【技術(shù)大咖測試筆記系列】之十：在當(dāng)今高壓半導(dǎo)體器件上執(zhí)行擊穿電壓和漏流測量

【技術(shù)大咖測試筆記系列】之十：在當(dāng)今高壓半導(dǎo)體器件上執(zhí)行擊穿電壓和漏流測量：泰克科技技術(shù)大咖在經(jīng)過多年研究和設(shè)計之后，碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)功率器件正變得越來越實用。這些器件盡管性能很高，但它們也帶來了許多挑戰(zhàn)，包括柵極驅(qū)動要求。SiC要求的柵極電壓(Vgs)要高得多，在負(fù)偏置電壓時會關(guān)閉。GaN的閾值電壓(Vth)則低得多，要求嚴(yán)格的柵極驅(qū)動設(shè)計。寬帶隙(WBG)器件由于物理特點，機身二極管壓降較高，因此對空轉(zhuǎn)時間和打開/關(guān)閉跳變的控制要求要更嚴(yán)格。準(zhǔn)確的電源和測量測試對表征這些高壓器件非常關(guān)鍵，以便能夠及時制訂正確的設(shè)計決策。提高設(shè)計裕量和過度設(shè)計只會推動成本上升，導(dǎo)致性能下降。此外，這些器件一般會涉及超過200V的高壓，因此確保人身安全，防止觸電非常關(guān)鍵。高壓器件測試高壓半導(dǎo)體器件基本表征一般需要研究擊穿電壓和漏流。這兩個參數(shù)幫助器件設(shè)計人員迅速確定器件是否正確制造，確定其能否有效地用于目標(biāo)應(yīng)用中。擊穿電壓測量在測量擊穿電壓時，我們要對被測器件施加一個不斷提高的反向電壓，直到達(dá)到一定的測試電流，表明器件被擊穿。圖1是使用源測量單元(SMU)儀器在高壓二極管上進(jìn)行擊穿測量，比如使用Keithley2470高壓源表SourceMeter?SMU儀器。注意SMU儀器怎樣連接到二極管的負(fù)極上應(yīng)用反向電壓。對高壓二極管，使用安全三同軸電纜和正確接地的安全配線箱。圖1.使用2470高壓SMU儀器對高壓二極管進(jìn)行的典型擊穿電壓測量。在判斷擊穿電壓時，一般會在遠(yuǎn)高出被測器件預(yù)計額定值的水平上進(jìn)行測量，以保證被測器件強健可靠。SMU儀器（如2470擁有1100V源功能）一般足夠高，可以測試當(dāng)今SiC和GaN器件及未來器件設(shè)計。人身安全考慮因素圖2:正確接地的測試夾具。圖3:安全互鎖連接在Keithley2470SMU儀器后面板上的位置。在進(jìn)行高壓測試時，人身安全至關(guān)重要，必須提前預(yù)防，避免觸電：?

把被測器件(DUT)和任何暴露的連接密封在正確接地的夾具中，如圖2所示的夾具。?

在理想情況下，SMU儀器要有安全互鎖，如圖3中的2470后面板所示。2470可以完全互鎖，在互鎖無效(互鎖開關(guān)閉合)時高壓輸出會關(guān)閉。SMU儀器的互鎖電路應(yīng)連接到正常開路的開關(guān)，只有在系統(tǒng)中的用戶接入點閉合時開關(guān)才會閉合，以保證操作人員不會接觸DUT的高壓連接。例如，一旦打開測試夾具蓋，開關(guān)/繼電器就會開路，脫離2470SMU的互鎖。?

使用額定值達(dá)到系統(tǒng)最大電壓的電纜和連接器。吉時利TRX-1100V高壓三同軸電纜是專為2470設(shè)計的，滿足了當(dāng)今高壓安全標(biāo)準(zhǔn)。?

在處理通電元件上的高壓時，一直戴上正確的安全手套，如圖4所示。圖4.在處理通電元件上的高壓時使用正確的安全手套。漏流測量在典型的功率轉(zhuǎn)換應(yīng)用中，半導(dǎo)體器件作為開關(guān)使用。漏流測量表明了半導(dǎo)體接近理想開關(guān)的程度。此外，在測量器件的可靠性時，漏流測量用來表明器件劣化，預(yù)測器件的使用壽命。半導(dǎo)體研究人員正在尋找各種材料，以制作質(zhì)量更高的開關(guān)，生產(chǎn)漏流很小的高功率器件。SMU儀器（如Keithley2470）提供了精密弱電測量功能，測量分辨率最低可達(dá)10fA。在測量<1μA電流時，為了防止不想要的測量誤差，可以使用三同軸電纜和靜電屏蔽裝置。三同軸電纜非常重要，部分原因是它們允許承載來自電流測量儀器的保護(hù)端子。保護(hù)功能消除了系統(tǒng)漏流影響，使其繞過測量端子。使用靜電屏蔽裝置，可以使靜電電荷避開測量端子。靜電屏蔽裝置是一種金屬配線箱，放在電路和任何暴露的連接周圍。安全測試配線箱可以作為靜電屏蔽裝置使用。使用Keithley2470SMU儀器和KickStart軟件表征SiC功率二極管，2470SMU儀器與吉時利KickStart軟件相結(jié)合，可以準(zhǔn)確安全地快速測試高壓半導(dǎo)體器件上的擊穿電壓和反向漏流。如需了解這一組合怎樣成功地解決固有的挑戰(zhàn)，請下載應(yīng)用指南：使用Keithley2470SourceMeter?源測量單元(SMU)儀器和KickStart軟件在高壓半導(dǎo)體器件上進(jìn)行擊穿和漏流測量。關(guān)于泰克科技泰克公司總部位于美國俄