微-機(jī)-電-系-統(tǒng)教學(xué)課件

微機(jī)電系統(tǒng)..1、不要輕言放棄，否則對(duì)不起自己。2、要冒一次險(xiǎn)!整個(gè)生命就是一場(chǎng)冒險(xiǎn)。走得最遠(yuǎn)的人，常是愿意去做，并愿意去冒險(xiǎn)的人?！胺€(wěn)妥”之船，從未能從岸邊走遠(yuǎn)。--戴爾．卡耐基。3、人生就像一杯沒有加糖的咖啡，喝起來是苦澀的，回味起來卻有久久不會(huì)退去的余香。4、守業(yè)的最好辦法就是不斷的發(fā)展。5、當(dāng)愛不能完美，我寧愿選擇無悔，不管來生多么美麗，我不愿失去今生對(duì)你的記憶，我不求天長(zhǎng)地久的美景，我只要生生世世的輪回里有你。微機(jī)電系統(tǒng)..微機(jī)電系統(tǒng)..1、不要輕言放棄，否則對(duì)不起自己。2、要冒一次險(xiǎn)!整個(gè)生命就是一場(chǎng)冒險(xiǎn)。走得最遠(yuǎn)的人，常是愿意去做，并愿意去冒險(xiǎn)的人?！胺€(wěn)妥”之船，從未能從岸邊走遠(yuǎn)。--戴爾．卡耐基。3、人生就像一杯沒有加糖的咖啡，喝起來是苦澀的，回味起來卻有久久不會(huì)退去的余香。4、守業(yè)的最好辦法就是不斷的發(fā)展。5、當(dāng)愛不能完美，我寧愿選擇無悔，不管來生多么美麗，我不愿失去今生對(duì)你的記憶，我不求天長(zhǎng)地久的美景，我只要生生世世的輪回里有你。微機(jī)電糸統(tǒng)設(shè)計(jì)與制造后乏序至要內(nèi)容■1、微機(jī)電系統(tǒng)概論■2、微機(jī)電系統(tǒng)功能材料3、微機(jī)械加工制造技術(shù)4、微機(jī)械執(zhí)行器5、微機(jī)械傳感器■6、微機(jī)械弱信號(hào)檢測(cè)與處理微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù)■8、微封裝、微構(gòu)件及微尺寸效應(yīng)課外閱讀是指學(xué)生在課外的各種獨(dú)立的閱讀活動(dòng)。它是課外語文活動(dòng)中最重要的內(nèi)容，是課內(nèi)閱讀的繼續(xù)與擴(kuò)展，是閱讀能力訓(xùn)練必不可少的組成部分，是激發(fā)學(xué)生學(xué)習(xí)興趣，培養(yǎng)學(xué)生的語文能力不可或缺的一部分。那么，農(nóng)村初中學(xué)生課外閱讀的現(xiàn)狀如何？采取哪些對(duì)策加強(qiáng)和促進(jìn)農(nóng)村初中學(xué)生進(jìn)行課外閱讀？一、農(nóng)村初中學(xué)生課外閱讀的現(xiàn)狀分析1.學(xué)生缺乏閱讀興趣，不明確目的造成學(xué)生課外閱讀量少的一個(gè)重要因素是學(xué)生自身對(duì)課外閱讀的興趣低。所以，即使是在較為空閑的寒暑假期間，他們用于閱讀的時(shí)間也仍舊很少。同時(shí)，初中學(xué)生偏重于具體形象思維，所以絕大部分初中生課外閱讀時(shí)會(huì)產(chǎn)生重讀圖、輕讀文的現(xiàn)象。另外，現(xiàn)在學(xué)生的課外閱讀仍然受到了“應(yīng)試教育”的“壓迫”。很多家長(zhǎng)認(rèn)為教育要瞄準(zhǔn)升學(xué)考試。甚至部分教師也沒有認(rèn)識(shí)到課外閱讀在素質(zhì)教育中的地位，將學(xué)生的自由度牢牢地掐死在課本中，掐死在一本薄薄的考綱中。不明確課外閱讀的目的。2.課業(yè)負(fù)擔(dān)偏重，閱讀時(shí)間得不到保證受長(zhǎng)期以來應(yīng)試教育根深蒂固的影響，現(xiàn)在的學(xué)生學(xué)習(xí)壓力過大，課業(yè)負(fù)擔(dān)偏重，為了應(yīng)付升學(xué)考試，在學(xué)校和家長(zhǎng)的壓力下，他們整天埋頭于課本、題海而無暇他顧，根本無心也無力進(jìn)行課外閱讀。一天下來幾乎沒有時(shí)間看書。閱讀是需要大量的時(shí)間和精力的，沒有時(shí)間的保障，那么閱讀只是一句空話而已。學(xué)生的實(shí)際閱讀時(shí)間與他們的閱讀心理需求是不成正比的。不少學(xué)生都在抱怨，作業(yè)太多了，而沒有時(shí)間閱讀。3.硬件配套不齊全，擁有的課外書太少學(xué)生往往把課外閱讀的首選地點(diǎn)放在家里，其次才是圖書館。家庭為學(xué)生提供了一個(gè)很理想的閱讀空間嗎？其實(shí)不然。雖然圖書館也是可以的，但地處偏遠(yuǎn)，許多地方是沒有圖書館的，使學(xué)生失去了最有利最便利的閱讀地點(diǎn)；地處縣城雖然設(shè)有圖書館的，藏書老舊、更新不勤，并且大多面向幼兒園孩子或退休老人，不適合學(xué)生閱讀。而學(xué)校的圖書館因?yàn)閳?chǎng)館有限，收藏的圖書不多，也不新，并且也不是每時(shí)每刻都向?qū)W生開放的，是按班級(jí)輪流的。與此同時(shí)，其他因素對(duì)于學(xué)生課外閱讀也有著不同程度的影響。比如很多家庭藏書不足10本，學(xué)校圖書館擁有的課外書太少。而且學(xué)生擁有的課外書，絕大部分都是作文選。由此不難看出，“家庭藏書量甚微”“學(xué)生缺乏課外閱讀資源”，也是導(dǎo)致學(xué)生課外閱讀少的原因之一。4.缺少必要的閱讀方法的指導(dǎo)在教學(xué)中，老師用分析語文課文的辦法指導(dǎo)學(xué)生讀書。經(jīng)常按著應(yīng)試教育的思路，把文學(xué)作品一篇篇“肢解”成字、詞、句、段、中心思想……大量時(shí)間和精力都花費(fèi)于對(duì)基礎(chǔ)知識(shí)的機(jī)械重復(fù)、死記硬背上，而對(duì)課外閱讀的方法指導(dǎo)偏少。有時(shí)，對(duì)學(xué)生課外閱讀作出指導(dǎo)的也只是為了應(yīng)付某種競(jìng)賽而進(jìn)行。二、采取的對(duì)策1.把握課堂教學(xué)，樹立課外閱讀的正確觀念課堂是教育的主戰(zhàn)場(chǎng)，教師應(yīng)充分利用這一戰(zhàn)場(chǎng)，努力提高學(xué)生的閱讀興趣，這才是根本的、有效的途徑。我們所要提高的雖然是學(xué)生的課外閱讀能力，但課外要在課內(nèi)抓。教師是啟動(dòng)研究性學(xué)習(xí)的關(guān)鍵，它要求教師有以下轉(zhuǎn)變：從知識(shí)的權(quán)威者到學(xué)生進(jìn)行研究性學(xué)習(xí)的參與者；從知識(shí)傳授者到學(xué)生學(xué)習(xí)的促進(jìn)者、組織者、指導(dǎo)者；從僅僅關(guān)注教科書到同時(shí)關(guān)注與本學(xué)科知識(shí)相關(guān)的課外知識(shí)；從單純的知識(shí)傳授到關(guān)心學(xué)生的終身發(fā)展以及后繼性學(xué)習(xí)。所以在課內(nèi)講到名著、名作時(shí)，有意識(shí)輻射相關(guān)作品的精彩片斷，把文章適合學(xué)生的口味之點(diǎn)引出來，引導(dǎo)學(xué)生課外閱讀。同時(shí)抓住社會(huì)、生活的相關(guān)點(diǎn)，引向?qū)r(shí)文的學(xué)習(xí)，分析學(xué)生的閱讀興趣所在，持之以恒地穿插于平時(shí)的教學(xué)中。最重要的是在閱讀教學(xué)中要培養(yǎng)學(xué)生的個(gè)性，建立閱讀的信心與興趣，讓閱讀真正成為學(xué)生的精神活動(dòng)，只有這樣，他們才會(huì)真正自主閱讀。2.培養(yǎng)學(xué)生課外閱讀興趣（1）指導(dǎo)學(xué)生選擇閱讀的內(nèi)容。閱讀內(nèi)容直接關(guān)系到閱讀的質(zhì)量。學(xué)生在年齡、學(xué)段、性別、心理特點(diǎn)等方面存在差異，其閱讀興趣也隨之不同，推薦書籍、選取閱讀材料，應(yīng)著眼于興趣的培養(yǎng)和視野的拓寬，面要廣，選要精，盡可能將符合學(xué)生心智特點(diǎn)的課外讀物推薦給學(xué)生，來激發(fā)學(xué)生的閱讀欲望。同時(shí)，要結(jié)合學(xué)生閱讀和理解能力，選擇的讀物深淺要適度。（2）引導(dǎo)學(xué)生充分利用網(wǎng)絡(luò)資源培養(yǎng)閱讀興趣。上網(wǎng)已成為學(xué)生課外生活不可或缺的一部分，但由于不能正確利用它，很多學(xué)生成了網(wǎng)蟲，整天上網(wǎng)聊天、玩游戲，沉溺其中不能自拔。因此，我認(rèn)為如能引導(dǎo)他們正確地利用網(wǎng)絡(luò)資源，提倡從網(wǎng)絡(luò)中去尋找我們需要的有用信息，如查找資料、閱讀名文等。那么，它將作為傳統(tǒng)讀寫方式的補(bǔ)充和延伸而深受學(xué)生認(rèn)可。在網(wǎng)絡(luò)上閱讀，對(duì)閱讀對(duì)象的閱讀感受可以很容易地在網(wǎng)上發(fā)布，并且很可能得到很多回應(yīng)，形成熱烈討論的氛圍，這其實(shí)也是抒發(fā)感情的一種方式，而且也能通過討論互相學(xué)習(xí)甚至碰撞出思想的精彩火花，激發(fā)出無窮的創(chuàng)造力。（3）保證學(xué)生課外閱讀的時(shí)間。學(xué)生有充分的課外閱讀時(shí)間是順利開展課外閱讀的保證。作為語文教師，首先應(yīng)該幫助學(xué)生提高認(rèn)識(shí)，使他們明確閱讀對(duì)語文能力方面的重要性，指導(dǎo)他們有選擇地看一些電視節(jié)目，引導(dǎo)他們走出游戲室，從而騰出時(shí)間閱讀。大膽地改革課堂教學(xué)，每周安排一個(gè)課時(shí)的課外閱讀，讓學(xué)生自己去品味、欣賞、感受。另外，要啟發(fā)引導(dǎo)家長(zhǎng)支持孩子讀有益的課外書，協(xié)助孩子安排好課外閱讀時(shí)間。3.學(xué)校要完善配套設(shè)施教育事業(yè)應(yīng)受到全社會(huì)的支持，學(xué)校應(yīng)多方集資逐步完善教學(xué)設(shè)施。每個(gè)農(nóng)村中學(xué)應(yīng)著力建起圖書館或圖書室。圖書館是學(xué)生讀物的主要來源。信息時(shí)代要求我們的學(xué)校教育培養(yǎng)學(xué)生的圖書館意識(shí)，有了圖書館，可以組織學(xué)生上課外閱讀指導(dǎo)課，這樣讓學(xué)生感受到圖書館是一個(gè)學(xué)習(xí)的樂園，是遨游知識(shí)的好場(chǎng)所。4.指導(dǎo)閱讀方法，提高學(xué)生閱讀能力（1）制訂計(jì)劃，統(tǒng)籌安排。調(diào)查中發(fā)現(xiàn)，學(xué)生的課外閱讀隨意性強(qiáng)。進(jìn)行課外閱讀必須從農(nóng)村中學(xué)實(shí)際出發(fā)，結(jié)合課堂教學(xué)，制訂切實(shí)可行的課外閱讀計(jì)劃。重點(diǎn)做到時(shí)間落實(shí)，列入課程表，雷打不動(dòng)。還應(yīng)把課外閱讀計(jì)劃納入語文教學(xué)計(jì)劃，做到課內(nèi)與課外相結(jié)合，閱讀和作文配合，統(tǒng)籌安排。（2）提高閱讀認(rèn)識(shí)。學(xué)生的課外閱讀偏重于消遣類和中學(xué)生文選類的書籍。針對(duì)這種情況，或舉辦專題講座，或進(jìn)行個(gè)別交流，幫助學(xué)生辨明幾種關(guān)系，以提高認(rèn)識(shí)：一是消遣和求知的關(guān)系；二是流行與需要的關(guān)系；三是習(xí)作與杰作的關(guān)系。（3）傳授方法，培養(yǎng)習(xí)慣。達(dá)爾文說：“最有價(jià)值的知識(shí)是關(guān)于方法的知識(shí)?！睘榱颂岣唛喿x效率，必須從實(shí)際出發(fā)，引導(dǎo)學(xué)生用科學(xué)的讀書方法進(jìn)行課外閱讀，切實(shí)解決“怎么讀”的問題，以培養(yǎng)學(xué)生的閱讀能力和閱讀習(xí)慣。（4）組織交流，檢查督促。在課外閱讀中組織好學(xué)生之間的交流非常重要，學(xué)生間的互相影響產(chǎn)生的作用有時(shí)比教師指導(dǎo)更大。另外，交流活動(dòng)還能激發(fā)興趣，促進(jìn)課外閱讀的開展?？傊谡n外閱讀的開展過程中，教師一方面要想方設(shè)法激發(fā)學(xué)生的興趣，培養(yǎng)其良好的閱讀習(xí)慣，從而使課外閱讀成為學(xué)生的自覺要求，由“要我讀”變?yōu)椤拔乙x”；一方面教師要有深遠(yuǎn)的目光、淵博的知識(shí)和常抓不懈的恒心，并且要以最大的熱情傾注其中，那么，課外閱讀“這棵大樹”定能結(jié)出“豐碩之果”。提升地理課堂的有效性，地理教師的素質(zhì)和專業(yè)素養(yǎng)是關(guān)鍵。但是，目前我國(guó)基層農(nóng)村學(xué)校地理教師隊(duì)伍的專業(yè)性構(gòu)成并不理想，轉(zhuǎn)崗教師較多。地理課程是培養(yǎng)公民素養(yǎng)的重要課程之一，教師專業(yè)的局限性無疑對(duì)國(guó)家落實(shí)地理課程的教學(xué)理念是不利的。面對(duì)這樣的現(xiàn)狀，搭建一個(gè)地理教師相互交流、合作、探究的教學(xué)平臺(tái)，有效提升基層農(nóng)村教師的專業(yè)素養(yǎng)和教學(xué)水平就成為縣級(jí)市教研員最重要的工作之一。經(jīng)過多年的大膽嘗試和不斷實(shí)踐，筆者所在教研室在提升基層地理教師專業(yè)素養(yǎng)方面，收到可喜的成效。具體來講，主要有以下幾方面做法。一、學(xué)習(xí)先進(jìn)，與城區(qū)學(xué)校結(jié)對(duì)子一般來講，多數(shù)城區(qū)學(xué)校地理教師的專業(yè)水平和授課條件等方面均優(yōu)于基層農(nóng)村學(xué)校地理教師。可針對(duì)農(nóng)村學(xué)校在地理教學(xué)上的不同弱勢(shì)項(xiàng)，選擇城區(qū)有相應(yīng)優(yōu)勢(shì)的學(xué)校“結(jié)對(duì)拜師“，定期、定時(shí)、定主題地舉辦教研活動(dòng)，以集體備課、商討導(dǎo)學(xué)案、聽推門課、同課異構(gòu)、磨課教研、評(píng)課、說課等形式，創(chuàng)建校際多樣化的學(xué)習(xí)機(jī)會(huì)。通過經(jīng)常的教研合作與交流，參與主題活動(dòng)的具體環(huán)節(jié)和細(xì)節(jié)，為基層農(nóng)村學(xué)校地理教師提供“活”的學(xué)習(xí)案例和可模仿的具體步驟，不僅可使基層學(xué)校的地理教師有提高，城區(qū)教師在幫教的教研活動(dòng)中，也穩(wěn)住了教學(xué)節(jié)奏，進(jìn)一步夯實(shí)專業(yè)發(fā)展基礎(chǔ)。更重要的是，通過城鄉(xiāng)結(jié)對(duì)的教研活動(dòng)，促進(jìn)地理教育均衡發(fā)展。二、互幫互助，與同類學(xué)校促提高教學(xué)水平接近和教學(xué)環(huán)境相似的教師，在教學(xué)瓶頸處會(huì)有更多接近的思維碰撞點(diǎn)。教研互動(dòng)，教師們會(huì)相互溝通得更快、更流暢，能在相似的層次上找到共同的生長(zhǎng)點(diǎn)，也易于探尋到相似教學(xué)環(huán)境和條件下能夠操作、易于實(shí)施的教學(xué)突破點(diǎn)。在充分碰撞的基礎(chǔ)上完善的教案設(shè)計(jì)，重難點(diǎn)更易于突破，學(xué)生更易于接受。相比而言，許多農(nóng)村學(xué)校的教學(xué)硬件和軟件較差，這在一定程度上阻礙了教學(xué)技術(shù)在具體課堂的應(yīng)用。但是，高效的教育和課程理念，在一定程度上也可以通過常規(guī)教學(xué)手段來體現(xiàn)。通過開展同類學(xué)校之間的教研活動(dòng)，基層學(xué)?？梢栽谠镜慕虒W(xué)基礎(chǔ)上嫁接、融合，形成自己的教學(xué)特色和所長(zhǎng)，使地理教師得到相應(yīng)的專業(yè)發(fā)展和成長(zhǎng)。三、連片教研，與附近學(xué)校共成長(zhǎng)本區(qū)域地理學(xué)科實(shí)行初二年級(jí)學(xué)業(yè)水平結(jié)業(yè)考試。一般情況下，本區(qū)農(nóng)村學(xué)校規(guī)模較小，教學(xué)班數(shù)量少，初中只有一、二年級(jí)設(shè)有地理教師，骨干教師缺乏；多數(shù)學(xué)校只有2～3名地理教師，有的學(xué)校地理教師更少。這樣，就出現(xiàn)某一年級(jí)只有一名地理教師的現(xiàn)象，集體備課的針對(duì)性不強(qiáng)；在只有一名地理教師的學(xué)校，還需要地理教師跨年級(jí)授課，集體備課更是形同虛設(shè)。在這種現(xiàn)狀下，本區(qū)域開展的連片教研，在一定程度上可彌補(bǔ)這種缺憾。即通過協(xié)調(diào)，安排地域相近的學(xué)校，不定期地選擇相同主題，帶著提前準(zhǔn)備的教案或研討課題，共同磨課、一起研討，舉行公開課，就課堂需要解決的問題、已經(jīng)或可能會(huì)出現(xiàn)的狀況，各抒己見，汲取他人所長(zhǎng)。通過連片教研活動(dòng)，達(dá)到借集體智慧充實(shí)個(gè)體課堂的效果，促使地域相近的各?；ハ鄬W(xué)習(xí)、共同進(jìn)步，促進(jìn)教師專業(yè)發(fā)展。同時(shí)，在一定程度上也增進(jìn)區(qū)域教育資源的共享。四、跨區(qū)觀摩，與先進(jìn)理念相接軌教師是學(xué)生學(xué)習(xí)的“組織者，促進(jìn)者和指導(dǎo)者”，要有全新的學(xué)生觀、教師觀和教學(xué)觀。僅僅呆在家里閉門造車式地“鉆研課標(biāo)、吃透教材”，跟不上發(fā)展腳步的。隨著新課程改革的不斷推進(jìn)，農(nóng)村地理教師更需要不斷更新教育教學(xué)理念、不斷優(yōu)化教法學(xué)法。本區(qū)域或根據(jù)省、市兩級(jí)教研部門的總體部署，選派骨干教師參加各種業(yè)務(wù)比賽、評(píng)比，參加區(qū)域教研活動(dòng)；或根據(jù)學(xué)習(xí)需求，結(jié)合各校具體教學(xué)狀況，安排地理教師向外縣市區(qū)的同行學(xué)習(xí)等跨區(qū)域教研活動(dòng)。學(xué)習(xí)過程中，采取觀摩、講評(píng)、交流、模仿上課、撰寫學(xué)習(xí)心得等方式，加強(qiáng)與其它縣市高水平教師的交流與合作，學(xué)習(xí)先進(jìn)、實(shí)用的教學(xué)策略和教學(xué)經(jīng)驗(yàn)，有效促進(jìn)農(nóng)村地理教師專業(yè)素養(yǎng)的成長(zhǎng)，促進(jìn)基層教育質(zhì)量的提升。五、穩(wěn)定隊(duì)伍，與長(zhǎng)期發(fā)展相融合“鐵打的課堂，流水的教師”曾是農(nóng)村地理教師隊(duì)伍組成的一種真實(shí)寫照。由于基層農(nóng)村學(xué)校的客觀條件，地理教師隊(duì)伍時(shí)常出現(xiàn)不穩(wěn)定現(xiàn)象。相對(duì)而言，農(nóng)村學(xué)校地理教師教學(xué)的專業(yè)素養(yǎng)已略低于城區(qū)，如果隊(duì)伍不穩(wěn)定，那么對(duì)地理教師持續(xù)專業(yè)成長(zhǎng)的培養(yǎng)就會(huì)付之東流。面對(duì)這種狀況，應(yīng)盡可能地爭(zhēng)取各級(jí)領(lǐng)導(dǎo)的行政支持，與相關(guān)學(xué)校多跟進(jìn)，闡明地理教師隊(duì)伍穩(wěn)定的重要性，并且給出穩(wěn)定地理教師隊(duì)伍的可行性建議?；鶎拥乩斫處熽?duì)伍相對(duì)穩(wěn)定，農(nóng)村學(xué)校地理教育的長(zhǎng)期發(fā)展才有保障。“以研促教、以研興教”，營(yíng)造良好的學(xué)科教研氛圍，是這些年促進(jìn)農(nóng)村地理教師專業(yè)化發(fā)展的總思路。本區(qū)域找準(zhǔn)理論與實(shí)踐的結(jié)合點(diǎn)，充分發(fā)揮教研員和教研活動(dòng)的引領(lǐng)作用，經(jīng)過多年的嘗試和探索，本市農(nóng)村地區(qū)地理教師的專業(yè)素養(yǎng)和教育教學(xué)技能有了較大提高，城區(qū)學(xué)校教師也在這些教研活動(dòng)中深受裨益。微機(jī)電糸統(tǒng)設(shè)計(jì)與制造后乏序至要內(nèi)容■1、微機(jī)電系統(tǒng)概論■2、微機(jī)電系統(tǒng)功能材料3、微機(jī)械加工制造技術(shù)4、微機(jī)械執(zhí)行器5、微機(jī)械傳感器■6、微機(jī)械弱信號(hào)檢測(cè)與處理微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù)■8、微封裝、微構(gòu)件及微尺寸效應(yīng)第一章微機(jī)電系統(tǒng)概論微機(jī)電系統(tǒng)的起源、國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀及應(yīng)用)筒介機(jī)械與機(jī)電系統(tǒng);宏觀機(jī)電系統(tǒng)與微機(jī)電系統(tǒng)n微機(jī)電系統(tǒng)它是以微傳感器、微執(zhí)行器以及驅(qū)動(dòng)和控制電路為基本元器件組成的、可以活動(dòng)和控制的、機(jī)電合一的微機(jī)械裝置■特點(diǎn):學(xué)科交叉(力學(xué)、機(jī)械、電學(xué)、光學(xué)、電磁學(xué)、生物、化學(xué)等學(xué)科)2、徽型化、集成化和智能化;3、低成本批量化;4、應(yīng)用廣泛(軍民兩用)5、高新技術(shù)。n微機(jī)電系統(tǒng)的相關(guān)術(shù)語MEMS(MicroelectromechanicalSystems)(美國(guó))Micromachine(日本)MicroSystemTechnology(歐洲)微機(jī)電系統(tǒng)的組茨微機(jī)械電子系統(tǒng)(微機(jī)電系統(tǒng))的組成:一般可定義為由微米和納米加工技術(shù)制作而成的,融機(jī)、電、光、磁以及其他相關(guān)技術(shù)群為一體的,可以活動(dòng)和控制的微工程系統(tǒng)。目前,人們泛稱其為MEMS。它是以微傳感器、微執(zhí)行器以