭離子隸，銫攏離子尸，鎵憑離子根等固定答濺射丟和掃效描濺石射方關(guān)式濺射儉的均猛勻性氣源燈絲電離歡室電磁裙透鏡掃描聰系統(tǒng)濺射凈因素作為誤深度跡分析都的離爐子槍牛，一讀般采啄用0.耕5～浸5Ke各V的Ar離子辣源。番掃描霸離子柏束的芬束斑脹直徑希一般疲在1～樣10mm范圍楚，濺終射速很率范鋒圍為0.秤1丹～5河0nm煉/m幻玉in砌。為了逐提高寬深度榮分辯崗率，禮一般切應(yīng)采畢用間題斷濺網(wǎng)射的嚴方式虎。為了她減少駝離子廳束的際坑邊移效應(yīng)襲，應(yīng)夢增加助離子賢束的昏直徑禮。為了專降低建離子棋束的則擇優(yōu)透濺射苦效應(yīng)五及基蓮底效傍應(yīng)，護應(yīng)提富高濺塔射速腥率和惜降低旨每次典濺射變的時頓間。離子抽束的照濺射鏈還原旗作用擊可以胖改變嚼元素待的存斗在狀遞態(tài)，旦許多消氧化蒜物可午以被聰還原藍成較道低價汽態(tài)的井氧化寺物，如Ti濃,容Mo吸,躬Ta等濺射尺因素獵：離子稈束的翁濺射卷速率梢不僅否與離分子束差的能哨量和孤束流企密度亂有關(guān)怨；還御與濺缸射材虛料的特性質(zhì)拿有關(guān)猜。離子瀉束能蹈量低濃，濺囑射速貫率慢變，其掠它效紛應(yīng)大間；離陜子束維能量擾過高輝，注扔入效鋼應(yīng)大若，樣從品損翼傷大唐，但磚濺射六速率近可能舊降低來；一尤般3-蟲10Ke四V適合斜濺射回。一般壇的深挎度分酬析所山給出激的深密度值此均是滅相對摸與某錯種標栗準物芒質(zhì)的晚相對予濺射黑速率冰。離子摟束濺督射技鄰術(shù)在X射線財光電胡子能愈譜分很析中堆，為蘆了清磁潔被垂污染后的固思體表媽面，冷常常許利用盒離子況槍發(fā)香出的群離子疲束對潛樣品范表面遍進行任濺射配剝離匪，清膽潔表拒面。離子懼束更經(jīng)重要茫的應(yīng)篩用則宣是樣壇品表蹦面組鼓分的搖深度取分析橫。利蒙用離事子束濕可定河量地給剝離芳一定煉厚度蘿的表銳面層爪，然淘后再儀用XP掌S分析渾表面掌成分吉，這訊樣就且可以遲獲得鉤元素攀成分嬌沿深京度方禾向的炒分布學圖，描即深巨度剖叨析。。樣品身的荷里電及腔消除荷電坡的產(chǎn)曉生對于閑絕緣組體樣金品或正導(dǎo)電榴性能醬不好末的樣芳品，史經(jīng)X射線嚷輻照翁后，沃其表諸面會眼產(chǎn)生話一定件的電摧荷積潔累，鄉(xiāng)豐主要始是荷疏正電低荷。荷正南電的五主要律原因比是光背電子限出射矛后，首在樣東品表燦面積榴累的濁正電竄荷不盡能得莖到電醫(yī)子的抬補充簽所引別起的望。樣品磨表面拍荷電刑相當妹于給暴從表囑面出盒射的聚自由竊的光家電子腳增加出了一亡定的拒額外堂電場,使得打測得軟的結(jié)鑼合能廢比正尊常的參要高皇。荷電稈的消乎除樣品鴿荷電由問題棵非常宇復(fù)雜奪，一獵般難救以用肅某一墳種方眾法徹干底消餅除。表面織蒸鍍?nèi)f導(dǎo)電鏈物質(zhì)中如金胞，碳更等；羅蒸鍍揚厚度木對結(jié)殺合能野的測浙定的仇影響餐；蒸映鍍物千質(zhì)與用樣品節(jié)的相寶互作撈用的骨影響層；利用特低能銳電子百中和享槍，游輻照做大量晴的低達能電發(fā)子到伶樣品勉表面皺，中散和正就電荷艇。如的何控緊制電某子流鑼密度賺合適灰，不航產(chǎn)生晃過中事和現(xiàn)請象。荷電飯的校墳準在實遇際的XP學S分析渣中，爪一般震采用炊內(nèi)標瓶法進慮行校暴準。憑通常婦有金揉內(nèi)標啟法和浩碳內(nèi)覺標法矛；最常捐用的曠方法慣是用邀真空灰系統(tǒng)臨中最都常見洲的有巾機污麗染碳的C限1s的結(jié)敗合能逝為28奇4.呈6eV減，進行錢校準臟。也可單以利弟用檢腔測材領(lǐng)料中丟已知旅狀態(tài)梁元素甘的結(jié)竭合能麥進行歇校準俱。XP舉S的定貓性分潮析XP窗S定性葡分析武依據(jù)XP皇S產(chǎn)生鑰的光搭電子于的結(jié)封合能耗僅與互元素付種類墨以及滋所激眉發(fā)的律原子境軌道估有關(guān)擦。特羞定元倦素的旅特定規(guī)軌道寶產(chǎn)生謹?shù)墓馑岭娮悠蹦芰勘犑枪碳捕ǖ男篮趽?jù)其龜結(jié)合鵲能就晴可以院標定霧元素兼；從理趕論上哀，可檔以分顯析除H，累He以外李的所只有元傷素，它并且寨是一銜次全統(tǒng)分析特，范叢圍非要常廣聲。XP域S定性灑分析壺方法最常用用的講分析銳方法前，一知般利轟用XP贈S譜儀瘦的寬世掃描旬程序擠。為祖了提把高定廚性分賠析的亭靈敏胳度，冶一般適應(yīng)加誘大通熊能，盒提高此信噪隸比通常XP吧S譜圖騙的橫壘坐標蘿為結(jié)戒合能丑，縱席坐標肯為光奔電子棕的計箏數(shù)率薄。在分獵析譜跟圖時卡，首粘先必著須考咳慮的冶是消野除荷殘電位貧移。含對于快金屬寒和半普導(dǎo)體班樣品燥幾乎胞不會釋荷電握，因宜此不硬用校星準。鏈但對倘于絕褲緣樣眼品，之則必鄉(xiāng)豐須進棍行校嫁準。仿因為躬，當法荷電陽較大吳時，錢會導(dǎo)歲致結(jié)敵合能控位置咬有較澇大的副偏移疼，導(dǎo)歉致錯鳴誤判做斷。XP垂S定性戲分析粘方法在使指用計冷算機哨自動承標峰帆時，閉同樣咳會產(chǎn)應(yīng)生這憑種情武況。一般迷來說呼，只址要該究元素梁存在魚，其失所有潤的強堅峰都窮應(yīng)存光在，漸否則憑應(yīng)考然慮是姑否為襪其他風元素海的干雖擾峰門。一般濫激發(fā)閑出來富的光面電子尿依據(jù)坦激發(fā)劑軌道丈的名累稱進封行標鑄記如C1紫s，查Cu夸2p等。XP褲S定性迷分析由于X射線膛激發(fā)盆源的完光子榮能量僻較高葡，可革以同鳴時激餡發(fā)出咐多個籠原子痛軌道毀的光歐電子左，因萌此在XP摩S譜圖臭上會籍出現(xiàn)園多組典譜峰貼。由游于大覆部分腰元素滲都可狗以激活發(fā)出匠多組呼光電間子峰吸，因惹此可杏以利華用這南些峰炸排除跪能量朋相近銀峰的蓬干擾棵，非育常有坑利于耗元素漂的定股性標怖定。此外仍，由詠于相肺近原坦子序泛數(shù)的鏈元素糠激發(fā)物出的忠光電生子的切結(jié)合渠能有針較大糠的差勉異，符因此鑒相鄰喜元素回間的無干擾絨作用借很小犁。XP降S定性邊分析由于偷光電脖子激穿發(fā)過炊程的移復(fù)雜碑性，務(wù)在XP蒙S譜圖褲上不榴僅存譯在各鹿原子待軌道籍的光好電子嬸峰，區(qū)同時仔還存癢在部元分軌貌道的扒自旋毒裂分唱峰，K1,訪2產(chǎn)生交的衛(wèi)拳星峰紙，以省及X射線好激發(fā)燒的俄龜歇峰示等。排因此恒，在蹈定性跌分析主時必厲須注字意?，F(xiàn)在傘，定濟性標嘗記的遣工作督可由字計算對機進篇行，裁但經(jīng)咬常會杠發(fā)生柜標記宴錯誤郊，應(yīng)的加以侍注意稀。此外職，對緩于不虧導(dǎo)電枕樣品無，由才于荷爆電效裕應(yīng)，煮經(jīng)常油會使房誠結(jié)合炭能發(fā)棉生變癥化，弊導(dǎo)致之定性殼分析述得出細不正益確的腹結(jié)果助。XP塔S定性澡分析高純Al基片阻上沉繼積的Ti道(C躺N)x薄膜盈的XP得S譜圖輪，激滋發(fā)源黃為Mg漫K。譜圖奪解析標志緩介紹元素突鑒別XP區(qū)S定量仔分析影響野譜峰抄強度套的因呼素儀器即因素班；光干電離谷過程穗的影另響光電瞞離截蜂面；磚樣品虜影響光電澤子非沉彈性戒散射巾平均忍自由眠程平均批自由納程；蠅采樣布深度XP由S的定祥量計軌算本底似扣除撈；理理論模煩型法唱；靈貝敏度君因子墓法XP臣S的定窩量計紙算本底惱扣除由于護在光貞電子襯的非易彈性魂碰撞厭過程暑中，張有一統(tǒng)部分悉電子秒的能魂量會氣產(chǎn)生設(shè)連續(xù)懷的損炒失，武因此藝，在XP假S譜圖毫上會沉產(chǎn)生顫大量敵的二符次背航景電正子。禍在低脫動能摩端會謀產(chǎn)生賓很高銅的背器景，描在進恰行準達確的坊定量添分析窩時，匠必須允扣去近背景檔的影鬼響。一般尚經(jīng)常增采樣掩的方塑法有毫直線統(tǒng)扣背勁景法設(shè)，主防要適鼠合低叔動能勉端的伍背景扇扣除傭；XP鉛S定量地計算價方法理論馬模型霜法基于敞光電哪子的熔激發(fā)薄，光負電子揚在固浙體中克的運辱動以房誠及光簡電子弦的檢鋤測等改方面貨的?？鹦停みM行飛理論室計算司的方識法，淡誤差躬在10拼%。與福譜儀脂結(jié)構(gòu)堪，操土作條給件，禍樣品償?shù)奈燮鋈镜劝堂芮性~相關(guān)燃，限穩(wěn)制了趣其應(yīng)濾用。元素掏靈敏押度因陶子法元素象靈敏鎖度因施子法刃是一餡種半真經(jīng)驗王的相薪對定稅量方臨法，劫使用堤非常榜廣泛躍，可或以去倒除儀綱器的艙因素鹽。是目哪前常券用的饒定量掩分析筑方法察。化學血價態(tài)壘分析表面勉元素寒化學熊價態(tài)腸分析嚼是XP港S的最窗重要雪的一撒種分愧析功腹能，蠅也是XP做S譜圖盆解析扛最難米，比榜較容椅易發(fā)處生錯戒誤的羽部分滴。在進胃行元泥素化薄學價筍態(tài)分研析前肝，首攀先必茄須對援結(jié)合蓋能進撤行正跡確的推校準答。因員為結(jié)耳合能愈隨化漆學環(huán)坡境的含變化鬼較小裝，而脂當荷木電校祖準誤藏差較軋大時倒，很寧容易妥標錯楊元素涂的化依學價止態(tài)。此外龜，有悲一些譽化合卵物的洗標準洗數(shù)據(jù)然依據(jù)忍不同護的作符者和麗儀器臨狀態(tài)史存在夕很大王的差俊異，勸在這敬種情震況下桌這些秤標準緣瑞數(shù)據(jù)熔僅能儉作為勸參考查，最脆好是吉自己旅制備造標準格樣，歡這樣鼠才能熔獲得獅正確喬的結(jié)全果。買有一宴些化窩合物單的元如素不汽存在挨標準群數(shù)據(jù)問，要工判斷擠其價夾態(tài)，篩必須刺用自捉制的繳標樣旦進行冬對比詢。深度揪剖析附方法變角XP逼S分析趟法離子染束濺晚射深滾度剖透析法變角XP蛋S法變角XP芬S深度葵分析搭是一逗種非壁破壞爐性的凱深度撤分析島技術(shù)淺，但虜只能粗適用鼓于表逢面層淚非常蹦?。?～街5nm趁）的體隸系。其原皆理是襯利用XP旬S的采秤樣深席度與摔樣品債表面叨出射犬的光靈電子果的接敵收角扇的正含玄關(guān)艙系，煮可以侄獲得鏡元素忍濃度惠與深升度的睬關(guān)系癥。取樣六深度旺（d）與掠禍射角()的關(guān)取系如橫下：d俗=云3si殃n().當為90時，XP窯S的采情樣深添度最芳深，怨當為5時，看可以字使表唐面靈林敏度勢提高10倍。在運英用變獅角深金度分抬析技到術(shù)時哲，露必須緞注意傳下面般因素竊的影炕響。（遞1）單礎(chǔ)晶表膨面的悼點陣伍衍射間效應(yīng)憐；（2）表菠面粗盟糙度鞠的影俱響；（3）表胞面層詞厚度旨應(yīng)小舟于10nm旬.Analyzere-X-raysdqq=90°q=10°dAnalyzere-X-raysqAn汗gl閑e息De數(shù)pe箱nd求en尖t恰ES總CA述(岔AD然XP芒S)d印=3lsi凍nqd她=躲an折al鉆ys禿is序d悶ep月th養(yǎng),l=聽el詢ec前tr憲on綠m獵ea賀n烤fr控ee克p粘at壤h典(e勤sc池ap痛e困de崇pt她h)圖18記.4變角XP辦S示意露圖圖18鵝.5Si3N4表面Si因O2污染傻層的拌變角XP府S譜d圣=攪3si慘n().AD拼XP憤S遲Pr舒of困il準e靈of稠N習at謹iv編e敲Ox爛id泥e剩OnSi00.20.40.60.81050100sineqAtomicConcentration(%)O1sC1sSi2pNa腳ti擊ve觸o舟xi鵝de魄o師nSiwa爽fe羨r沸(±捎4°嗎a簽cc肌ep魔ta牌nc栗e攪an飽gl腿e)Ch辯em瘡ic載al妻S折ta幣te而AD擾XP皇S天Pr見of畫il水e00.20.40.60.81050100sineqAtomicConcentration(%)C1sO1sSi2p(sub-oxide)Si2p(metal)Si2p(oxide)Cr殺ea藍te近d紗fr扁om圖c村ur鍛ve窩-f華it尾r耕es癢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