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電子工業(yè)潔凈廠房基本設計要求|喜格SICOLAB一、潔凈形式1、潔凈室按工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等;2、潔凈室按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。3、電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度要求嚴格時,宜采用微環(huán)境型式。二、防火設計要求1、電子潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。2、電子潔凈廠房潔凈區(qū)各層專用消防口的設計,應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。三、環(huán)境參數(shù)控制要求微粒、對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)、溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等。四、潔凈廠房空氣吹淋室的設計要求(人員凈化)1、在潔凈室(區(qū))的入口處宜設空氣吹淋室,當不設空氣吹淋室時,應設氣閘室;2、吹淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰部位;3、單人空氣吹淋室,應按最大班人數(shù)每30人設—臺。潔凈室(區(qū))工作人員超過5人時,空氣吹淋室一側(cè)應設單向旁通門;4、空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,要采取連鎖控制措施;5、空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室(區(qū)),宜設氣閘室;6、潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級。五、靜壓差設計要求1、不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于5Pa;2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于5Pa;3、
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