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光電子材料激光第1頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月一、激光器的誕生19世紀(jì)的科學(xué)家們進(jìn)行了關(guān)于電磁波的卓越的研究1905年愛(ài)因斯坦提出了光量子和光電效應(yīng)的概念,揭示了輻射的波粒二象性

1916年愛(ài)因斯坦提出了受激輻射的概念1900年普朗克引入的能量量子的概念

基礎(chǔ)性、探索性研究第2頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的誕生激光走向新技術(shù)的開(kāi)發(fā)和工程應(yīng)用階段1954年研制成第一臺(tái)微波激射器

1958年美國(guó)的湯斯和蘇聯(lián)的巴索夫及普羅霍洛夫等人提出了激光的概念和理論設(shè)計(jì)1960年美國(guó)的梅曼研制成功第一臺(tái)紅寶石激光器;賈萬(wàn)等人研制成氦氖激光器。我國(guó)的第一臺(tái)激光器于1961年在長(zhǎng)春光機(jī)所創(chuàng)制成功

第3頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光技術(shù)原理:利用受激輻射放大電磁波,可在紫外線、可見(jiàn)光、紅外譜區(qū)極窄的頻段內(nèi)產(chǎn)生高強(qiáng)度相干輻射。激光的特性使之在光學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域帶來(lái)了革命性的變化:

方向性單色性相干性高亮度接近單頻干涉性好發(fā)射方向的空間內(nèi)能量高度集中第4頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月四十多年來(lái),激光器的品種迅速增加:固體激光器半導(dǎo)體激光器固體激光器(半導(dǎo)體激光泵浦)化學(xué)激光器(HF/DF激光、氧碘化學(xué)激光器、CO2激光、燃料激光、氦氖激光)激光的種類(lèi)第5頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月自由電子激光器x射線激光器準(zhǔn)分子激光器金屬蒸氣激光器等。

銅蒸氣激光第6頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的輸出水平不斷提高:中、小功率器件高功率、高能量激光器;脈沖體制從連續(xù)波、準(zhǔn)連續(xù)波到各種短脈沖、超短脈沖的激光。連續(xù)的高能激光單次輸出能量已達(dá)百萬(wàn)焦耳以上;超短脈沖:納秒皮秒費(fèi)秒阿秒

脈沖功率密度則可高達(dá)1020瓦/cm2以上。

第7頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月輸出激光的頻率覆蓋著越來(lái)越廣的范圍:長(zhǎng)至亞毫米(太赫茲)短至x射線γ激光也在探索中,分立的激光譜線達(dá)幾千條;第8頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的工作原理

1.激光器的物理基礎(chǔ)(1)光子的概念光量子學(xué)說(shuō)認(rèn)為,光是由能量為hf的光量子組成的,其中h=6.628×10?34J·s(焦耳·秒),稱為普朗克常數(shù),f是光波頻率,人們將這些光量子稱為光子。

當(dāng)光與物質(zhì)相互作用時(shí),光子的能量作為一個(gè)整體被吸收或發(fā)射。第9頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的工作原理(2)原子能級(jí)物質(zhì)是由原子組成,而原子是由原子核和核外電子構(gòu)成。原子有不同穩(wěn)定狀態(tài)的能級(jí)。最低的能級(jí)E1稱為基態(tài),能量比基態(tài)大的所有其他能級(jí)Ei(i=2,3,4,…)都稱為激發(fā)態(tài)。當(dāng)電子從較高能級(jí)E2躍遷至較低能級(jí)E1時(shí),其能級(jí)間的能量差為?E=E2?E1,并以光子的形式釋放出來(lái),這個(gè)能量差與輻射光的頻率f12之間有以下關(guān)系式式中,h為普朗克常數(shù),f12為吸收或輻射的光子頻率。當(dāng)處于低能級(jí)E1的電子受到一個(gè)光子能量?E=hf12的光照射時(shí),該能量被吸收,使原子中的電子激發(fā)到較高的能級(jí)E2上去。光纖通信用的發(fā)光元件和光檢測(cè)元件就是利用這兩種現(xiàn)象。第10頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的工作原理(3)光與物質(zhì)的三種作用形式光與物質(zhì)的相互作用,可以歸結(jié)為光與原子的相互作用,將發(fā)生受激吸收、自發(fā)輻射、受激輻射三種物理過(guò)程。如圖3-1所示。圖3-1能級(jí)和電子躍遷第11頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的工作原理①在正常狀態(tài)下,電子通常處于低能級(jí)(即基態(tài))E1,在入射光的作用下,電子吸收光子的能量后躍遷到高能級(jí)(即激發(fā)態(tài))E2,產(chǎn)生光電流,這種躍遷稱為受激吸收——光電檢測(cè)器。②處于高能級(jí)E2上的電子是不穩(wěn)定的,即使沒(méi)有外界的作用,也會(huì)自發(fā)地躍遷到低能級(jí)E1上與空穴復(fù)合,釋放的能量轉(zhuǎn)換為光子輻射出去,這種躍遷稱為自發(fā)輻射——發(fā)光二極管。③在高能級(jí)E2上的電子,受到能量為hf12的外來(lái)光子激發(fā)時(shí),使電子被迫躍遷到低能級(jí)E1上與空穴復(fù)合,同時(shí)釋放出一個(gè)與激光發(fā)光同頻率、同相位、同方向的光子(稱為全同光子)。由于這個(gè)過(guò)程是在外來(lái)光子的激發(fā)下產(chǎn)生的,所以這種躍遷稱為受激輻射——激光器。注:受激輻射光為相干光,自發(fā)輻射光是非相干光。第12頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的工作原理(4)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布與光的放大受激輻射是產(chǎn)生激光的關(guān)鍵。如設(shè)低能級(jí)上的粒子密度為N1,高能級(jí)上的粒子密度為N2,在正常狀態(tài)下,N1>N2,總是受激吸收大于受激輻射。即在熱平衡條件下,物質(zhì)不可能有光的放大作用。要想物質(zhì)產(chǎn)生光的放大,就必須使受激輻射大于受激吸收,即使N2>N1(高能級(jí)上的電子數(shù)多于低能級(jí)上的電子數(shù)),這種粒子數(shù)的反常態(tài)分布稱為粒子(電子)數(shù)反轉(zhuǎn)分布。粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布狀態(tài)是使物質(zhì)產(chǎn)生光放大而發(fā)光的首要條件。第13頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的工作原理

2.激光器的工作原理激光器包括以下3個(gè)部分:必須有產(chǎn)生激光的工作物質(zhì);必須有能夠使工作物質(zhì)處于粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布狀態(tài)的激勵(lì)源(泵浦源);必須有能夠完成頻率選擇及反饋?zhàn)饔玫墓鈱W(xué)諧振腔。(1)產(chǎn)生激光的工作物質(zhì)即處于粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布狀態(tài)的工作物質(zhì),稱為激活物質(zhì)或增益物質(zhì)(基質(zhì)材料+激活離子),它是產(chǎn)生激光的必要條件。第14頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的工作原理(2)泵浦源使工作物質(zhì)產(chǎn)生粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布的外界激勵(lì)源,稱為泵浦源。物質(zhì)在泵浦源的作用下,使得N2>N1,從而受激輻射大于受激吸收,有光的放大作用。這時(shí)的工作物質(zhì)已被激活,成為激活物質(zhì)或增益物質(zhì)。(3)光學(xué)諧振腔激活物質(zhì)只能使光放大,只有把激活物質(zhì)置于光學(xué)諧振腔中,以提供必要的反饋及對(duì)光的頻率和方向進(jìn)行選擇,才能獲得連續(xù)的光放大和激光振蕩輸出。激活物質(zhì)和光學(xué)諧振腔是產(chǎn)生激光振蕩的必要條件。

第15頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的工作原理圖3-2光學(xué)諧振腔的結(jié)構(gòu)①光學(xué)諧振腔的結(jié)構(gòu)在激活物質(zhì)的兩端的適當(dāng)位置,放置兩個(gè)反射系數(shù)分別為r1和r2的平行反射鏡M1和M2,就構(gòu)成了最簡(jiǎn)單的光學(xué)諧振腔。如果反射鏡是平面鏡,稱為平面腔;如果反射鏡是球面鏡,則稱為球面腔,如圖3-2所示。對(duì)于兩個(gè)反射鏡,要求其中一個(gè)能全反射,另一個(gè)為部分反射。第16頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的工作原理②諧振腔產(chǎn)生激光振蕩過(guò)程如圖3-3所示,當(dāng)工作物質(zhì)在泵浦源的作用下,已實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布,即可產(chǎn)生自發(fā)輻射。如果自發(fā)輻射的方向不與光學(xué)諧振腔軸線平行,就被反射出諧振腔。只有與諧振腔軸線平行的自發(fā)輻射才能存在,繼續(xù)前進(jìn)。當(dāng)它遇到一個(gè)高能級(jí)上的粒子時(shí),將使之感應(yīng)產(chǎn)生受激躍遷,在從高能級(jí)躍遷到低能級(jí)中放出一個(gè)全同的光子,為受激輻射。當(dāng)受激輻射光在諧振腔內(nèi)來(lái)回反射一次,相位的改變量正好是2π的整數(shù)倍時(shí),則向同一方向傳播的若干受激輻射光相互加強(qiáng),產(chǎn)生諧振。達(dá)到一定強(qiáng)度后,就從部分反射鏡M2透射出來(lái),形成一束筆直的激光。當(dāng)達(dá)到平衡時(shí),受激輻射光在諧振腔中每往返一次由放大所得的能量,恰好抵消所消耗的能量時(shí),激光器即保持穩(wěn)定的輸出。第17頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的工作原理圖3-3激光器示意圖第18頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的工作原理③光學(xué)諧振腔的諧振條件與諧振頻率設(shè)諧振腔的長(zhǎng)度為L(zhǎng),則諧振腔的諧振條件為

(3-2)或 (3-3)式中,c為光在真空中的速度,λ為激光波長(zhǎng),n為激活物質(zhì)的折射率,L為光學(xué)諧振腔的腔長(zhǎng),q=1,2,3…稱為縱模模數(shù)。諧振腔只對(duì)滿足式(3-2)的光波波長(zhǎng)或式(3-3)的光波頻率提供正反饋,使之在腔中互相加強(qiáng)產(chǎn)生諧振形成激光。第19頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器的工作原理④起振的閾值條件激光器能產(chǎn)生激光振蕩的最低限度稱為激光器的閾值條件。如以Gth表示閾值增益系數(shù),則起振的閾值條件是

(3-4)α為光學(xué)諧振腔內(nèi)激活物質(zhì)的損耗系數(shù),L為光學(xué)諧振腔的腔長(zhǎng),r1,r2為光學(xué)諧振腔兩個(gè)反射鏡的反射系數(shù)。第20頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月激光器組成:工作物質(zhì)(基質(zhì)和激活離子)、激發(fā)源(泵浦)、共振腔。工作物質(zhì):借外來(lái)能源激勵(lì)實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)并產(chǎn)生受激輻射放大作用的物質(zhì)系統(tǒng),包括固體(晶體、玻璃、陶瓷)、氣體(原子氣體、離子氣體、分子氣體)、液體和半導(dǎo)體等。激光器利用泵浦(閃光燈或另一種激光器以及氣體放電激勵(lì)、化學(xué)激勵(lì)、核能激勵(lì))等激發(fā)源激發(fā)工作物質(zhì)實(shí)現(xiàn)激射。共振腔作用:通過(guò)工作物質(zhì)對(duì)激光提供反饋,以激發(fā)更多的光發(fā)射。

第21頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月工作物質(zhì)激光器最重要的部分是工作物質(zhì),包括使原子高低能態(tài)分布反轉(zhuǎn)的激活離子和基質(zhì)。用過(guò)渡金屬離子(如Cr3+)激活的三能級(jí)激光晶體,如Cr3+:Al3氧化物激光晶體

固體激光器材料用稀土離子(如Nd3+)氟化物激光晶體激活的四能級(jí)體系復(fù)合石榴石激光晶體激光玻璃(釹玻璃)色心激光晶體(如LiF,KCl)

原子氣體氣體激光器材料離子氣體(氬離子、氪離子)工分子氣體(CO2、CO、N2分子)作準(zhǔn)分子氣體(XeF、KrF)

物有機(jī)熒光染料(如羅丹明6B)質(zhì)

液體激光器材料稀土螯合物(如Eu(TTA)3、Eu(BTF)4)釹氧氯化硒(Nd3+:SeOCl2)半導(dǎo)體激光器材料可見(jiàn)光激光管材料(如AlGaAs)紅外激光管材料(GaAs、Pb1-XSnXTe)非線性光學(xué)材料(LiNbO3)激光器輔助材料窗口、透鏡材料(如GaAs、ZnSe)抗反射涂層(ZrO2、SiO2、TiO2、MgF2等)其它第22頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月

固態(tài)基質(zhì)材料可粗略分為晶態(tài)固體、玻璃和陶瓷幾大類(lèi)。要求:具備清晰的熒光線、強(qiáng)的吸收帶及相當(dāng)高的量子效率,優(yōu)良的光學(xué)、熱學(xué)性能和機(jī)械性能。

(1)離子大小:晶態(tài)基質(zhì)的晶格格點(diǎn)必須與激活離子的大小相當(dāng)。在離子晶體中,離子半徑之差大于15%就不能直接摻入1%以上的激活離子。但用稀土激活的晶體激活離子的摻入量可大于1%。

第23頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月

(2)電性中和:摻雜劑價(jià)態(tài)如與基質(zhì)陽(yáng)離子不同,則要采取適當(dāng)?shù)碾姾裳a(bǔ)償技術(shù)維持高摻雜下的電性中和,否則摻雜劑的溶解度將受到限制。例如CaWO4中如只摻入稀土取代Ca2+,溶解度就受到限制,這時(shí)再加入Na+,稀土溶解度才增加。

(3)抗熱沖擊能力:基質(zhì)的某些物理性質(zhì)決定該晶體對(duì)突然爆發(fā)的泵浦能的抗熱沖擊能力,對(duì)確定運(yùn)轉(zhuǎn)方式如連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)或高功率、高重復(fù)率脈沖運(yùn)轉(zhuǎn)頗為關(guān)鍵。對(duì)于這些運(yùn)轉(zhuǎn)方式,利用熱膨脹系數(shù)低、強(qiáng)度高、熱導(dǎo)率高的晶體更合適。這些性質(zhì)的相對(duì)數(shù)值大體上與化合物的熔點(diǎn)有關(guān),因此使用高熔點(diǎn)化合物更有利。第24頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月

高強(qiáng)度激光器:晶體有較高的熱導(dǎo)率(泵浦源輻照后晶體產(chǎn)生的熱必須用冷卻劑使之在激光棒表面迅速耗散)。

電荷補(bǔ)償技術(shù)對(duì)物理性能有不利影響,如在CaWO4中采用一價(jià)離子會(huì)使晶體的熱膨脹系數(shù)增加,強(qiáng)度和熱導(dǎo)率降低(三價(jià)離子為宜)。

(4)光學(xué)性質(zhì):理想晶體應(yīng)對(duì)泵浦波長(zhǎng)有較強(qiáng)吸收,對(duì)激射波長(zhǎng)吸收很弱。(5)純度:生長(zhǎng)激光晶體所用氧化物純度為5-6個(gè)“9”,總雜質(zhì)含量不得超過(guò)1-10ppm。讀教材P153-172

第25頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月

激光材料制取方法1激光晶體制取方法

A焰熔法(維爾納葉法)氫氧燃燒產(chǎn)生的高溫使料粉通過(guò)火焰撒下熔融,熔滴落在籽晶上,使籽晶桿下降進(jìn)入爐子的較冷部分隨即結(jié)晶。該法設(shè)備簡(jiǎn)單、不用坩堝,適于生長(zhǎng)熔點(diǎn)大于1800℃(可達(dá)2500℃)的晶體如紅寶石、釔鋁石榴石(Y3A15O12)和Y2O3等基質(zhì)晶體,缺點(diǎn)是晶體內(nèi)應(yīng)力大、位錯(cuò)密度高及存在化學(xué)不均勻性。

B直拉法適于生長(zhǎng)共熔化合物單晶,易自動(dòng)化,能生長(zhǎng)非常大的完美單晶,如CaWO4、CaMoO4、紅寶石、堿土金屬鹵化物及石榴石晶體等。

第26頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月

近年來(lái)出現(xiàn)的釓鈧鎵石榴石Gd3Sc2Ga3O12(簡(jiǎn)稱GSGG)就是用直拉法生長(zhǎng)的。采用銥坩堝在含l~3%O2的氮?dú)夥罩猩L(zhǎng)(感應(yīng)加熱),已生長(zhǎng)出直徑130mm、長(zhǎng)100mm的晶坨,晶體尺寸大、質(zhì)量高、適于制造高平均輸出(1KW)的板條激光器(規(guī)格l×10×20cm3),在金屬加工方面可與CO2激光器競(jìng)爭(zhēng)。作為可買(mǎi)到的商品Nd∶YAG(釔鋁石榴石

)一般都采用直拉法生長(zhǎng),已制出最大直徑約10mm、長(zhǎng)達(dá)150mm的激光棒。還制出直徑75mm的非摻Y(jié)AG晶錠。由于生長(zhǎng)時(shí)間慢(0.5mm/h),生長(zhǎng)10~15cm長(zhǎng)的晶棒,耗時(shí)數(shù)周,造成高的生產(chǎn)成本。目前正在研制400一1000W的Nd∶YAG板條激光器。第27頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月

此外,釹含量比YAG高6倍的Nd:LMAO(Nd:La1-XMgAl11O19)也是用直拉法生長(zhǎng)的。這種晶體解決了釹含量低使輸出功率受限制的問(wèn)題,已實(shí)現(xiàn)高功率輸出,近年內(nèi)可望制成千瓦級(jí)小型固體激光器,其激射波長(zhǎng)為1.054μm。C熱交換器(HEM)法該法將籽晶置于坩堝底部的中心位置,熔料裝到籽晶的上方、坩堝位于熱交換器的上部,用石墨電阻爐生長(zhǎng)激光晶體。對(duì)于給定的物料,爐溫決定液體內(nèi)的溫度梯度,熱交換器的溫度決定固體內(nèi)的溫度梯度。固液界面因浸沒(méi)在熔體表面以下,不受機(jī)械和溫度擾動(dòng)的影響,故可實(shí)現(xiàn)均勻生長(zhǎng),最大限度地降低生長(zhǎng)條紋,獲得均勻的摻雜分布(指分凝系數(shù)小于1的元素)。該法適于生長(zhǎng)Cr:A12O3(紅寶石)、Nd:YAG、Co:MgF2和Ti:A12O3(藍(lán)寶石),能獲得大尺寸優(yōu)質(zhì)晶體,如Φ65mm的Co:MgF2晶體和Φ320mm、重50Kg的藍(lán)寶石晶體。第28頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月表:典型的固態(tài)激光材料系統(tǒng)及工作原理基質(zhì)摻雜劑敏化劑激光波長(zhǎng)(μm)工作性能效率(%)工作溫度(K)泵浦源紅寶石Cr3+0.6943輸出數(shù)J/Pulse0.7300Y3Al5O12Nd3+1.0641輸出達(dá)數(shù)百W(連續(xù))或100J/Pulse0.4300氙閃光燈玻璃(硼酸鹽、硅酸鹽、磷酸鹽等)Nd3+Mn2+,UO22+1.05-1.08YAlO3Nd3+Cr1.064225mJ/Pulse,Q開(kāi)關(guān)20ns,10pps100W(連續(xù))1300連續(xù)波氪燈CaLa4(SiO4)3ONd3+-1.061500mJ/Pulse,Q開(kāi)關(guān)30ns,30Pulse/s6mm×75mm棒1300氙閃光燈Y3Al5O12Ho3+ErTm2.1棒規(guī)格3mm×50mm,20W(連續(xù))477典化鎢YLiF4Ho3+ErTm2.064mJQ開(kāi)關(guān)150mJ長(zhǎng)脈沖(2μs)3mm×50mm棒0.5300氙閃光燈YLiF4Er3+-0.85500mJ/Pulse,長(zhǎng)脈沖,5mm×30mm棒,閾值(10~100)J0.03300氙閃光燈YAlO3Er3+-1.666mm×50mm棒,閾值52J-300氙閃光燈玻璃Er3+Yb1.544mm×76mm棒輸出0.86J(普通)輸出0.18J(Q開(kāi)關(guān))0.1300氙閃光燈YAlO3Tm3+Cr2.355mm×50mm棒,閾值110J-300氙閃光燈YLiF4Nd3+-1.0535mm×50mm棒,閾值8J,輸出200mJ,脈沖寬度100μs

07300氙閃光燈La2Be2O5Nd3+-1.0705mm×50mm棒,輸出9W(連續(xù))0.33300碘鎢燈第29頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月表:波長(zhǎng)可調(diào)激光晶體及工作性能激活離子基質(zhì)晶體激光波長(zhǎng)(μm)溫度(K)工作方式泵浦源Ti3+Al2O3BeAl2O40.680~1.1780.780~0.820300300脈沖,連續(xù)脈沖激光器,燈激光器V3+CsCaF3MgF21.240~1.3301.050~1.30080200連續(xù)氪激光器Cr3+BeAl2O4Be3Al2Si6O12KZnF3ZnWO4Y3Ga5O12Gd3Ga5O12Gd3Sc2Al3O12Y3Sc2Ga3O12Gd3Sc2Ga3O12La3Lu2Ga3O120.700~0.8300.751~0.7590.758~0.8750.785~0.8650.980~1.0900.7400.7600.765~0.8010.7300.745~0.8200.8203008030077300300300300300300脈沖,連續(xù)脈沖脈沖連續(xù)連續(xù)連續(xù)連續(xù)連續(xù)連續(xù)燈燈氪激光器激光器激光器激光器激光器激光器激光器Co3+MgF2KMgF3KZnF3ZnF21.630~2.451.62~1.9001.650~2.0702.16580~2258080~20077連續(xù)連續(xù)Nd:YAG激光器氬激光器Ni2+MgOCaY2Mg2Ge3O12KMgF3MgF2MnF21.310~1.4101.4601.5911.610~1.7401.920~1.940778077~30080~20077~85脈沖,連續(xù)連續(xù)脈沖,連續(xù)Nd:YAG激光器第30頁(yè),課件共40頁(yè),創(chuàng)作于2023年2月半導(dǎo)體激光材料的制取方法半導(dǎo)體激光器主要用于光學(xué)器件、激光唱盤(pán)、激光印刷機(jī)和光纖通信等領(lǐng)域。目前研制的半導(dǎo)體激光材料體系,短波長(zhǎng)(0.7~1.0μm)材料以(Ga,Al)As/GaAs為主;長(zhǎng)波長(zhǎng)(1.10~1.6μm)材料以(In,Ga)(As,P)/InP為主。因此GaAs,InP襯底材料及((Ga,Al)As,

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